| 1 |
1
반도체 또는 디스플레이 장치를 포함하는 전자부품의 제조공정에서 사용되는 부산물 집적설비, 플라즈마 사이클론 설비, 촉매 사이클론 설비의 설비기본정보와, 각 설비의 운영조건을 근간으로 각 설비에서 수집되는 신호데이터를 1차로 학습하여 평균고장 시간간격(Mean Time Between Failure)을 포함하는 각 설비의 최적운영조건을 산출하는 표준조건 시험계획법(Real Specification Design Of Experiments) 처리부;각 설비의 공정진행 상태를 실시간 수신하면서 미리 설정된 관리한계치와 패턴을 비교하여 실제 예방정비가 필요한 평균고장 시간간격(Mean Time Between Failure)을 포함하는 각 설비의 최적운영조건을 산출하는 생성 실험계획법(Generator Design Of Experiments) 처리부; 및상기 표준조건 시험계획법(Real Specification Design Of Experiments) 처리부에서 산출된 각 설비의 최적운영조건과, 상기 생성 실험계획법(Generator Design Of Experiments) 처리부에서 산출된 각 설비의 최적운영조건을 비교하여 평균고장 시간간격(Mean Time Between Failure)을 자동예측하는 판별자;를 포함하는 유해가스 배출장치 평균고장 시간간격 예측제어 시스템
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 표준조건 시험계획법(Real Specification Design Of Experiments) 처리부는,외부대기로 방출되는 유해가스 농도 데이터를 추가로 피드백 받아 평균고장 시간간격(Mean Time Between Failure)을 포함하는 각 설비의 최적운영조건을 재산출하는 것을 특징으로 하는 유해가스 배출장치 평균고장 시간간격 예측제어 시스템
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 각 설비의 운영조건은, 설계정보, 설치정보, 운전정보, 프로세스 정보 및 보전 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 배출장치 평균고장 시간간격 예측제어 시스템
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,각 설비에서 수집되는 신호데이터는, 온도정보, 습도정보, 압력정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 배출장치 평균고장 시간간격 예측제어 시스템
|
