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기판 상에 금속막을 증착하는 단계; 및상기 금속막을 유무기 복합 리간드 용액을 사용하여 표면 처리하는 단계;를 포함하고,상기 금속막은 커플링 효과에 의해 유무기 복합 리간드로 표면 개질되는 것을 특징으로 하는 금속막의 변색 방지 방법
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제1항에 있어서, 상기 유무기 복합 리간드는 입체 장애(steric hindrance)를 이용하여 상기 금속막과 외부 물질과의 결합을 차단하는 것을 특징으로 하는 금속막의 변색 방지 방법
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제1항에 있어서, 상기 유무기 복합 리간드는 상기 금속막과의 결합 에너지를 이용하여 상기 금속막과 외부 물질과의 결합을 차단하는 것을 특징으로 하는 금속막의 변색 방지 방법
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제3항에 있어서, 상기 금속막과 상기 유무기 복합 리간드의 결합 에너지는 202
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제2항에 있어서, 상기 외부 물질은 황화나트륨(Na2S), 황화 가스, 암모니아 가스, 산소, 하이드록실 그룹의 용매 및 수분 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속막의 변색 방지 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속막은 열증착법에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 금속막의 변색 방지 방법
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제1항에 있어서, 상기 유무기 복합 리간드 용액은 상기 유무기 복합 리간드 및 극성 용매를 포함하고,상기 극성 용매의 극성을 조절하여 상기 금속막과 상기 유무기 복합 리간드 사이의 결합 반응 시간을 조절하는 것을 특징으로 하는 금속막의 변색 방지 방법
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제1항에 있어서, 상기 유무기 복합 리간드는 MPTS((3-mercaptopropyl)trimethoxysilane)를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속막의 변색 방지 방법
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기판 상에 형성되는 금속막; 및상기 금속 표면에 형성된 유무기 복합 리간드;를 포함하고,상기 금속막은 커플링 효과에 의해 유무기 복합 리간드로 표면 개질된 것을 특징으로 하는 변색 방지 처리된 금속막
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제9항에 있어서, 상기 유무기 복합 리간드는 입체 장애(steric hindrance)를 이용하여 상기 금속막과 외부 물질과의 결합을 차단하는 것을 특징으로 하는 변색 방지 처리된 금속막
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제9항에 있어서, 상기 유무기 복합 리간드는 상기 금속막과의 결합 에너지를 이용하여 상기 금속막과 외부 물질과의 결합을 차단하는 것을 특징으로 하는 변색 방지 처리된 금속막
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제11항에 있어서, 상기 금속막과 상기 유무기 복합 리간드의 결합 에너지는 202
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제10한 항에 있어서, 상기 외부 물질은 황화나트륨(Na2S), 황화 가스, 암모니아 가스, 산소, 하이드록실 그룹의 용매 및 수분 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 변색 방지 처리된 금속막
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제9항에 있어서, 상기 유무기 복합 리간드는 MPTS((3-mercaptopropyl)trimethoxysilane)를 포함하는 것을 특징으로 하는 변색 방지 처리된 금속막
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