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건식접착 구조물의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022014798
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 폴리디메틸실록산으로 형성된 건식접착 구조물을 제조한 이후, 열처리라는 후처리 공정을 통해 폴리디메틸실록산의 탄성계수를 증가시킴으로써, 상기 건식접착 구조물의 접착력을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 열처리하는 후처리 공정은, 상기 건식접착 구조물을 제조하는 과정에서 접착력을 조절하는 것이 아니고, 이미 제조된 건식접착 구조물에 적용이 가능하기 때문에, 기제조된 건식접착 구조물의 접착력을 추가적으로 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
Int. CL H01L 21/18 (2006.01.01) C09D 7/61 (2018.01.01) C09D 183/04 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/56 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/185(2013.01) C09D 7/61(2018.01) C09D 183/04(2013.01) H01L 21/324(2016.05) H01L 21/565(2013.01) H01L 21/02118(2013.01)
출원번호/일자 1020170036017 (2017.03.22)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1894028-0000 (2018.08.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180831) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정훈의 대한민국 울산광역시 울주군
2 성민호 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0283237-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0270795-03
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0078869-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0398796-52
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0730124-55
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-0730125-01
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0568500-54
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 기둥 형상으로 돌출된 기둥부와 상기 기둥부에서 연장 형성되고 상기 기둥부보다 단면적이 크게 확장 형성된 흡착부를 포함하는 미세섬모들을 포함하는 건식접착 구조물을 제조하는 방법에 있어서,상기 미세섬모의 패턴이 형성된 몰드를 제조하는 몰드 제조단계와;상기 몰드에 폴리머를 도포하고, 경화시키는 경화단계와;상기 몰드로부터 상기 경화된 폴리머를 분리하여, 상기 기둥부와 상기 흡착부가 형성된 미세섬모를 포함하는 건식접착 구조물을 완성시키는 제조단계와;상기 제조단계에서 제조된 상기 건식접착 구조물을 미리 설정된 설정시간동안 180℃ 내지 220℃에서 열처리하여, 상기 건식접착 구조물의 탄성계수를 증가시켜 상기 흡착부의 접착력을 향상시키는 후처리 단계를 포함하고,상기 설정시간은 20분 내지 60분으로 설정되는 건식접착 구조물의 제조방법
3 3
삭제
4 4
청구항 2에 있어서,상기 폴리머는 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane)을 포함하는 건식접착 구조물의 제조방법
5 5
청구항 2에 있어서,상기 경화단계에서는, 상기 폴리머에 탄소나노소재를 혼합시켜 도포하는 건식접착 구조물의 제조방법
6 6
청구항 5에 있어서,상기 탄소나노소재는, 탄소나노튜브, 그래핀 중 적어도 하나를 포함하는 건식접착 구조물의 제조방법
7 7
청구항 5에 있어서,상기 탄소나노소재는 0
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베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 기둥 형상으로 돌출된 기둥부와 상기 기둥부에서 연장 형성되고 상기 기둥부보다 단면적이 크게 확장 형성된 흡착부를 포함하는 미세섬모들을 포함하는 건식접착 구조물을 제조하는 방법에 있어서,상기 미세섬모의 패턴이 형성된 몰드를 제조하는 몰드 제조단계와;상기 몰드에 폴리디메틸실록산, 경화제 및 탄소나노소재를 포함한 혼합 재료를 도포하고 경화시키는 경화단계와;상기 몰드로부터 경화된 상기 혼합 재료를 분리하여, 상기 기둥부와 상기 흡착부가 형성된 미세섬모를 포함하는 건식접착 구조물을 완성시키는 제조단계와; 상기 제조단계에서 제조된 상기 건식접착 구조물을 20분 내지 60분 동안 180℃ 내지 220℃에서 열처리하여, 상기 건식접착 구조물의 탄성계수를 증가시켜 상기 흡착부의 접착력을 향상시키는 후처리 단계를 포함하고,상기 탄소나노소재는, 탄소나노튜브, 그래핀 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 탄소나노소재는 0
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1 미래창조과학부 울산과학기술원 개인연구지원 생체모사 액츄에이팅 섬모배열 가공기술 및 이를 이용한 능동적 액적 제어 기술 및 방오 표면 기술 개발