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증발 물질이 담기며, 중공 형태의 지지부를 갖는 도가니; 및 지지부의 내부에 삽입 설치되며 도가니에 담긴 증발 물질을 증발시키는 열을 발생시키는 열선; 을 포함하며, 지지부는 도가니의 둘레를 따라 복수 개로 마련되고, 적어도 하나의 지지부에는 열선이 삽입되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제1항에 있어서, 열선은 복수 개로 마련된 지지부 각각에 모두 삽입되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제1항에 있어서, 도가니는, 증발 물질이 담기는 공간부 및 열선으로부터 전도된 열에 의해 증발된 증발 물질의 증기가 외부로 방출되는 증기 방출구를 갖는 본체; 및 본체의 외주면을 둘러 싸도록 마련되며 열선이 삽입된 지지부를 갖는 지지대; 를 포함하고, 본체 및 지지대는 동일한 재질로 형성되며 일체로 성형된, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제1항에 있어서, 도가니는, 증발 물질이 담기는 공간부 및 열선으로부터 전도된 열에 의해 증발된 증발 물질의 증기가 외부로 방출되는 증기 방출구를 갖는 본체; 및 본체의 외주면을 둘러 싸도록 마련되며 열선이 삽입된 지지부를 갖는 지지대; 를 포함하고, 본체 및 지지대는 서로 다른 재질로 형성되되 일체로 성형된, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제3항 또는 제4항에 있어서, 도가니는, 부도체로 형성되되, BN(Boron Nitride), PBN(Pyrolytic Boron Nitride), 고순도 알루미나(Al2O3), 석영(Quartz) 중에서 적어도 하나로 마련되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제3항 또는 제4항에 있어서, 도가니는, 도체로 형성되되, 흑연(Graphite), 몰리브데늄, 텅스텐 및 탄탈륨 중에서 적어도 하나로 마련되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제6항에 있어서, 지지부의 내부에는 절연부재가 구비되고, 열선은 절연부재가 구비된 지지부의 내부에 삽입되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제5항 또는 제7항에 있어서, 열선은, 지지부의 전체 영역에 대하여 동일한 발열량을 제공하도록 마련되거나 적어도 일부 영역에서 다른 발열량이 제공되도록 마련된, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제8항에 있어서, 열선은, 지지부의 길이 방향을 따라 감긴 형태를 가지는 코일(coil) 형상으로 형성되되, 지지부의 전체 영역에 대해 열선의 밀도는 균일하게 형성되거나, 지지부의 일 영역에 마련된 열선의 밀도와 지지부의 다른 영역에 마련된 열선의 밀도가 다르게 형성되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제9항에 있어서, 본체의 증기 방출구와 인접하게 위치된 지지부의 일 영역에 마련된 열선의 밀도가 높게 형성되는 경우에는 지지부의 다른 영역에 마련되는 열선의 밀도가 상대적으로 낮게 형성되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제9항에 있어서, 본체의 증기 방출구와 인접하게 위치된 지지부의 일 영역에 마련된 열선의 밀도가 낮게 형성되는 경우에는 지지부의 다른 영역에 마련되는 열선의 밀도가 상대적으로 높게 형성되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제8항에 있어서, 본체는, 일단부가 증발 물질이 담기도록 폐쇄된 면의 형태로 형성되고 타단부는 내부에 담긴 증발 물질이 증발되어 외부로 방출되도록 개방된 면의 형태로 형성되며, 일단부의 직경과 타단부의 직경은 동일한 크기의 직경으로 마련되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제8항에 있어서, 본체는, 일단부가 증발 물질이 담기도록 폐쇄된 면의 형태로 형성되고 타단부는 내부에 담긴 증발 물질이 증발되어 외부로 방출되도록 개방된 면의 형태로 형성되며, 일단부의 직경보다 타단부의 직경이 큰 크기로 마련되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제8항에 있어서, 열선 및 도가니에서 발생된 열의 손실을 차단하기 위하여 도가니의 외주면을 감싸도록 마련된 차폐부재; 를 더 포함하는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제14항에 있어서, 도가니, 열선 및 차폐부재가 내부에 장착되는 장착부재; 를 더 포함하고, 열선은 장착부재를 통해 외부로 노출되되 전원 공급부와 연결되어 전원을 공급받는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제14항에 있어서, 도가니와 접촉되어 도가니의 온도를 감지 및 제어하는 온도 센서; 를 더 포함하고, 온도 센서의 일단부는 장착부재의 내부에 위치되고 온도 센서의 타단부는 장착부재의 외부로 노출되되 전원 공급부와 연결되어 전원을 공급 받도록 마련된, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제16항에 있어서, 장착부재를 지지하며 분자빔 증발원의 진공을 위한 진공 챔버와 연결하는 연결 플랜지; 및 연결 플랜지와 장착부재 사이에 위치되어 도가니에 대해 온도 센서의 접촉이 유지되도록 하는 보강부재; 를 더 포함하는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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제17항에 있어서, 보강부재는, 그 일면에 관통 형성되며 온도 센서의 일부 영역이 관통되는 관통 지지부; 및 관통 지지부와 인접하게 구비되고, 관통 지지부를 관통하는 온도 센서를 지지하는 탄성체; 를 포함하고, 탄성체는 일단부는 관통 지지부의 주변의 일면에 지지되고 타단부는 온도 센서에 마련된 걸림부에 지지되며, 도가니와 온도 센서의 접촉 상태가 유지되도록 보강 부재에 대해 온도 센서를 탄성 지지하는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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증발 물질이 담기며, 중공 형태의 지지부를 갖는 도가니; 지지부의 내부에 삽입 설치되며 증발 물질을 증발시키는 열을 발생시키는 열선; 및 열선 및 도가니에서 발생된 열의 손실을 차단하기 위하여 도가니의 외주면을 감싸도록 마련된 차폐부재;를 포함하며, 지지부는 도가니의 둘레를 따라 복수 개로 마련되고, 적어도 하나의 지지부에는 열선이 삽입되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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증발 물질이 담기며, 중공 형태의 지지부를 갖는 도가니; 지지부의 내부에 삽입 설치되며 증발 물질을 증발시키는 열을 발생시키는 열선; 및 열선 및 도가니에서 발생된 열의 손실을 차단하기 위하여 도가니의 외주면을 감싸도록 마련된 차폐부재;를 포함하며, 지지부는 도가니의 둘레를 따라 복수 개로 마련되고, 적어도 하나의 지지부에는 지지부의 길이 방향에 대하여 적어도 일부 영역이 감긴 형태를 가지는 코일(coil) 형상으로 형성되는 열선이 삽입되는, 진공 박막 증착용 분자빔 증발원
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