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상면에 연마 패드(171)가 배치된 정반(170)의 일측에 회전 가능하게 설치된 본체(110);일측이 상기 본체(110)의 상부에 회전 가능하게 설치된 스윙 암(120);상기 스윙 암(120)의 타측 하부에 회전 및 직진 운동이 가능하게 설치되어, 상기 연마 패드(171)를 컨디셔닝하는 컨디셔너(130);상기 스윙 암(120)의 전면 하부에 설치되고, 전면에는 가이드부(141)가 함몰 형성된 이송부(140);상기 가이드부(141)의 일단에서 타단까지 이동 가능하게 설치되어, 상기 연마 패드(171)의 두께 프로파일을 측정하는 센서부(150);상기 컨디셔너(130)의 상부에 구비되어, 상기 컨디셔너(130)를 중력 방향으로 가압하는 가압부(155);상기 가압부(155)의 일측에 설치되어, 상기 가압부(155)에 의해 상기 컨디셔너(130)에 가해지는 실제 압력값을 측정하는 압력 센서(156);상기 연마 패드(171)의 상면에 설치되어, 상기 스윙 암(120)의 실제 처짐값을 측정하는 처짐 측정 센서(157); 및상기 처짐 측정 센서(157)에 의해 측정된 상기 스윙 암(120)의 실제 처짐 데이터를 이용하여 상기 가압부(155)의 실제 압력값을 조절하는 컨트롤 모듈(160);을 포함하는 것을 특징으로 하는 스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 센서부(150)의 상부에는 상기 가이드부(141)를 따라 이동하는 가이드 블록(151)이 돌출 형성되고, 상기 가이드 블록(151)의 하부에는 상기 연마 패드(171) 상면과 접촉하며, 상기 연마 패드(171)의 가장자리에서 중심까지 일직선으로 이동함으로써 상기 연마 패드(171)의 두께 프로파일을 측정하는 감지부(152)가 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 컨트롤 모듈(160)은 상기 압력 센서(156), 처짐 측정 센서(157) 및 가압부(155)와 통신하기 위한 통신부(161);상기 통신부(161)에 의해 전송된 상기 가압부(155)의 실제 압력 데이터 및 스윙 암(120)의 실제 처짐 데이터가 저장되는 저장부(162); 및상기 스윙 암(120)의 실제 처짐 데이터 및 기준 처짐 데이터를 비교하여, 상기 가압부(155)의 실제 압력 데이터를 증가시킨 압력 보정 데이터를 생성하는 제어부(163);를 포함하는 것을 특징으로 하는 스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템
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제 3항에 있어서,상기 제어부(163)는 상기 압력 보정 데이터를 상기 통신부(161)를 통해 상기 가압부(155)로 전송하여, 상기 가압부(155)가 상기 압력 보정 데이터를 상기 컨디셔너(130)에 가하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템
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제 4항에 있어서, 상기 센서부(150)는 상기 가압부(155)가 상기 압력 보정 데이터를 상기 컨디셔너(130)에 가한 이후, 상기 연마 패드(171)의 두께 프로파일을 측정하는 것을 특징으로 하는 스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템
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