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하기 단계를 포함하는 금 박막이 부착된 미세구조물의 제조방법:제 1 기판 상에 금 박막을 부착하는 단계;상기 금 박막 상에 광중합성 폴리머를 도포하는 단계;자외선(UV)을 조사하여 상기 광중합성 폴리머를 경화시키는 단계;광중합되지 않은 폴리머를 제거하는 단계; 및상기 제 1 기판으로부터 금 박막이 부착된 경화된 폴리머를 분리하는 단계
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하기 단계를 포함하는 금 박막이 부착된 미세구조물의 제조방법:제 1 기판 상에 금 박막을 부착하는 단계;상기 금 박막 상에 광중합성 폴리머를 도포하는 단계;자외선(UV)을 조사하여 상기 광중합성 폴리머를 경화시키는 단계;광중합되지 않은 폴리머를 제거하는 단계; 제 2 기판 상에 부착된 금 박막을 상기 경화된 폴리머 상에 부착하는 단계;자외선(UV)을 조사하는 단계; 및상기 제 1 기판 및 제 2 기판으로부터 금 박막이 양측에 부착된 경화된 폴리머를 분리하는 단계
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제1항 또는 제2에 있어서, 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판은 폴리디메틸실록산(polymethylsiloxane; PDMS), 폴리테트라플루오로에틸렌(Polytetrafluoroethylene), 폴리비닐 알콜(Polyvinyl alcohol), 실리콘 러버 시트(Silicon rubber sheet), UV 다이싱 테이프 (UV dicing tape), 글라스 슬라이드, 3-트리메톡시실릴)프로필 메타크릴레이트(3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate), 폴리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트(polyethylene glycol diacrylate; PEGDA), 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트(Trimethylolpropane triacrylate: TMPTA), 트리메틸올프로판 에톡실레이트(Trimethylolpropane ethoxylate triacrylate, ETPTA), 폴리우레탄 아크릴리에트(Polyurethane acrylate: PUA), 폴리부타디엔 디아크릴레이트(Polybutadiene diacrylate), 트리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트(Tripropylene glycol diacrylate), 폴리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트(Polypropylene glycol Diacrylate), 네오펜틸 클리콜 프로폭실레이트 1PO/OH 디아크릴레이트(Neopentyl glycol propoxylate 1PO/OH diacrylate), 1,6-헥산디올 디아크릴레이트(1,6-Hexanediol Diacrylate), 글리세롤 프로폭실리에트 1PO/OH 트리아크릴레이트(Glycerol Propoxylate 1PO/OH Triacrylate), 트리메틸로프로판 프로폭실레이트트리아크릴레이트(Trimethylolpropane propoxylatetriacrylate) 및 NOA(Norland Optical Adhesive)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 것인, 제조방법
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제1항 또는 제2에 있어서, 상기 광중합성 폴리머는 폴리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트(polyethylene glycol diacrylate; PEGDA), 트리메틸올프로판 트리아클릴레이트(Trimethylolpropane triacrylate: TMPTA), 트리메틸올프로판 에톡실레이트 트리아세틸레이트(Trimethylolpropane ethoxylate triacrylate, ETPTA), 폴리우레탄 아크릴레이트(Polyurethane acrylate: PUA), 폴리부타디엔 디아크릴레이트(Polybutadiene diacrylate), 트리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트(Tripropylene glycol diacrylate), 폴리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트(Polypropylene glycol Diacrylate), 네오펜틸 글리콜 프로폭실레이트 1PO/OH 디아크릴레이트(Neopentyl glycol propoxylate 1PO/OH diacrylate), 1,6-헥산디올 디아크릴레이트(1,6-Hexanediol Diacrylate), 글리세롤 프로폭실리에트 1PO/OH 트리아크릴레이트(Glycerol Propoxylate 1PO/OH Triacrylate), 트리메틸올프로판 프로폭실레이트트리아크릴레이트(Trimethylolpropane propoxylatetriacrylate) 및 NOA(Norland Optical Adhesive)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 것인, 제조방법
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제1항 또는 제2에 있어서, 상기 광중합성 폴리머 상에 폴리디메틸실록산(polymethylsiloxane; PDMS), 폴리테트라플루오로에틸렌(Polytetrafluoroethylene), 폴리비닐 알콜(Polyvinyl alcohol), 실리콘 러버 시트(Silicon rubber sheet), UV 다이싱 테이프 (UV dicing tape), 글라스 슬라이드, 3-트리메톡시실릴)프로필 메타크릴레이트(3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate), 폴리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트(polyethylene glycol diacrylate; PEGDA), 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트(Trimethylolpropane triacrylate: TMPTA), 트리메틸올프로판 에톡실레이트(Trimethylolpropane ethoxylate triacrylate, ETPTA), 폴리우레탄 아크릴리에트(Polyurethane acrylate: PUA), 폴리부타디엔 디아크릴레이트(Polybutadiene diacrylate), 트리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트(Tripropylene glycol diacrylate), 폴리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트(Polypropylene glycol Diacrylate), 네오펜틸 클리콜 프로폭실레이트 1PO/OH 디아크릴레이트(Neopentyl glycol propoxylate 1PO/OH diacrylate), 1,6-헥산디올 디아크릴레이트(1,6-Hexanediol Diacrylate), 글리세롤 프로폭실리에트 1PO/OH 트리아크릴레이트(Glycerol Propoxylate 1PO/OH Triacrylate), 트리메틸로프로판 프로폭실레이트트리아크릴레이트(Trimethylolpropane propoxylatetriacrylate) 및 NOA(Norland Optical Adhesive)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상이 형성된 것인, 제조방법
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제1항 또는 제2에 있어서, 상기 광중합성 폴리머 상에 포토마스크가 형성된 것인, 제조방법
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7
제6항에 있어서, 상기 포토마스크의 패턴에 따라 상기 미세구조물의 형태가 형성되는 것인, 제조방법
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8
제1항 또는 제2에 있어서, 상기 광중합성 폴리머는 자성 입자를 포함하는 것인, 제조방법
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9
제1항의 제조방법으로 제조되는 금 박막이 부착된 미세구조물
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제2항의 제조방법으로 제조되는 금 박막이 부착된 미세구조물
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11
제9항의 금 박막이 부착된 미세구조물을 포함하는 세포배양 장치
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12
제10항의 금 박막이 부착된 미세구조물을 포함하는 세포배양 장치
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13
제9항의 금 박막이 부착된 미세구조물을 포함하는 바이오 물질 또는 분자의 반응 관찰 장치
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14
제10항의 금 박막이 부착된 미세구조물을 포함하는 바이오 물질 또는 분자의 반응 관찰 장치
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15
제9항의 금 박막이 부착된 미세구조물을 포함하는 바이오 물질 또는 분자의 반응 효과 증대 장치
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16
제10항의 금 박막이 부착된 미세구조물을 포함하는 바이오 물질 또는 분자의 반응 효과 증대 장치
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17
제9항의 금 박막이 부착된 미세구조물의 금박을 이용한 광열 효과 장치
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18
제10항의 금 박막이 부착된 미세구조물의 금박을 이용한 광열 효과 장치
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