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인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서로서,탄소물질을 포함하는 탄소 복합체로 형성되는 제1기재, 상기 제1기재의 상면 상에 형성되어 있는 제1나노로드들, 상기 제1기재 및 상기 제1나노로드들 상에 형성되어 있는 제1도전층, 및 상기 제1도전층 상에 형성되어 있는 제1수지 박막층을 포함하는 제1도전성 부재;상기 제1도전성 부재의 상면으로부터 이격되어 배치되어 있는 제2도전성 부재;상기 제1도전성 부재와 상기 제2도전성 부재 사이를 채우며, 탄성을 가지는 수지 매트릭스; 및상기 제1도전성 부재 및 제2전도성 부재에 전기적으로 각각 연결되어 압축력을 측정하기 위한 제1회로부; 및 각각 상기 제1도전성 부재의 서로 다른 위치에 전기적으로 각각 연결되어 인장력을 측정하는 제2회로부를 구비하는 제어모듈을 포함하며,상기 제어모듈은,상기 탄소 복합체 센서에 외부로부터 외력이 가해지면, 상기 제1도전층과 상기 제2도전성 부재의 거리가 변경되어 상기 제1회로부의 저항 변화로부터 상기 압축력을 측정하고,상기 탄소 복합체 센서에 외부로부터 외력이 가해지면, 상기 제1도전성 부재 변형에 의하여 상기 제2회로부의 저항 변화로부터 상기 인장력을 측정하는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제2도전성 부재는,제2기재; 및상기 제2기재의 하면 상에 형성되어 있는 제2도전층을 포함하는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제2도전성 부재는,제2기재, 상기 제2기재의 하면 상에 형성되어 있는 제2나노로드들, 상기 제2기재의 하면 및 상기 제2나노로드들 상에 형성되어 있는 제2도전층, 및 상기 제2도전층 상에 형성되어 있는 제2수지 박막층을 포함하는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제2도전성 부재는,탄소물질을 포함하는 탄소 복합체로 형성되는 제2기재, 상기 제2기재의 하면 상에 형성되어 있는 제2나노로드들, 상기 제2기재의 하면 및 상기 제2나노로드들 상에 형성되어 있는 제2도전층, 및 상기 제2도전층 상에 형성되어 있는 제2수지 박막층; 및;상기 제2도전성 부재에의 서로 다른 위치에 전기적으로 각각 연결되어 있는 제3회로부를 더 포함하는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1나노로드들은 산화아연 또는 산화구리로 형성되는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 제2나노로드들은 산화아연 또는 산화구리로 형성되는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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7
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1도전층은 탄소나노튜브로 형성되는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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8 |
8
청구항 1에 있어서,상기 제1수지 박막층은 실리콘 계열 수지로 형성되는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 8에 있어서,상기 실리콘 계열 수지는 폴리디메틸실록산 또는 에코플렉스로 형성되는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제1수지 박막층의 두께는 8 내지 12 마이크로미터인 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 수지 매트릭스는 상기 제1도전성 부재 및 상기 제2도전성 부재를 둘러싸도록 더 형성되어 있는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제2회로부는, 상기 제1도전성 부재의 양 측면들에 각각 전기적으로 연결되어 있는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서
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탄소물질을 포함하는 탄소 복합체로 형성되는 제1기재를 준비하는 단계, 상기 제1기재의 상면 상에 제1나노로드들을 성장시키는 단계, 상기 제1기재 및 상기 제1나노로드들 상에 제1도전층을 형성하는 단계 및 상기 제1도전층 상에 제1수지 박막층을 형성하는 단계를 포함하는 제1도전성 부재를 준비하는 단계;제2도전성 부재를 준비하는 단계;상기 제1도전성 부재 및 제2전도성 부재에 전기적으로 각각 연결되어 압축력을 측정하기 위한 제1회로부; 및 각각 상기 제1도전성 부재의 서로 다른 위치에 전기적으로 각각 연결되어 인장력을 측정하는 제2회로부를 연결하는 단계; 및상기 제1도전성 부재와 상기 제2도전성 부재가 서로 이격된 상태를 유지한 상태에서 브이에이알티엠을 이용하여, 상기 제1도전성 부재와 상기 제2도전성 부재를 일체로 패키징하는 단계를 포함하는 인장력과 압축력의 측정이 가능한 탄소 복합체 센서를 제조하는 방법
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