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진공펌프와 연결되어 내부가 초고진공 상태를 유지하는 성장챔버; 성장챔버의 내부에 마련되며 기판이 장착되는 기판장착부; 성장챔버의 외부에 마련되되 성장챔버와 연통되며 기판장착부에 장착되는 박막 성장을 위한 적어도 하나의 기판이 위치되는 로드락챔버; 및 기판을 로드락챔버에서 성장챔버로 이송하거나 성장챔버에서 로드락챔버로 이송하는 기판이송부재; 를 포함하며, 로드락챔버와 기판장착부는 마주보도록 배치되되, 기판이송부재의 기판 이송 경로와 동일한 직선 상에 배치되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제1항에 있어서, 성장챔버의 내부에는,기판장착부에 장착되는 기판의 박막 성장을 위한 증발 물질을 생성하는 적어도 하나의 분자빔 증발원이 장착되는 증발원 장착 포트; 를 더 포함하고, 증발원 장착 포트와 로드락챔버는 성장챔버의 동일한 일면에 형성되며, 증발원 장착 포트는 기판이송부재의 기판 이송 경로에 대하여 비스듬하게 배치되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제2항에 있어서, 로드락챔버와 성장챔버 사이를 연결하는 연결 유로는 게이트 밸브에 의해 개폐되며, 기판의 박막 성장시에는 연결 유로는 개방되고 기판은 기판이송부재에 의해 개방된 연결 유로를 통해 로드락챔버에서 성장챔버로 이동되어 기판장착부에 장착되고, 기판의 박막 성장중에는 기판이송부재가 성장챔버로부터 빠져나온 상태에서 연결 유로가 폐쇄되며, 기판의 박막 성장 완료시에는 연결 유로는 다시 개방되고 기판은 기판이송부재에 의하여 개방된 연결 유로를 통해 기판장착부에서 분리되어 성장챔버에서 로드락챔버로 이동되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제3항에 있어서, 기판은 기판홀더에 고정되며, 기판홀더에는 기판장착부 및 기판이송부재와 결합되도록 적어도 하나의 결합 돌기가 마련되고, 기판이송부재 및 기판장착부에는 결합 돌기가 삽입 고정되도록 결합 돌기와 대응되는 형태로 마련되는 적어도 하나의 결합홈이 형성되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제4항에 있어서, 기판이송부재에는,기판홀더와의 결합을 용이하게 하는 기판연결부가 결합되고, 기판연결부에는 기판홀더의 결합 돌기와 대응되는 적어도 하나의 결합홈이 형성되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제4항에 있어서, 기판의 박막 성장시, 기판홀더는 기판홀더의 결합 돌기가 기판연결부의 결합홈과 결합된 상태로 기판이송부재에 의해 로드락챔버에서 성장챔버로 이동되어 기판연결부의 결합홈과의 결합은 해제되고 기판장착부의 결합홈과 결합되어 성장챔버의 내부에 위치되며, 기판의 박막 성장 완료시, 기판홀더는 기판홀더의 결합 돌기와 기판장착부의 결합홈과의 결합은 해제되고 기판연결부의 결합홈과 다시 결합된 상태로 기판이송부재에 의해 성장챔버에서 로드락챔버로 이동되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제4항에 있어서, 결합홈에는, 삽입 고정되는 결합 돌기가 이탈되는 것을 방지하기 위하여 일측으로 절곡되는 절곡부가 형성되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제4항에 있어서, 로드락챔버는, 박막 성장을 위하여 성장챔버로 이동되는 적어도 하나의 기판이 저장되는 기판저장부를 더 포함하는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제8항에 있어서, 기판저장부는, 로드락챔버의 중심에 고정되어 일측 또는 타측 방향으로 회전되는 회전부재; 및 회전부재에 설치되며 내부에 복수 개의 기판이 저장되는 복수 개의 저장 유닛; 을 포함하고, 회전부재에는 저장 유닛이 설치되지 않은 위치에 관통 형성되는 기판이동부가 마련되되, 기판을 로드락챔버에서 성장챔버로 이동시키거나 성장챔버에서 로드락챔버로 이송하고자 할 경우에는 기판이송부재의 기판 이동 경로와 기판이동부가 일직선이 되도록 회전부재를 회전시키는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제9항에 있어서, 기판이송부재의 기판 이송 경로와 회전부재의 회전 중심은 서로 다른 위치를 가지도록 마련되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제9항에 있어서, 저장 유닛은, 적어도 일단부가 개방된 면으로 형성되고, 내부에 기판홀더가 위치되며 기판홀더의 결합 돌기가 끼워지는 적어도 하나의 지지홈이 마련된 케이싱; 케이싱의 내부에 위치되며 케이싱에 위치되는 기판홀더가 놓여지는 지지부재; 및 지지부재에 끼워진 상태로 케이싱과 지지부재 사이에 위치되어 지지부재에 놓여진 복수 개의 기판홀더를 탄성 지지하는 탄성체; 를 포함하는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제11항에 있어서, 로드락챔버에는,저장된 기판을 로드락챔버아웃개싱(outgassing) 하기 위한 히터가 마련되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제3항에 있어서, 성장챔버에는, 기판장착부에 장착된 기판에 이물질이 부착되는 것을 차단하기 위한 셔터가 마련되고, 셔터는 기판장착부와 인접한 위치에 설치되되 기판장착부 쪽으로 회동 가능하게 설치되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제13항에 있어서, 기판장착부는, 성장챔버에 대해 일측 또는 타측 방향으로 회전 가능하게 설치되고, 장착되는 기판을 가열하기 위한 히팅부재가 구비되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제2항에 있어서, 증발원 포트에 설치되는 분자빔 증발원은 분자빔 증발원으로부터 발생되는 증발 물질이 기판장착부를 향하도록 배치되며, 성장챔버에는 기판장착부를 향해 방출되는 증발 물질의 양을 조절하기 위한 조절부재가 마련되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제1항에 있어서, 성장챔버에는 기판의 박막 성장 시에 성장챔버의 내부의 온도를 하강시키기 위한 냉각부재가 마련되는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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제1항에 있어서, 분자선 에피택시 박막 성장 장치는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치가 설치되는 일면에 대한 분자선 에피택시 박막 성장 장치의 경사도를 조절하기 위하여 마련되는 적어도 하나의 챔버 지지대를 더 포함하는, 분자선 에피택시 박막 성장 장치
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