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은 코팅 구리 프리폼 및 상기 은 코팅 구리 프리폼을 이용한 소결접합 방법

  • 기술번호 : KST2022014178
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 팩킹 밀도(packaging density)가 높으면서도 용제 성분이 없는 은 코팅 구리 프리폼 및 이를 이용하여 표면에 은(Ag) 피니쉬를 가지는 피접합체들을 소결접합하는 방법으로, 구리와 은의 중량비가 6 : 4 내지 9 : 1인 은 코팅 구리 입자를 준비하는 단계; 상기 은 코팅 구리 입자를 필름 성형체, 펠렛(pellet) 또는 그린시트(green sheet) 형태로 변형하여 은 코팅 구리 프리폼(preform)을 제조하는 단계; 상기 은 코팅 구리 프리폼을 제 1 피접합체와 제 2 피접합체 사이에 삽입한 후 가압 소결하는 단계;를 포함하여, 상기 은 코팅 구리 프리폼 내 입자들이 상기 제 1 피접합체 및 제 2 피접합체 접합 표면의 요철 형상에 대응되도록 재배열(rearrangement)되며 상기 제 1 피접합체 및 제 2 피접합체의 표면과 소결접합되면서 은 코팅 순수 구리 입자 기반 소결접합부를 형성하는 은 코팅 구리 프리폼을 이용한 소결접합 방법 및 은 코팅 구리 프리폼을 제공한다.
Int. CL H01L 23/532 (2006.01.01) B22F 1/00 (2022.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01)
CPC H01L 23/53233(2013.01) H01L 23/53247(2013.01) H01L 24/83(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) B22F 1/17(2013.01)
출원번호/일자 1020210007894 (2021.01.20)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0105329 (2022.07.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.01.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 서울특별시 중랑구
2 김명인 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2021-0074671-91
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.02.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2022.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0078065-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0389480-57
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2022.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2022-0775840-43
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.07.25 접수중 (On receiving) 1-1-2022-0775839-07
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번호 청구항
1 1
표면에 은(Ag) 피니쉬를 가지는 피접합체들을 소결접합하는 방법으로,구리와 은의 중량비가 6 : 4 내지 9 : 1인 은 코팅 구리 입자를 준비하는 단계;상기 은 코팅 구리 입자를 필름 성형체, 펠렛(pellet) 또는 그린시트(green sheet) 형태로 변형하여 은 코팅 구리 프리폼(preform)을 제조하는 단계;상기 은 코팅 구리 프리폼을 제 1 피접합체와 제 2 피접합체 사이에 삽입한 후 가압 소결하는 단계;를 포함하여,상기 은 코팅 구리 프리폼 내 입자들이 상기 제 1 피접합체 및 제 2 피접합체 접합 표면의 요철 형상에 대응되도록 재배열(rearrangement)되며 상기 제 1 피접합체 및 제 2 피접합체의 표면과 소결접합되면서 은 코팅 순수 구리 입자 기반 소결접합부를 형성하는 것을 특징으로 하는 은 코팅 구리 프리폼을 이용한 소결접합 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 은 코팅 구리 입자는 50 내지 500 nm의 입자 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 은 코팅 구리 프리폼을 이용한 소결접합 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 피접합체의 표면 거칠기(Ra) 값이 0
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 가압 소결은 200 내지 400℃의 소결 온도로 승온 후, 상기 소결 온도에서 0
5 5
구리와 은의 중량비가 6 : 4 내지 9 : 1인 은 코팅 구리 입자들로부터 형성된 필름 성형체, 펠렛(pellet) 또는 그린시트(green sheet) 형태로, 소결접합시 제 1 피접합체 및 제 2 피접합체 접합 표면의 요철 형상에 대응되도록 내부 입자들이 재배열(rearrangement)되어 상기 제 1 피접합체 및 제 2 피접합체의 표면과 소결접합되면서 은 코팅 순수 구리 입자 기반 소결접합부를 형성하는 제 1 피접합체 및 제 2 피접합체의 표면을 소결접합시키는 것을 특징으로 하는 은 코팅 구리 프리폼
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 서울과학기술대학교 산학협력단 2019년 연구산업활성화지원 추가R＆D 1.4 μm 및 400 nm급 Ag 코팅 Cu 분말의 양산기술 정립 및 적용 특성 분석