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하이브리드 반도체 소자 및 하이브리드 반도체 모듈

  • 기술번호 : KST2022013878
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인가되는 전압을 기초로 메모리 소자 또는 로직 소자로 동작하는 하이브리드 반도체 소자와 메모리 기능으로 동작하는 부분 및 로직 기능으로 동작하는 부분의 비율을 동적으로 조정할 수 있는 하이브리드 반도체 모듈에 관한 것이다.본 발명에 따르면 인가되는 전압에 따라서 로직 소자 및 메모리 소자 중의 어느 하나로 동작하는 반도체 소자를 복수 개 포함하는 제1 소자 그룹; 상기 반도체 소자를 복수 개 포함하는 제2 소자 그룹; 상기 제1 소자 그룹 및 상기 제2 소자 그룹 각각에 인가되는 전압을 동적으로 결정하는 동작 제어부; 및 상기 동작 제어부의 제어에 따라서 제1 전압 및 제2 전압을 상기 제1 소자 그룹 및 상기 제2 소자 그룹에 각각 인가하는 전압 인가부를 포함하는 하이브리드 반도체 모듈이 제공된다.
Int. CL H01L 27/02 (2006.01.01)
CPC H01L 27/0285(2013.01)
출원번호/일자 1020150070828 (2015.05.21)
출원인 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1639261-0000 (2016.07.07)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20160713) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.21)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신창환 대한민국 서울특별시 동대문구
2 조재성 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박준용 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **(역삼동, 대우디오빌플러스) ***호(새론국제특허법률사무소)
2 이창범 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **,*층 (서초동, 헤라피스빌딩)(제이엠인터내셔널)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자 주식회사 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0487652-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0013331-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0232146-89
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0321353-42
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0321335-20
7 등록결정서
Decision to grant
2016.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0469931-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.17 수리 (Accepted) 4-1-2017-5009116-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5191631-69
10 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.01.25 수리 (Accepted) 4-1-2022-5020718-60
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
인가되는 전압에 따라서 로직 소자 및 메모리 소자 중의 어느 하나로 동작하는 반도체 소자; 및제1 전압 및 제2 전압 중 하나를 상기 반도체 소자에 인가하는 전압 인가부를 포함하되,상기 반도체 소자는,기판;상기 기판에 형성되는 소스 영역 및 드레인 영역;상기 기판 상에 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역의 사이에 위치하도록 배치되는 유전체층;상기 유전체층 상에 배치되는 제1 전극층;상기 제1 전극층 상에 배치되는 강유전체층; 및상기 강유전체층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 반도체 소자는,상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 각각 상기 유전체층 내지 상기 제2 전극층의 측면을 도포하는 제1 스페이서 및 제2 스페이서를 더 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
4 4
제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘(Si) 기판, 게르마늄(Ge) 기판, 실리콘 및 게르마늄의 화합물을 포함하는 기판, III-V족 화합물을 포함하는 기판, SOI(Silicon-on-insulator) 기판, GOI(Germanium-on-insulator) 기판 및 SGOI(Silicon-Germanium-on-insulator) 기판 중 어느 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
5 5
제1항에 있어서,상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역은 n-타입 불순물 및 p-타입 불순물 중 어느 하나로 도핑되는 것인 하이브리드 반도체 소자
6 6
제1항에 있어서,상기 유전체층은 SiO2, Si3N4, HfO2, ZrO2, La2O3, Al2O3 및 TiO2를 포함하는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
7 7
제1항에 있어서,상기 제1 전극층 및 제2 전극층은 실리콘(Si), 폴리실리콘, 구리(Cu), 은(Ag), 티타늄(Ti), 백금(Pt), 질화티타늄(TiN)을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
8 8
