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금속 표면 처리 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2022014856
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예에 따르면, 내부에 플라즈마가 형성되는 챔버; 상기 챔버내에 위치하며 시료를 수용하는 스테이지; 캐소드 및 애노드를 포함하는 가속 전극 및 솔레노이드 코일을 포함하며 상기 플라즈마를 통하여 상기 스테이지상에 펄스빔을 조사하는 전자총 및 상기 전자총 및 상기 스테이지를 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 제어부는 상기 가속 전극의 전압을 20kV 내지 25kV로 조절하는 금속 표면 처리 장치를 제공한다.
Int. CL H01J 37/24 (2006.01.01) H01J 37/06 (2006.01.01) H01J 37/20 (2006.01.01)
CPC H01J 37/243(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/20(2013.01)
출원번호/일자 1020170176928 (2017.12.21)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1990921-0000 (2019.06.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.21)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박형욱 울산광역시 울주군
2 김지수 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-1275833-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.08.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0149521-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0854347-40
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2019-0147570-19
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0147569-73
7 등록결정서
Decision to grant
2019.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0410238-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 플라즈마가 형성되는 챔버;상기 챔버내에 위치하며 시료를 수용하는 스테이지;캐소드 및 애노드를 포함하는 가속 전극 및 솔레노이드 코일을 포함하며 상기 플라즈마를 통하여 상기 스테이지상에 펄스빔을 조사하는 전자총 및상기 전자총 및 상기 스테이지를 제어하는 제어부를 포함하며,상기 제어부는 상기 가속 전극의 전압을 20kV 내지 25kV로 조절하고,상기 제어부는 상기 시료의 가장자리를 중심으로 상기 펄스빔이 편심(eccentric) 조사되도록 상기 솔레노이드 코일의 전압을 0
2 2
삭제
3 3
제1항에 잇어서,상기 제어부는 상기 시료의 가장자리를 중심으로 상기 펄스빔이 조사되도록 상기 솔레노이드 코일의 전압 및 상기 스테이지의 위치 중 적어도 하나를 제어하는 금속 표면 처리 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 제어부는 상기 펄스빔이 1 내지 10회의 펄스를 가지도록 제어하는 금속 표면 처리 장치
5 5
제어부가 솔레노이드 코일에 펄스 전류를 인가하여 챔버내에 플라즈마를 생성하는 단계;제어부가 챔버내의 캐소드 및 애노드를 포함하는 가속 전극의 전압을 20kV 내지 25kV로 조절하는 단계;상기 가속 전극 사이에 펄스빔이 생성되는 단계;상기 펄스빔이 솔레노이드 코일에 의하여 나선형으로 가속되어 스테이지상의 시료에 조사되는 단계; 및상기 제어부기 상기 시료의 가장자리를 중심으로 상기 펄스빔이 편심(eccentric) 조사되도록 상기 솔레노이드 코일의 전압을 0
6 6
삭제
7 7
제5항에 잇어서,상기 제어부가 상기 시료의 가장자리를 중심으로 상기 펄스빔이 조사되도록 상기 솔레노이드 코일의 전압 및 상기 스테이지의 위치 중 적어도 하나를 제어하는 단계를 더 포함하는 금속 표면 처리 방법
8 8
제5항에 있어서,상기 제어부가 상기 펄스빔이 1 내지 10회의 펄스를 가지도록 제어하는 단계를 더 포함하는 금속 표면 처리 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 울산과학기술원 개인기초연구(미래부) 전자빔 기반 하이브리드 디버링 공정 기술 및 멀티피직스 모델 연구