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회절 광학 소자

  • 기술번호 : KST2022013001
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 명세서에 개시된 기술의 일 실시예에 따르면, 홀로그램을 구현하기 위한 회절 광학 소자에 있어서, 반사층이 증착된 복수의 층을 가지는 제1 나노 기둥을 포함하는 복수의 나노 기둥, 및 상기 복수의 나노 기둥이 배치되는 기판을 포함하고, 상기 제1 나노 기둥의 a층의 폭은 a-1층의 폭보다 작고, 상기 a층에 증착된 제1 반사층은 상기 a-1층에 증착된 제2 반사층과 연결되지 않는 회절 광학 소자가 제공될 수 있다.
Int. CL G02B 5/18 (2006.01.01) G02B 5/32 (2022.01.01) G03H 1/02 (2006.01.01)
CPC G02B 5/1842(2013.01) G02B 5/1861(2013.01) G02B 5/1852(2013.01) G02B 5/32(2013.01) G02B 2207/101(2013.01) G03H 2001/0216(2013.01)
출원번호/일자 1020210005179 (2021.01.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0102803 (2022.07.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.01.14)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정준호 대전광역시 서구
2 전소희 서울특별시 서초구
3 황순형 대전광역시 유성구
4 강혁중 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로***, **층(삼성동,아셈타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2021-0049433-55
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2021.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2021-0145340-37
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2022.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
홀로그램을 구현하기 위한 회절 광학 소자에 있어서,반사층이 증착된 복수의 층을 가지는 제1 나노 기둥을 포함하는 복수의 나노 기둥; 및상기 복수의 나노 기둥이 배치되는 기판을 포함하고,상기 제1 나노 기둥의 a층의 폭은 a-1층의 폭보다 작고,상기 a층에 증착된 제1 반사층은 상기 a-1층에 증착된 제2 반사층과 연결되지 않는회절 광학 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 나노 기둥은 반사층이 증착된 복수의 층을 가지는 제2 나노 기둥을 포함하고,상기 제1 나노 기둥과 상기 제2 나노 기둥의 높이 차는 상기 홀로그램의 구현 이미지에 따라 계산되는회절 광학 소자
3 3
제2항에 있어서,상기 제2 나노 기둥의 b층의 폭은 b-1층의 폭보다 작고,상기 b층에 증착된 제3 반사층은 상기 b-1층에 증착된 제4 반사층과 연결되지 않는회절 광학 소자
4 4
제2항에 있어서,상기 제1 나노 기둥의 높이는 상기 제2 나노 기둥의 높이보다 크고,상기 제1 나노 기둥의 회절 각도는 상기 제2 나노 기둥의 회절 각도보다 큰회절 광학 소자
5 5
제1항에 있어서,상기 반사층의 두께는 100nm 이하이고,상기 제1 나노 기둥의 피치는 1000nm 이하인회절 광학 소자
6 6
홀로그램을 구현하기 위한 회절 광학 소자에 있어서,상기 홀로그램을 위한 복수의 나노 기둥을 포함하는 기판; 및상기 기판 상에 형성된 제1 철(凸)부 및 상기 제1 철부 상에 형성된 제2 철부를 가지는 제1 나노 기둥 및 상기 기판 상에 형성된 제3 철부를 가지는 제2 나노 기둥을 포함하는 복수의 나노 기둥을 포함하고,상기 제1 철부 및 상기 제3 철부의 높이는 동일하고,상기 제1 철부 상에 증착된 제1 반사층과 상기 제2 철부 상에 증착된 제2 반사층은 서로 연결되지 않고,상기 제3 철부 상에 증착된 제3 반사층과 상기 기판 상에 증착된 제4 반사층은 서로 연결되지 않는회절 광학 소자
7 7
제6항에 있어서,상기 제1 반사층 및 상기 제2 반사층은 상기 제4 반사층과 연결되지 않는회절 광학 소자
8 8
제6항에 있어서,상기 제1 철부의 폭은 상기 제2 철부의 폭보다 큰회절 광학 소자
9 9
제6항에 있어서,상기 제1 철부의 폭은 상기 제3 철부의 폭과 동일한회절 광학 소자
10 10
홀로그램을 구현하기 위한 회절 광학 소자를 제작하는 방법에 있어서,기판의 제1 영역 및 제2 영역을 패터닝하는 단계;상기 제1 영역 내의 제3 영역을 패터닝하여 중간체를 형성하는 단계;상기 중간체를 기초로 몰드를 형성하는 단계;상기 몰드를 기초로 회절 광학 소자를 제작하는 단계; 및상기 회절 광학 소자의 표면 상에 반사층을 증착하는 단계를 포함하고,상기 제1 영역의 폭은 상기 제3 영역의 폭보다 넓되, 상기 제2 영역의 폭과 동일하고,상기 제1 영역 상에 증착된 반사층은 상기 제2 영역 상에 증착된 반사층과 연결되지 않는회절 광학 소자 제작 방법
11 11
제10항에 있어서,상기 회절 광학 소자의 상기 제3 영역을 투과하는 제1 광의 회절 각도는 상기 제2 영역을 투과하는 제2 광의 회절 각도보다 큰회절 광학 소자 제작 방법
12 12
제10항에 있어서,상기 반사층의 두께는 100nm 이하이고,상기 제1 영역의 폭은 1000nm 이하인회절 광학 소자 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국기계연구원 과기부-국가연구개발사업(Ⅴ) 보안 및 도서를 위한 홀로그램 리소그래피용 장비 및 인쇄 기술 개발 (1/4)