제1항에 있어서,상기 제1 전극층 및 제2 전극층은 실리콘(Si), 폴리실리콘, 구리(Cu), 은(Ag), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 탄탈룸(Ta), 루테늄(Ru) 및 이들 중 적어도 하나의 산화물 및 질화물을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
9 9
제1항에 있어서,상기 강유전체층은 PVDF [poly(vinylidenefluoride)], P(VDF-TrFE) [poly(vinylidenefluoride-trifluoroethylene)], PZT (lead zirconate titanate), BTO (barium titanate), BLT (bismuth lanthanum titanate), SBT (strontium bismuth tantalate), SLT (near-stoichiometric lithium tantalate), 실리콘 도핑된 산화하프늄(Si-doped HfO2) 및 산화하프늄지르코늄(HfZrO2)을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
10 10
제3항에 있어서,상기 제1 스페이서 및 제2 스페이서는 질화실리콘(silicon nitride), 불소 도핑된 산화실리콘(fluorine-doped silicon dioxide), 탄소-도핑된 산화실리콘(carbon-doped silicon dioxide), 다공성 산화 실리콘(porous silicon dioxide)을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 소자
11 11
제1항에 있어서,상기 전압 인가부는 상기 제1 전압 및 상기 제2 전압 중 어느 하나를 상기 반도체 소자의 상기 드레인 영역으로 인가하는 것인 하이브리드 반도체 소자
12 12
제1항에 있어서,상기 제1 전압을 상기 전압 인가부로 공급하는 제1 전압 공급부; 및상기 제2 전압을 상기 전압 인가부로 공급하는 제2 전압 공급부를 더 포함하는 하이브리드 반도체 소자
13 13
인가되는 전압에 따라서 로직 소자 및 메모리 소자 중의 어느 하나로 동작하는 반도체 소자를 복수 개 포함하는 제1 소자 그룹;상기 반도체 소자를 복수 개 포함하는 제2 소자 그룹;상기 제1 소자 그룹 및 상기 제2 소자 그룹 각각에 인가되는 전압을 동적으로 결정하는 동작 제어부; 및상기 동작 제어부의 제어에 따라서 제1 전압 및 제2 전압을 상기 제1 소자 그룹 및 상기 제2 소자 그룹에 각각 인가하는 전압 인가부를 포함하되,상기 반도체 소자는,기판;상기 기판에 형성되는 소스 영역 및 드레인 영역;상기 기판 상에 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역의 사이에 위치하도록 배치되는 유전체층;상기 유전체층 상에 배치되는 제1 전극층;상기 제1 전극층 상에 배치되는 강유전체층; 및상기 강유전체층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
14 14
삭제
15 15
제13항에 있어서,상기 반도체 소자는,상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 각각 상기 유전체층 내지 상기 제2 전극층의 측면을 도포하는 제1 스페이서 및 제2 스페이서를 더 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
16 16
제13항에 있어서,상기 기판은 실리콘(Si) 기판, 게르마늄(Ge) 기판, 실리콘 및 게르마늄의 화합물을 포함하는 기판, III-V족 화합물을 포함하는 기판, SOI기판, GOI 기판 및 SGOI 기판 중 어느 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
17 17
제13항에 있어서,상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역은 n-타입 불순물 및 p-타입 불순물 중 어느 하나로 도핑되는 것인 하이브리드 반도체 모듈
18 18
제13항에 있어서,상기 유전체층은 SiO2, Si3N4, HfO2, ZrO2, La2O3, Al2O3 및 TiO2를 포함하는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
19 19
제13항에 있어서,상기 제1 전극층 및 제2 전극층은 실리콘(Si), 폴리실리콘, 구리(Cu), 은(Ag), 티타늄(Ti), 백금(Pt), 질화티타늄(TiN)을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
20 20
제13항에 있어서,상기 제1 전극층 및 제2 전극층은 실리콘(Si), 폴리실리콘, 구리(Cu), 은(Ag), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 탄탈룸(Ta), 루테늄(Ru) 및 이들 중 적어도 하나의 산화물 및 질화물을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
21 21
제13항에 있어서,상기 강유전체층은 PVDF, P(VDF-TrFE), PZT, BTO, BLT, SBT, SLT, 실리콘 도핑된(Si-doped) HfO2 및 HfZrO2를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
22 22
제15항에 있어서,상기 제1 스페이서 및 제2 스페이서는 질화실리콘, 불소 도핑된 산화실리콘, 탄소-도핑된 산화실리콘, 다공성 산화 실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
23 23
제13항에 있어서,상기 전압 인가부는 상기 제1 전압 및 상기 제2 전압 중 어느 하나를 상기 반도체 소자의 상기 드레인 영역으로 인가하는 것인 하이브리드 반도체 모듈
24 24
제13항에 있어서,상기 제1 전압을 상기 전압 인가부로 공급하는 제1 전압 공급부; 및상기 제2 전압을 상기 전압 인가부로 공급하는 제2 전압 공급부를 더 포함하는 하이브리드 반도체 모듈
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1 미래창조과학부 서울시립대학교 중견연구자지원 위상학적 절연체 및 강유전체를 이용한 10nm 이하급 CMOS Extension 기술 연구