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대면적 패턴 제작용 몰드, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 패턴 성형 방법

  • 기술번호 : KST2022012052
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적의 패턴을 제작 시 정렬 마크를 사용하지 않고 미세 패턴 간 정밀 정렬을 수행하기 위한 것으로, 일 실시예에 따른 대면적 패턴 제작용 몰드는 마스터 기판에 패턴을 복제하는 영역인 제1 영역과, 상기 마스터 기판에 복제된 이전 패턴 영역의 형상과 겹쳐지는 형상을 가지며, 제1 방향을 따라 상기 제1 영역을 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 영역인 제2 영역과, 상기 마스터 기판에 복제된 이전 패턴 영역의 형상과 겹쳐지는 형상을 가지고 상기 이전 패턴 영역과 결합되며, 상기 제1 방향의 수직 방향인 제2 방향을 따라 상기 제1 영역을 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 영역인 제3 영역을 포함한다.한편, 본 발명은 2020년도 교육부의 재원으로 한국연구재단의 지원을 받아 수행된 지자체-대학 협력기반 지역혁신 사업의 결과로서 "연구과제명: R2R장비 및 Mesoporous Silica Nanoparticle을 이용한 5G급 모바일 회로용 저유전율 필름 코팅기술 개발(과제고유번호: 2020-0257, 연구기간: 2020.05.01. ~ 2021.12.31.)"를 통해 창원대학교 산학협력단(주관연구기관)에 의해 개발된 기술에 관한 것이다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0017(2013.01)
출원번호/일자 1020210054435 (2021.04.27)
출원인 창원대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2379451-0000 (2022.03.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20220328) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.04.27)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 대한민국 경상남도 창원시 의창구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조영태 경상남도 창원시 성산구
2 김석 경상남도 창원시 의창구
3 김우영 경상남도 창원시 의창구
4 서보욱 경상남도 창원시 마산회원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 경상남도 창원시 의창구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2021-0492491-62
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.06.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0200823-27
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.09.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-1114010-94
5 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2021.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2021-1215457-79
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0874147-77
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2022-0012125-87
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.01.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0012132-07
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2022.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0105318-97
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2022-0266347-40
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2022.03.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2022-0266348-96
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2022.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0220107-80
13 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2022-5144157-20
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번호 청구항
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삭제
2 2
삭제
3 3
연속적인 임프린트 공정을 통해 미세 패턴을 정렬시켜 대면적화 하는 대면적 패턴 제작용 몰드에 있어서,마스터 기판에 패턴을 복제하는 영역인 제1 영역과,상기 마스터 기판에 복제된 이전 패턴 영역의 형상과 겹쳐지는 형상을 가지며, 제1 방향을 따라 상기 제1 영역을 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 영역인 제2 영역과,상기 마스터 기판에 복제된 이전 패턴 영역의 형상과 겹쳐지는 형상을 가지고 상기 이전 패턴 영역과 결합되며, 상기 제1 방향의 수직 방향인 제2 방향을 따라 상기 제1 영역을 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 영역인 제3 영역을 포함하고,상기 제2 영역 및 제3 영역 중 적어도 어느 하나가 상기 이전 패턴 영역과 겹쳐지면, 상기 다음 패턴 영역은 상기 이전 패턴 영역과의 경계에서 연속적인 패턴이 나타나도록 제1 내지 제3 영역 간 거리가 설정되고,상기 제1 내지 제3 영역은 각각 일정 거리 이격되어 별도의 독립 영역으로 형성되고,상기 제1 및 제2 영역의 제1 방향으로 배치된 모서리를 기준으로, 상기 제1 영역의 내측 모서리부터 상기 제2 영역의 외측 모서리까지의 길이는 상기 제1 영역의 내외측 모서리 간 길이와 같고,상기 제1 및 제3 영역의 제2 방향으로 배치된 모서리를 기준으로, 상기 제1 영역의 내측 모서리부터 상기 제3 영역의 외측 모서리까지의 길이는 상기 제1 영역의 내외측 모서리 간 길이와 같은 것을 특징으로 하는,대면적 패턴 제작용 몰드
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5 5
