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광섬유 소자 에칭 장치 및 이를 이용한 광섬유 에칭 방법

  • 기술번호 : KST2022014000
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광섬유 에칭 장치 및 이를 이용한 광섬유 에칭 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광섬유 소자 에칭 장치는 메인 바디; 상기 메인 바디의 일측에 구비되며 에칭액이 주입되는 둘 이상의 에칭액 주입구; 상기 메인 바디의 내부에 구비되며. 상기 둘 이상의 에칭액 주입구와 각각 연결되는 둘 이상의 에칭액 탱크; 상기 둘 이상의 에칭액 탱크 중 인접하는 두 개의 에칭액 탱크를 격리하는 격리판; 및 상기 메인 바디의 타측에 구비되고, 상기 둘 이상의 에칭액 탱크와 각각 연결되며, 상기 격리판에 의해 서로 격리되는 둘 이상의 에칭부; 를 포함하되, 상기 둘 이상의 에칭부 각각은 상기 둘 이상의 에칭액 주입구 각각을 통해 주입된 상기 에칭액이 채워지며, 소정의 간격으로 이격되어 배치되는 하나 이상의 에칭조; 및 상기 하나 이상의 에칭조 각각의 에지에 구비되며, 하나 이상의 에칭조 내의 상기 에칭액에 접촉하도록 광섬유가 재치되는 홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G02B 6/136 (2006.01.01) C23F 1/02 (2006.01.01)
CPC G02B 6/136(2013.01) C23F 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020200078587 (2020.06.26)
출원인 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2378400-0000 (2022.03.21)
공개번호/일자 10-2022-0000677 (2022.01.04) 문서열기
공고번호/일자 (20220323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.06.26)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이주한 서울특별시 서초구
2 김태윤 서울특별시 종로구
3 강건규 서울특별시 노원구
4 정준하 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박준용 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **(역삼동, 대우디오빌플러스) ***호(새론국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 서울특별시 동대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-0662935-96
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.11.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2022.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0011121-41
4 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.01.25 수리 (Accepted) 4-1-2022-5020718-60
5 등록결정서
Decision to grant
2022.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0204528-12
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
메인 바디;상기 메인 바디의 일측에 구비되며 에칭액이 주입되는 둘 이상의 에칭액 주입구;상기 메인 바디의 내부에 구비되며
2 2
제1항에 있어서,상기 둘 이상의 에칭액 주입구는 제1 높이에 설치되고, 상기 둘 이상의 에칭부는 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에 설치되는 것을 특징으로 하는 광섬유 소자 에칭 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 둘 이상의 에칭액 주입구 중 인접하는 두 개의 에칭액 주입구는 상기 격리판에 의해 격리되는 것을 특징으로 하는 광섬유 소자 에칭 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 에칭조가 설치되는 높이는, 상기 둘 이상의 에칭액 탱크 각각에 상기 에칭액이 채워지면 상기 둘 이상의 에칭액 탱크 각각에 연결된 상기 에칭조도 에칭액이 채워지는 높이인 것을 특징으로 하는 광섬유 소자 에칭 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 둘 이상의 에칭부 중 어느 하나의 에칭부에 포함된 하나 이상의 에칭조는 제1 간격으로 이격되어 배치되고, 상기 어느 하나의 에칭부와 인접하는 다른 하나의 에칭부에 포함된 하나 이상의 에칭조는 상기 제1 간격과 다른 제2 간격으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 광섬유 소자 에칭 장치
6 6
에칭액이 주입되는 둘 이상의 에칭액 주입구; 상기 둘 이상의 에칭액 주입구와 각각 연결되는 둘 이상의 에칭액 탱크; 상기 둘 이상의 에칭액 탱크 중 인접하는 두 개의 에칭액 탱크를 격리하는 격리판; 및 상기 둘 이상의 에칭액 탱크와 각각 연결되며, 상기 격리판에 의해 서로 격리되는 둘 이상의 에칭부;를 포함하되, 상기 둘 이상의 에칭부 각각은 상기 둘 이상의 에칭액 주입구 각각을 통해 주입된 상기 에칭액이 채워지며, 일정 간격으로 배치되는 하나 이상의 에칭조; 및 상기 하나 이상의 에칭조 각각의 에지에 구비되며, 하나 이상의 에칭조 내의 상기 에칭액에 접촉하도록 광섬유가 재치되는 홈을 포함하는 광섬유 소자 에칭 장치를 이용하여 상기 광섬유를 에칭하는 광섬유 에칭 방법에 있어서,(a) 상기 광섬유를 상기 홈에 재치하는 단계;(b) 소정의 시간차를 두고 상기 둘 이상의 에칭액 주입구에 상기 에칭액을 주입하는 단계;(c) 상기 시간차에 따라 상기 둘 이상의 에칭부 각각에 대해 서로 다른 에칭 시간으로 상기 광섬유를 에칭하는 단계; 및(d) 에칭이 완료된 상기 광섬유를 상기 광섬유 소자 에칭 장치로부터 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 에칭 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 (b) 단계는 상기 하나 이상의 에칭조의 배치 간격이 큰 에칭부와 연결된 에칭액 주입구에 상기 에칭액을 먼저 주입하고, 상기 하나 이상의 에칭조의 배치 간격이 작은 에칭부와 연결된 에칭액 주입구에 상기 에칭액을 나중에 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 에칭 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 (c) 단계는 상기 하나 이상의 에칭조의 배치 간격이 큰 에칭부의 홈에 거치된 상기 광섬유의 부분은 긴 시간동안 에칭하고, 상기 하나 이상의 에칭조의 배치 간격이 작은 에칭부의 홈에 거치된 상기 광섬유의 부분은 짧은 시간동안 에칭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 에칭 방법
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