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공기를 공급하는 제1공기 공급부;샤프트가 삽입되도록 바디부의 중앙에 관통 형성된 삽입홀과상기 바디부 내에 형성되되, 상기 삽입홀의 길이보다 유동길이가 길게 형성되도록 상기 삽입홀을 기준으로 나선형으로 형성되어 상기 제1공기 공급부로부터 공급되는 공기를 회전시키고 공기에 방향성을 부여하는 유로를 포함하는 공압 생성부;상기 공압 생성부의 일측에 위치하되, 상기 샤프트의 외측에 형성되어 상기 공압 생성부로부터 공급되는 공기에 의해 회전되어, 상기 샤프트를 회전시키는 다수개의 베인을 포함하는 공압 유도부; 및상기 샤프트의 일단에 연결되어 상기 샤프트의 회전속도를 감속시키고, 토크를 증폭시키는 토크 증폭부;를 포함하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제1항에 있어서,상기 토크 증폭부는,상기 샤프트와 연결되는 선 기어;상기 선 기어와 치합되어 상기 선 기어의 회전에 따라 회전하는 복수개의 유성 기어; 및모든 상기 유성 기어의 외측에 상기 유성 기어와 치합되어 상기 유성 기어의 회전에 따라 회전하되, 상기 샤프트에 비해 감속되고, 높은 토크로 회전하는 링 기어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제2항에 있어서,상기 선 기어, 상기 유성 기어 및 상기 링 기어는 1단 기어부이고,상기 토크 증폭부는,상기 1단 기어부에 직렬로 연결되는 n단 기어부를 더 포함하며,(n은 2이상의 자연수)상기 n이 짝수인 n단 기어부는, 전단의 링 기어와 연결되는 다수개의 유성 기어와 상기 유성 기어와 연결되는 선 기어를 포함하고,상기 n이 홀수인 n단 기어부는, 전단의 선 기어와 연결되는 다수개의 유성 기어와, 상기 유성 기어와 연결되는 링 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제2항에 있어서,상기 유성기어는 3개로, 상기 선 기어를 중심으로 120도 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제4항에 있어서,상기 링 기어의 톱니의 개수는 선 기어의 톱니의 개수의 3배인 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제1항에 있어서,상기 샤프트에 설치되는 에어 베어링;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제7항에 있어서,상기 에어 베어링에 공기를 공급하는 제2공기 공급부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제7항에 있어서,상기 에어 베어링은 복수개로, 각각의 에어 베어링은 상기 샤프트상에서 일정 거리 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제7항에 있어서,상기 에어 베어링은, 내주면에 부착되는 에어패드를 포함하며,상기 에어패드는 외곽 단면이 직사각형, 원형 또는 원환형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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제10항에 있어서,상기 에어패드는 외곽 단면이 직사각형이며, 긴 변이 상기 샤프트의 축 방향을 향하도록 상기 에어 베어링의 내주면에 부착되거나, 짧은 변이 상기 샤프트의 축 방향을 향하도록 상기 에어 베어링의 내주면에 부착되는 것을 특징으로 하는 토크 증폭기를 내장한 에어 스핀들
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