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고체 물질층 위에 배열된 적어도 하나의 전극;상기 전극 위에 배열된 절연층; 및적어도 하나의 기계 진동부를 포함하되,상기 전극에 전기신호를 인가하여 전기저항열을 발생시켜 액적의 표면장력을 감소시키며, 상기 기계 진동부는 기계적 진동을 발생시켜 상기 표면장력이 감소된 액적을 미립화시켜 제거하는 것을 특징으로 하는 자가 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 절연층 위에 배열된 소수성막을 더 포함하되,상기 액적은 상기 소수성막 위에 배열되고, 상기 기계 진동부가 상기 액적을 미립화시킬 때에도 상기 전기저항열이 계속적으로 상기 액적으로 가해지며, 상기 기계적 진동 종료 후에도 전기저항열을 인가하여 상기 자가 세정 장치의 표면의 잔여 미립 액적들을 제거하는 것을 특징으로 하는 자가 세정 장치
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자가 세정 장치에 있어서,고체 물질층 위에 배열된 적어도 하나의 전극;상기 전극 위에 배열된 절연층; 및적어도 하나의 기계 진동부를 포함하되,상기 전극에 전기신호를 인가하면서 상기 기계 진동부를 통하여 기계적 진동을 발생시켜서 상기 자가 세정 장치의 표면에 부착된 액적을 제거하는 것을 특징으로 하는 자가 세정 장치
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제3항에 있어서, 상기 전기신호의 인가에 따라 상기 액적의 적어도 일부가 기화되고, 상기 기계적 진동에 의해 상기 액적이 미립화되며, 상기 기계적 진동 종료 후에도 전기저항열을 인가하여 상기 자가 세정 장치의 표면의 잔여 미립 액적들을 제거하는 것을 특징으로 하는 자가 세정 장치
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