| 1 |
1
페로브스카이트 층 형성을 위한 기판이 거치되는 스테이지;상기 기판에 도포되는 메니스커스 솔루션의 시어링을 위한 블레이드;상기 블레이드부 또는 스테이지의 이송을 위한 이송부;상기 블레이드부의 시어링 각도를 가변시키기 위한 각도 조절부;상기 블레이드부의 시어링 간격을 가변시키기 위한 갭 조절부; 및상기 메니스커스 솔루션의 시어링 과정에서 메니스커스 솔루션의 상태를 모니터링 하기 위한 카메라부;를 포함하는, 페로브스카이트 태양전지의 고속화 공정을 위한 메니스커스 솔루션 시어링 가시화 장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 시어링 각도는, 상기 블레이드의 면 방향과 상기 기판의 면 방향 사이의 각도이고, 상기 시어링 간격은,상기 블레이드의 단부와, 상기 기판 사이의 거리인 것을 특징으로 하는, 페로브스카이트 태양전지의 고속화 공정을 위한 메니스커스 솔루션 시어링 가시화 장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 가시화 장치는, 상기 기판의 온도를 가변시키기 위해 상기 기판에 열을 가하는 온도조절부; 및상기 이송부의 이송 속도를 조절하기 위한 속도조절부;를 더 포함하는, 페로브스카이트 태양전지의 고속화 공정을 위한 메니스커스 솔루션 시어링 가시화 장치
|
| 4 |
4
페로브스카이트 태양전지의 고속화 공정을 위한 메니스커스 솔루션 시어링 가시화 장치를 이용한 메니스커스 솔루션 시어링 장치에 있어서,페로브스카이트 층 형성을 위한 기판이 거치되는 스테이지;상기 기판에 도포되는 메니스커스 솔루션의 시어링을 위한 블레이드; 및상기 블레이드부 또는 스테이지의 이송을 위한 이송부를 포함하되, 상기 블레이드의 시어링 각도는 2~4도이고, 간격은 50~150 마이크로미터인 것을 특징으로 하는, 메니스커스 솔루션 시어링 장치
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서, 상기 시어링 장치는, 상기 기판의 온도를 섭씨 140~160도로 가열한 상태에서 15~25mm/s 의 시어링 속도로 시어링 하는 것을 특징으로 하는, 메니스커스 솔루션 시어링 장치
|