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6 6
제 3 항에 있어서,상기 제2 영역 또는 제3 영역의 패턴 형상은 상기 이전 패턴 영역의 형상과 역상 관계인 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드
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제 3 항에 있어서,상기 제1 영역 내지 제3 영역의 패턴 형상은 음각의 격벽 구조가 배열된 형상인 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드
8 8
제 3 항에 있어서,상기 제1 영역 내지 제3 영역의 패턴 형상은 다각형의 격벽 구조가 배열된 형상인 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드
9 9
제 3 항에 있어서,상기 제1 영역 내지 제3 영역을 제외한 나머지 영역으로 UV광을 차단하는 영역인 제4 영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드
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제 9 항에 있어서,상기 제4 영역은 크롬으로 증착되는 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드
11 11
몰드용 기판에 제1 영역 내지 제3 영역을 제외한 나머지 영역에 UV광 차단물질을 증착하는 단계;상기 UV광 차단물질이 증착된 몰드용 기판의 일면에 레진을 도포하는 단계;상기 레진이 도포된 몰드용 기판의 일면에 마스터 몰드를 가압하는 단계;상기 몰드용 기판에 UV광을 조사하여 레진을 경화시키는 단계; 및상기 마스터 몰드를 제거하는 단계;를 포함하고,상기 제1 영역은 마스터 기판에 패턴을 복제하는 영역이고, 상기 제2 영역은 상기 마스터 기판에 복제된 이전 패턴 영역의 형상과 겹쳐지는 형상을 가지고 제1 방향을 따라 상기 제1 영역을 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 영역이며, 상기 제3 영역은 상기 마스터 기판에 복제된 이전 패턴 영역의 형상과 겹쳐지는 형상을 가지고 상기 제1 방향의 수직 방향인 제2 방향을 따라 상기 제1 영역을 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 영역이며,상기 제2 영역 및 제3 영역 중 적어도 어느 하나가 상기 이전 패턴 영역과 겹쳐지면, 상기 다음 패턴 영역은 상기 이전 패턴 영역과의 경계에서 연속적인 패턴이 나타나도록 제1 내지 제3 영역 간 거리가 설정되고,상기 제1 내지 제3 영역은 각각 일정 거리 이격되어 별도의 독립 영역으로 형성되고,상기 제1 및 제2 영역의 제1 방향으로 배치된 모서리를 기준으로, 상기 제1 영역의 내측 모서리부터 상기 제2 영역의 외측 모서리까지의 길이는 상기 제1 영역의 내외측 모서리 간 길이와 같고,상기 제1 및 제3 영역의 제2 방향으로 배치된 모서리를 기준으로, 상기 제1 영역의 내측 모서리부터 상기 제3 영역의 외측 모서리까지의 길이는 상기 제1 영역의 내외측 모서리 간 길이와 같은 것을 특징으로 하는,대면적 패턴 제작용 몰드의 제조 방법
12 12
제 11 항에 있어서,제1 방향을 따라 상기 제2 영역의 일측에 제1 영역이 위치하는 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드의 제조 방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 제1 방향의 수직 방향인 제2 방향을 따라 상기 제3 영역의 일측에 제1 영역이 위치하는 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드의 제조 방법
14 14
제 11 항에 있어서,상기 마스터 몰드의 가압에 의해 상기 제1 내지 제3 영역에는 음각의 패턴 형상이 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드의 제조 방법
15 15
제 11 항에 있어서,상기 몰드용 기판에 레진이 도포되기 전 상기 UV광 차단물질이 증착된 몰드용 기판의 일면에 열 경화 표면 처리하는 단계;를 더 포함하는 대면적 패턴 제작용 몰드의 제조 방법
16 16
제 15 항에 있어서,상기 UV광 차단물질은 크롬인 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드의 제조 방법
17 17
제 11 항에 있어서,상기 제1 영역 내지 제3 영역에 패턴이 형성된 후 이형 처리하는 단계;를 더 포함하는 대면적 패턴 제작용 몰드의 제조 방법
18 18
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19 19
삭제
20 20
몰드용 기판에 형성된 패턴 복제 영역인 제1 영역을 이용하여 마스터 기판에 패턴을 복제하는 단계;상기 몰드용 기판에 형성된 패턴 정렬 영역인 제2 영역을 상기 마스터 기판에 형성된 이전 패턴 영역에 겹쳐 제1 영역을 상기 마스터 기판의 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 단계; 상기 몰드용 기판에 형성된 패턴 정렬 영역인 제3 영역을 상기 마스터 기판에 형성된 이전 패턴 영역에 겹쳐 제1 영역을 상기 마스터 기판의 다음 패턴 영역에 위치하도록 정렬시키는 단계;를 포함하고,상기 제1 영역과 제2 영역은 수평 방향인 제1 방향을 따라 형성되고, 상기 제1 영역과 제3 영역은 수직 방향인 제2 방향을 따라 형성되며, 상기 제2 영역 및 제3 영역 중 적어도 어느 하나가 상기 이전 패턴 영역과 겹쳐지면, 상기 다음 패턴 영역은 상기 이전 패턴 영역과의 경계에서 연속적인 패턴이 나타나도록 제1 내지 제3 영역 간 거리가 설정되고,상기 제1 내지 제3 영역은 각각 일정 거리 이격되어 별도의 독립 영역으로 형성되고,상기 제1 및 제2 영역의 제1 방향으로 배치된 모서리를 기준으로, 상기 제1 영역의 내측 모서리부터 상기 제2 영역의 외측 모서리까지의 길이는 상기 제1 영역의 내외측 모서리 간 길이와 같고,상기 제1 및 제3 영역의 제2 방향으로 배치된 모서리를 기준으로, 상기 제1 영역의 내측 모서리부터 상기 제3 영역의 외측 모서리까지의 길이는 상기 제1 영역의 내외측 모서리 간 길이와 같은 것을 특징으로 하는,대면적 패턴 제작용 몰드를 이용한 패턴 성형 방법
21 21
제 20 항에 있어서,상기 제3 영역의 일측 끝단과 상기 이전 패턴 영역의 일측 끝단이 서로 일치되도록 겹치는 것을 특징으로 하는 대면적 패턴 제작용 몰드를 이용한 패턴 성형 방법
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1 산업통상자원부 창원대학교 산학협력단 산업소재핵심기술개발-첨단뿌리기술개발사업 4 m2 이상의 대면적에 고내구성을 가지며 친환경적인 초발수 표면처리 핵심기술 개발
2 산업통상자원부 창원대학교 산학협력단 자동차산업핵심기술개발사업(그린카) 공기 청정 모빌리티의 구현 HAMA (superHydrophobic Additive Manufactured Air cleaner) 프로젝트