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식각 용액이 채워지며, 상기 식각 용액으로 레이저 빔에 의해 형성된 복수의 손상 라인을 가지는 유리 인터포저를 식각하는 식각 용기,상기 식각 용기를 덮는 용기 덮개, 상기 용기 덮개에 설치되며 상기 식각 용기 내부의 압력을 일정하게 유지시키는 안전 밸브, 그리고100도 이상의 끓는 점을 가지는 열매체유가 채워지며, 상기 식각 용기가 열매체유에 담겨져 중탕으로 상기 식각 용기 내부의 온도를 조절하는 온도 조절 챔버를 포함하고, 상기 식각 용기 내부의 식각 용액은 100도 이상 끓는점 미만의 온도를 유지하며 상기 손상 라인을 식각하여 상기 손상 라인을 비아홀로 형성하며,상기 안전 밸브는 상기 식각 용액이 끓지 않는 압력인 안전 압력을 유지시키는 식각 장치
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제1항에서,상기 식각 용액은 KOH, HF, NaOH, 또는 그 수용액 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 식각 장치
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제1항에서,상기 온도 조절 챔버 내부에 설치되는 온도 센서를 더 포함하는 식각 장치
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제1항에서,상기 온도 조절 챔버에 설치되며 상기 유리 인터포저에 초음파를 인가하는 초음파 발생기를 더 포함하는 식각 장치
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제1항에서,상기 안전 밸브에 연결되며 상기 온도 조절 챔버 외부에 위치하는 환풍기를 더 포함하는 식각 장치
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제1항에서,상기 안전 밸브는 테프론으로 형성하는 식각 장치
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제1항에서,상기 식각 용기 및 상기 용기 덮개는 테프론으로 형성하는 식각 장치
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레이저 빔을 이용하여 유리 인터포저에 복수의 손상 라인을 형성하는 레이저 가공 장치, 그리고상기 복수의 손상 라인을 가지는 유리 인터포저를 식각하여 복수의 비아홀을 형성하는 식각 장치를 포함하고,상기 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부, 그리고상기 레이저 빔을 베셀 빔으로 만들어 상기 유리 인터포저에 조사하는 광학 모듈을 포함하는 인터포저 제조 시스템
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제9항에서,상기 광학 모듈은상기 레이저 빔을 도넛 빔으로 만드는 공간 광 변조기, 그리고 상기 도넛 빔을 통과시켜 상기 베셀 빔을 만드는 집속 렌즈를 포함하는 인터포저 제조 시스템
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제9항에서,상기 식각 장치는 식각 용액이 채워지며, 상기 식각 용액으로 상기 유리 인터포저를 식각하는 식각 용기,상기 식각 용기를 덮는 용기 덮개, 상기 용기 덮개에 설치되며 상기 식각 용기 내부의 압력을 일정하게 유지시키는 안전 밸브, 그리고100도 이상의 끓는 점을 가지는 열매체유가 채워지며, 상기 식각 용기가 열매체유에 담겨져 중탕으로 상기 식각 용기 내부의 온도를 조절하는 온도 조절 챔버를 포함하고, 상기 식각 용기 내부의 식각 용액은 100도 이상 끓는점 미만의 온도를 유지하며 상기 손상 라인을 식각하여 상기 손상 라인을 비아홀로 형성하는 인터포저 제조 시스템
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제12항에서,상기 안전 밸브는 상기 식각 용액이 끓지 않는 압력인 안전 압력을 유지시키는 인터포저 제조 시스템
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제12항에서,상기 식각 용액은 KOH, HF, NaOH, 또는 그 수용액 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 인터포저 제조 시스템
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제12항에서,상기 식각 장치는 상기 온도 조절 챔버 내부에 설치되는 온도 센서를 더 포함하는 인터포저 제조 시스템
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제12항에서,상기 식각 장치는 상기 온도 조절 챔버에 설치되며 상기 유리 인터포저에 초음파를 인가하는 초음파 발생기를 더 포함하는 인터포저 제조 시스템
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제12항에서,상기 식각 장치는 상기 안전 밸브에 연결되며 상기 온도 조절 챔버 외부에 위치하는 환풍기를 더 포함하는 인터포저 제조 시스템
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제12항에서,상기 안전 밸브는 테프론으로 형성하는 인터포저 제조 시스템
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제12항에서,상기 식각 용기 및 상기 용기 덮개는 테프론으로 형성하는 인터포저 제조 시스템
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