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블록공중합체를 이용한 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022014853
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 블록공중합체를 이용한 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마이크로 패턴이 형성된 기판; 및 상기 마이크로 패턴 내부에 정렬된 금속 나노선을 포함하는, 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선을 제공한다. 본 발명에 따른 블록공중합체를 이용한 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선 제조방법은 다양한 금속이 사용될 수 있으며, 포토리소그래피를 이용한 복잡하고 다양한 마이크로 패턴과 결합이 가능한 이점이 있다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) G03F 7/0035(2013.01)
출원번호/일자 1020180000281 (2018.01.02)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1989414-0000 (2019.06.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.02)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김소연 울산광역시 울주군
2 김예찬 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0003701-37
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0146581-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0838723-39
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0119858-62
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.02.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0119859-18
7 등록결정서
Decision to grant		 2019.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0382930-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
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번호 청구항
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기판 상에 블록공중합체 용액을 적하하고 스핀코팅시켜 블록공중합체 박막을 제조하는 단계;상기 스핀코팅된 블록공중합체 박막을 전단 정렬시키는 단계;상기 전단 정렬된 블록공중합체 박막을 금속 전구체 용액에 침지시켜 금속이 로딩된 블록공중합체 박막을 제조하는 단계;상기 금속이 로딩된 블록공중합체 박막에 포토레지스트 박막을 코팅시키는 단계;상기 코팅된 포토레지스트 박막을 포토 패터닝시킨 후 에칭하여 블록공중합체를 제거하는 단계; 및상기 에칭 후 리프트-오프하여 포토레지스트가 코팅된 영역의 나노패턴을 제거하는 단계를 포함하며, 상기 블록공중합체는,폴리스티렌-블록-폴리(2-비닐피리딘)(polystyrene-block-poly(2-vinylpyridine)), 폴리스티렌-블록-폴리(4-비닐피리딘)(polystyrene-block-poly(4-vinylpyridine)), 및 폴리메틸메타크릴레이트-블록-폴리(2-비닐피리딘)(poly(methylmethacrylate)-block-poly(2-vinylpyridine))으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하고,상기 블록공중합체 박막은,평균 두께가 30 내지 60 nm이며,상기 블록공중합체 박막을 전단 정렬시키는 단계는,스핀코팅된 블록공중합체 박막을 150 ℃ 내지 190℃에서 5 내지 40 kPa의 전단 응력을 가하여 전단 정렬시키는 것을 특징으로 하는, 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 금속 전구체는,금 전구체, 백금 전구체, 팔라듐 전구체, 철 전구체, 코발트 전구체, 구리 전구체 및 니켈 전구체로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 에칭하여 블록공중합체를 제거하는 단계는,코팅된 포토레지스트 박막을 포토 패터닝시킨 후 30 내지 100 W, 8 내지 30 mTorr, 및 8 내지 30 sccm의 조건으로 에칭하여 블록공중합체를 제거하는 것을 특징으로 하는, 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 포토레지스트가 코팅된 영역의 나노패턴을 제거하는 단계는,10 내지 20분 동안 톨루엔으로 초음파 처리하여 포토레지스트가 코팅된 영역의 나노패턴을 제거하는 것을 특징으로 하는, 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선 제조방법
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청구항 5항, 청구항 9 내지 청구항 11항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조된, 마이크로패턴 내부에 정렬된 금속 나노선
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 울산과학기술원 기본연구 전단스트레스의 방향성에 따른 블록공중합체의 형태전이를 이용한 복잡 나노패턴의 제작