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마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법

  • 기술번호 : KST2022014678
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법은 기판에 입자를 배열시키는 단계, 상기 입자 위에 액상의 고분자 수지를 도포하는 단계, 액상의 상기 고분자 수지를 경화시키는 단계, 경화된 상기 고분자 수지에 식각을 수행하여 상기 입자의 상단부를 노출시키는 단계, 노출된 상기 입자의 상단부를 이용하여 마이크로 렌즈 어레이 몰드를 제작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B29C 33/38 (2018.01.01) G02B 3/00 (2022.01.01) B29C 33/42 (2018.01.01)
CPC B29C 33/3842(2013.01) G02B 3/0031(2013.01) B29D 11/0048(2013.01) B29C 33/424(2013.01)
출원번호/일자 1020210009962 (2021.01.25)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0108234 (2022.08.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.01.25)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤재성 대전광역시 유성구
2 김관오 대전광역시 유성구
3 강도현 경기도 부천시
4 한준세 서울특별시 서대문구
5 유영은 서울 강남구
6 장원석 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2021-0093079-61
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0078195-33
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2022.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2022-0298785-18
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.03.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0298791-93
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0531532-87
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번호 청구항
1 1
기판에 입자를 배열시키는 단계;상기 입자 위에 액상의 고분자 수지를 도포하는 단계;액상의 상기 고분자 수지를 경화시키는 단계;경화된 상기 고분자 수지에 식각을 수행하여 상기 입자의 상단부를 노출시키는 단계;노출된 상기 입자의 상단부를 이용하여 마이크로 렌즈 어레이 몰드를 제작하는 단계를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,마이크로 또는 나노 크기의 입자를 자가 배열(self-assembly)의 방법으로 상기 기판에 배열시키는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 입자는 구형의 입자인 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,경화된 상기 고분자 수지에 플라즈마 식각을 수행하여 상기 입자의 상단부를 노출시키는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 입자는 경화된 상기 고분자 수지 대비 플라즈마 식각의 선택비가 높은 소재로 형성되는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 입자는 유리(glass), 실리카(silica), silicon(실리콘), 금속(metal) 중 어느 하나의 소재로 형성되는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 고분자 수지는 포토 레지스트(photo resist), 자외선 수지(UV resin) 중 어느 하나의 소재로 형성되는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서,식각 시간을 조절하여 노출되는 상기 입자의 상단부 높이를 조절하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이 몰드를 제작하는 단계는 마이크로 렌즈 어레이 몰드에 상기 입자가 노출된 상기 기판의 일면을 가압하여 패턴을 전사하는 단계를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 입자가 액상의 상기 고분자 수지 내부에 포함되도록 액상의 상기 고분자 수지를 도포하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국기계연구원 과기부-국가연구개발사업(Ⅴ) 원적외선 대역 웨이퍼레벨 결상광학용 광학모듈 제작기술 개발 (1/4)
2 과학기술정보통신부 한국기계연구원 주요사업 나노기반 유해물질 검출진단 소자 플랫폼 기술 개발 (3/6)
3 과학기술정보통신부 한국기계연구원 과기부-국가연구개발사업(Ⅲ) 플라스틱 플랫폼 기반 양산형 검출 소자 및 제조 기술 개발 (3/4)