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고 이동도 트랜지스터 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022014977
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 높은 전자 이동도를 가지는 고 이동도 트랜지스터를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 고 이동도 트랜지스터는, 기판; 상기 기판 상에 배치된 소스 영역, 드레인 영역, 및 상기 소스 영역과 상기 드레인 영역 사이에 배치되어 상기 소스 영역과 상기 드레인 영역을 전기적으로 연결하는 채널 영역; 상기 소스 영역과 상기 드레인 영역 상에 배치된 제1 격벽 요소; 상기 제1 격벽 요소 상에 배치된 제1 게이트 전극층; 및 상기 채널 영역, 상기 제1 격벽 요소, 및 상기 제1 게이트 전극층에 둘러싸여 이루어지는 제1 기체 영역;을 포함한다.
Int. CL H01L 29/51 (2006.01.01) H01L 29/423 (2006.01.01)
CPC H01L 29/515(2013.01) H01L 29/42384(2013.01) H01L 2924/13064(2013.01)
출원번호/일자 1020170027100 (2017.03.02)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1792644-0000 (2017.10.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020170101777;
심사청구여부/일자 Y (2017.03.02)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박장웅 대한민국 울산광역시 울주군
2 장지욱 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0211173-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0105691-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0510479-55
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0773618-15
6 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2017.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0773523-76
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0773621-42
8 등록결정서
Decision to grant
2017.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0735819-41
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-1310082-85
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
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번호 청구항
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기판 상에 채널 영역, 소스 영역, 및 드레인 영역을 형성하는 단계;상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 배치된 제1 격벽 요소를 형성하는 단계;상기 제1 격벽 요소 상에 제1 게이트 전극층이 형성된 희생기판을 부착하는 단계; 및상기 희생기판을 제거하여, 상기 채널 영역, 상기 제1 격벽 요소, 및 상기 제1 게이트 전극층에 둘러싸인 공간에 제1 기체 영역을 형성하는 단계;를 포함하는, 고 이동도 트랜지스터의 제조 방법
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청구항 17에 있어서,상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 배치된 제1 격벽 요소를 형성하는 단계는:상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 마스크 패턴을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴을 이용하여 상기 절연층의 일부 영역을 제거하는 단계; 및상기 마스크 패턴을 제거하여, 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 배치된 제1 격벽 요소를 형성하는 단계;를 포함하는, 고 이동도 트랜지스터의 제조 방법
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1 KR101824686 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 울산과학기술원 개인연구지원 신축성 투명 전자소재 및 스마트 콘택트렌즈 개발