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3축 병진운동 및 3축 회전운동을 측정할 수 있는 관성 센서에 있어서, 외력에 의해 3축 병진운동 및 3축 회전운동을 하는 이동 콤 드라이브; 및 상기 이동 콤 드라이브와 인접하여 고정되도록 배치되는 고정 콤 드라이브;를 포함하고, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 각각의 측면에서 적어도 한 쌍의 고정 콤 부재를 가지는, 관성 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 고정 콤 부재는 서로 다른 높이를 가지거나, 상기 한 쌍의 고정 콤 부재에 각각 대응하는 이동 콤 드라이브의 이동 전극들의 높이가 서로 다른, 관성 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 이동 콤 드라이브는 중앙에 배치되고, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 주위에 배치되며, 상기 고정 콤 드라이브는 복수 쌍의 고정 콤 부재들로 구성되는, 관성 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 이동 콤 드라이브는 몸체를 구비하고, 상기 몸체의 외측에는 복수의 이동 전극이 구비되고, 상기 고정 콤 부재의 일 면에는 상기 이동 전극에 인접한 복수의 고정 전극이 구비되는, 관성 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 복수의 이동 전극과 상기 복수의 고정 전극은 서로 마주보도록 교차 배열되고, 상기 고정 전극은 양 측에 이웃하는 이동 전극들과 서로 다른 거리로 배치되는, 관성 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 몸체를 중심으로 대향하는 측에 배치된 상기 고정 전극들의 높이는 서로 다른, 관성 센서
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7
제 6 항에 있어서, 상기 한 쌍의 고정 콤 부재는 제1 고정 콤 부재 및 제2 고정 콤 부재를 포함하고, 상기 제1 고정 콤 부재의 고정 전극들과 상기 제2 고정 콤 부재의 고정 전극들은 거울대칭으로 배치되는, 관성 센서
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8
적어도 2축의 병진운동 및 적어도 1축의 회전운동을 측정할 수 있는 관성 센서에 있어서, 외력에 의해 병진운동 및 회전운동을 하는 이동 콤 드라이브; 및 상기 이동 콤 드라이브와 인접하여 고정되도록 배치되는 고정 콤 드라이브;를 포함하고, 상기 이동 콤 드라이브 및 상기 고정 콤 드라이브는 모노리식 기판으로 제작되는, 관성 센서
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9
제 8 항에 있어서, 상기 이동 콤 드라이브는 중앙에 배치되고, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 주위에 배치되고,상기 이동 콤 드라이브는 몸체를 구비하고, 상기 몸체의 외측에는 복수의 이동 전극이 구비되고, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 각각의 측면에서 적어도 하나의 고정 콤 부재를 가지고, 상기 고정 콤 부재의 일 면에는 상기 이동 전극에 인접한 복수의 고정 전극이 구비되며,상기 모든 고정 전극들의 높이는 서로 같은, 관성 센서
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10
제 8 항에 있어서, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 각각의 측면에서 적어도 한 쌍의 고정 콤 부재를 가지고, 상기 한 쌍의 고정 콤 부재는 서로 다른 높이를 가지거나, 상기 한 쌍의 고정 콤 부재에 대응하는 이동 콤 드라이브의 이동 전극들의 높이가 서로 다르고, 상기 이동 콤 드라이브는 중앙에 배치되고, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 주위에 배치되며, 상기 고정 콤 드라이브는 복수 쌍의 고정 콤 부재들로 구성되며, 상기 이동 콤 드라이브는 몸체를 구비하고, 상기 몸체의 외측에는 복수의 이동 전극이 구비되고, 상기 고정 콤 부재의 일 면에는 상기 이동 전극에 인접한 복수의 고정 전극이 구비되고, 상기 복수의 이동 전극과 상기 복수의 고정 전극은 서로 마주보도록 교차 배열되고, 상기 고정 전극은 양 측에 이웃하는 이동 전극들과 서로 다른 거리로 배치되며, 상기 한 쌍의 고정 콤 부재는 제1 고정 콤 부재 및 제2 고정 콤 부재를 포함하고, 상기 제1 고정 콤 부재의 고정 전극들과 상기 제2 고정 콤 부재의 고정 전극들은 거울대칭으로 배치되는, 관성 센서
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11
제 8 항에 있어서, 상기 이동 콤 드라이브는 중앙에 배치되고, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 주위에 배치되고, 상기 이동 콤 드라이브는 몸체를 구비하고, 상기 몸체의 외측에는 복수의 이동 전극이 구비되고, 상기 고정 콤 드라이브는 상기 이동 콤 드라이브의 각각의 측면에서 적어도 하나의 고정 콤 부재를 가지고, 상기 고정 콤 부재의 일 면에는 상기 이동 전극에 인접한 복수의 고정 전극이 구비되며,상기 복수의 고정 콤 부재들은 상기 이동 콤 드라이브의 중심에 대해서 서로 점 대칭으로 배치되고, 점 대칭 배치된 고정 콤 부재들의 높이는 서로 다른, 관성 센서
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