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기판 상의 클래드 층;상기 클래드 층 내에 배치되고, 제 1 방향으로 배열되는 광 도파로;상기 광 도파로 및 상기 클래드 층 상에 배치되고, 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장하는 미세 채널을 갖는 하우징을 포함하되,상기 광 도파로는:상기 클래드 층의 일측 내에 제공되고, 상기 미세 채널 내의 액적에 여기 광을 제공하여 형광을 생성시키는 입력 도파로; 및상기 클래드 층의 타측 내에 제공되고, 상기 미세 채널과 상기 클레드 층 사이에 배치되어 상기 형광을 반사하는 출력 경사면을 갖는 출력 도파로를 포함하는 형광 생성 장치
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제 1 항에 있어서,상기 입력 도파로는 상기 미세 채널의 아래에 배치되고, 상기 미세 채널과 상기 클래드 층 사이에 배치되어 상기 여기 광을 상기 미세 채널 내의 상기 액적에 반사하는 입력 경사면을 갖는 형광 생성 장치
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제 2 항에 있어서,상기 입력 및 출력 경사면들과 상기 클래드 층 사이에 배치된 반사 층을 더 포함하는 형광 생성 장치
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제 3 항에 있어서,상기 반사 층은:상기 입력 경사면 아래의 입력 반사 층: 및상기 출력 경사면 아래의 출력 반사 층을 포함하는 형광 생성 장치
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제 4 항에 있어서,상기 출력 반사 층은 이색 필터를 포함하는 형광 생성 장치
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제 2 항에 있어서,상기 입력 경사면 상의 상기 미세 채널 내에 제공되는 형광 필터를 더 포함하는 검출 장치
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제 6 항에 있어서,상기 입력 도파로는 상기 미세 채널의 측벽에 연결되는 형광 생성 장치
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제 7 항에 있어서,상기 형광 필터는 상기 미세 채널의 측벽에 접하는 상기 입력 도파로의 말단에 제공되는 형광 생성 장치
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제 1 항에 있어서,상기 출력 경사면 상의 상기 미세 채널 내에 제공되는 여기 광 필터를 더 포함하는 형광 생성 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광 도파로는 리지 도파로를 포함하는 형광 생성 장치
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기판 상의 클래드 층;상기 클래드 층의 일측 상에 제공되고, 입력 경사면을 갖는 입력 도파로;상기 클래드 층의 타측 상에 제공되고, 상기 입력 경사면에 인접하는 출력 경사면을 갖는 출력 도파로;상기 입력 경사면 및 상기 출력 경사면 상에 배치되고, 오일 및 상기 오일 내의 액적을 수용하는 미세 채널을 갖는 유체 칩; 상기 출력 경사면 상의 상기 미세 채널 내에 배치되고, 상기 액적에 제공되는 여기 광을 제거하는 여기 광 필터; 및상기 입력 도파로에 인접하는 상기 미세 채널 내에 배치되고, 상기 여기 광에 의해 상기 액적으로부터 방출되는 형광을 제거하는 형광 필터를 포함하는 형광 생성 장치
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제 11 항에 있어서,상기 입력 도파로는 상기 미세 채널의 일측 측벽에 연결되는 형광 생성 장치
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제 12 항에 있어서,상기 여기 광 필터 및 상기 형광 필터는 L자 모양으로 배치되는 형광 생성 장치
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제 12 항에 있어서,상기 클래드 층은 상기 미세 채널의 타측 측벽에 제공되는 형광 생성 장치
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제 11 항에 있어서,상기 입출력 경사면들과 상기 클래드 층 사이에 제공되는 반사 층을 더 포함하는 형광 생성 장치
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여기 광을 생성하는 여기 광원을 포함하는 광원 장치;상기 여기 광을 수신하여 액적의 형광을 생성하는 액적 생성 장치; 및상기 형광을 검출하는 광 검출기를 구비하는 검출 장치를 포함하되,상기 액적 생성 장치는:기판 상의 클래드 층;상기 클래드 층 내에 배치되고, 제 1 방향으로 배열되는 광 도파로;상기 광 도파로 및 상기 클래드 층 상에 배치되고, 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장하는 미세 채널을 갖는 하우징을 포함하되,상기 광 도파로는:상기 클래드 층의 일측 내에 제공되고, 상기 미세 채널 내의 상기 액적에 상기 여기 광을 제공하여 상기 형광을 생성시키는 입력 도파로; 및상기 클래드 층의 타측 내에 제공되고, 상기 미세 채널과 상기 클레드 층 사이에 배치되어 상기 형광을 반사하는 출력 경사면을 갖는 출력 도파로를 포함하는 디지털 PCR 분석 시스템
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제 16 항에 있어서,상기 광원 장치는 상기 여기 광원과 상기 액적 생성 장치 사이에 제공되는 제 1 광 전송 블록을 더 포함하되,상기 제 1 광 전송 블록은:상기 제 1 클래딩 블록;상기 제 1 클래딩 블록 내에 배치되어 상기 여기 광을 상기 액적 생성 장치에 전달하는 제 1 매립 도파로; 및제 1 매립 도파로에 제공되어 상기 여기 광을 투과하고 상기 형광을 반사하는 제 1 이색 미러를 포함하는 디지털 PCR 분석 시스템
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제 16 항에 있어서,상기 검출 장치는 상기 검출기와 상기 형광 생성 장치 사이에 제공되는 제 2 광 전송 블록을 더 포함하되, 상기 제 2 광 전송 블록은:제 2 클래딩 블록;상기 제 2 클래딩 내에 배치되어 상기 형광을 상기 광 검출기에 제공하는 제 2 매립 도파로; 및제 2 매립 도파로에 제공되어 상기 형광을 투과하고 상기 여기 광을 반사하는 제 2 이색 미러를 포함하는 디지털 PCR 분석 시스템
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제 16 항에 있어서,상기 광원 장치는 상기 여기 광원과 상기 형광 생성 장치 사이에 제공되는 제 1 렌즈를 더 포함하고,상기 검출 장치는 상기 형광 생성 장치와 상기 광 검출기 사이의 제 2 렌즈를 더 포함하는 디지털 PCR 분석 시스템
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제 11 항에 있어서,상기 광원 장치는 상기 여기 광원과 상기 형광 생성 장치 사이의 제 1 광섬유를 더 포함하고,상기 검출 장치는 상기 형광 생성 장치와 상기 광 검출기 사이의 제 2 광섬유를 더 포함하는 디지털 PCR 분석 시스템
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