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(a) 산소, 규소 및 탄소 원자를 함유한 유기실리콘 단량체를 포함하는 실리콘옥시카바이드 전구체를 용매에 분산 또는 용해시켜 전구체 용액을 형성하는 단계;(b) 상기 전구체 용액으로부터 액적을 발생시키는 단계; (c) 상기 액적을 미리 가열된 반응기 내에 분무시키는 단계; (d) 상기 반응기에서 상기 액적이 열분해되면서 반응되어 실리콘옥시카바이드가 생성되는 단계; (e) 상기 반응기를 통과한 입자를 포집기에서 포집하는 단계; 및(f) 포집된 입자를 열처리하여 탄화시켜 실리콘옥시카바이드 나노입자를 수득하는 단계를 포함하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 유기실리콘 단량체는 R1Si(OR4)3, R1R2Si(OR4)2 및 R1R2R3(OR4)의 화학식(여기서, R1은 아릴기 또는 알케닐기, R2, R3는 수소 또는 알킬(탄소수 1 ~ 5 범위의 탄화수소), R4는 수소 또는 알킬(탄소 수 1 ~ 5 범위의 탄화수소)) 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘옥시카바이드 전구체는 디페닐실란디올(Dipheynlsilanediol), 트리페닐실란올(Triphenylsilanol), 페닐트리메톡시실란(phenyltrimehtoxysilane), 페닐트리에톡시실란(phenyltriethoxysilane), 비닐트리에톡시실란(vinyltriethoxysilane) 및 디메틸비닐실란올(dimethylvinylsilanol)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전구체 용액은 실리콘옥시카바이드 전구체의 반응성을 향상시키기 위해 산 촉매를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 산 촉매는 황산(sulfuric acid), 염산(chloric acid) 및 질산(nitric acid)으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전구체 용액의 농도는 0
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제1항에 있어서, 상기 액적의 크기는 0
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제1항에 있어서, 가열된 반응기 내의 온도는 400∼1200 ℃인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (c) 단계는 운반가스를 공급하여 상기 액적이 상기 반응기 내로 분무되게 하고,상기 운반가스는 0
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제1항에 있어서, 상기 탄화는 비활성 가스 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 탄화는 600∼1400 ℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘옥시카바이드 나노입자는 구형 형태이고 50∼300㎚의 평균 입자 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘옥시카바이드 나노입자는 비정질상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드 나노입자의 제조방법
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제1항에 기재된 방법으로 제조된 실리콘옥시카바이드 나노입자, 상기 실리콘옥시카바이드 나노입자 100중량부에 대하여 도전재 5∼40중량부, 상기 실리콘옥시카바이드 나노입자 100중량부에 대하여 바인더 5∼40중량부 및 상기 실리콘옥시카바이드 나노입자 100중량부에 대하여 분산매 200∼1000중량부를 혼합하여 이차전지 음극용 조성물을 제조하는 단계; 상기 이차전지 음극용 조성물을 압착하여 전극 형태로 형성하거나, 상기 이차전지 음극용 조성물을 금속 호일 또는 집전체에 코팅하여 전극 형태로 형성하거나, 상기 이차전지 음극용 조성물을 롤러로 밀어 시트 상태로 만들고 금속 호일 또는 집전체에 붙여서 전극 형태로 형성하거나, 금속 집전체에 닥터블레이드 방법으로 캐스팅하여 전극 형태로 형성하는 단계; 전극 형태로 형성된 결과물을 건조하여 이차전지의 음극을 형성하는 단계;상기 음극과, 리튬 이온을 삽입 또는 탈리할 수 있는 양극활물질을 포함하는 양극과, 상기 양극과 음극 사이에 상기 양극과 상기 음극의 단락을 방지하기 위한 분리막을 배치하는 단계; 및상기 양극과 상기 음극 사이에 리튬염이 용해되어 있는 전해액을 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이차전지의 제조방법
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