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유전 박막, 및 이를 포함하는 멤커패시터

  • 기술번호 : KST2022015009
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유전 박막에 있어서, 제1 축 방향으로 변위를 가질 수 있는 포논(phonon)을 포함하는 복수의 강유전 도메인, 및 상기 포논의 탄성 상호 작용(elastic interaction)을 차단하는 복수의 스페이서를 포함하되, 복수의 상기 강유전 도메인 및 복수의 상기 스페이서는, 상기 1축에 직각인 제2 축을 따라 교대로 그리고 반복하여 배열되는 것을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 29/51 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 49/02 (2006.01.01)
CPC H01L 29/516(2013.01) H01L 29/40111(2013.01) H01L 21/02266(2013.01) H01L 21/02181(2013.01) H01L 21/02609(2013.01) H01L 21/28008(2013.01) H01L 28/75(2013.01)
출원번호/일자 1020190144294 (2019.11.12)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-2247789-0000 (2021.04.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210503) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.12)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이준희 울산광역시 울주군
2 박노정 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 월드메르디앙*차 **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
3 정우상 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2019-1160168-52
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2019.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-1168165-02
3 보정요구서
Request for Amendment		 2019.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0185421-09
4 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2019.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-1199099-02
5 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2019.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-1199128-38
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0653241-54
9 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-1258385-97
10 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-1398178-92
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0090394-13
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2021-0090413-04
13 등록결정서
Decision to grant		 2021.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0320341-35
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번호 청구항
1 1
제1 축 방향으로 변위를 가질 수 있는 포논(phonon)을 포함하는 복수의 강유전 도메인; 및상기 포논의 탄성 상호 작용(elastic interaction)을 차단하는 복수의 스페이서를 포함하되,복수의 상기 강유전 도메인 및 복수의 상기 스페이서는, 상기 제1축에 직각인 제2 축을 따라 교대로 그리고 반복하여 배열되는 것을 포함하는 유전 박막
2 2
제1 항에 있어서,복수의 상기 스페이서는, 외부에서 인가된 전기장으로부터 고정된 분극(polarization)을 갖는 도메인 장벽을 포함하고,상기 도메인 장벽의 호핑(hopping)에 의해, 상기 강유전 도메인의 상기 포논의 변위가 변경되는 것을 포함하는 유전 박막
3 3
제1 항에 있어서,사방정계(orthombic) 결정 구조를 갖는 하프늄 산화물(HfO2)을 포함하고, 사방정계에서 상기 제1 축 방향에 직각인 제2 축 방향으로 배열된, 하나의 상기 강유전 도메인 및 하나의 상기 스페이서는 상기 하프늄 산화물의 유닛셀을 구성하는 것을 포함하는 유전 박막
4 4
제1 항에 있어서,Pca21 공간군에 대응되는 사방정계(orthorhombic) 결정 구조를 갖고, 사방정계의 상기 제1 축 방향에 직각인 제2 축 방향으로 배열된 하나의 상기 강유전 도메인 및 하나의 상기 스페이서는 사방정계 결정 구조의 상기 유전 박막의 유닛셀을 구성하는 것을 포함하는 유전 박막
5 5
제1 항에 있어서,Pca21공간군에 대응되는 사방정계(orthombic) 결정 구조를 갖는 금속 산화물을 포함하고,상기 강유전 도메인은, 상기 제2 축을 따라 상기 금속 산화물의 유닛셀의 절반(half unit-cell)의 폭(width)을 갖고,상기 스페이서는, 상기 강유전 도메인과 동일한 폭을 갖고, 하나의 상기 강유전 도메인 및 하나의 상기 스페이서는 상기 금속 산화물의 유닛셀을 구성하는 것을 포함하는 유전 박막
6 6
제1 항에 있어서,Pca21 공간군에 대응되는 사방정계(orthormbic) 결정 구조를 갖는 하프늄 산화물(HfO2)을 포함하고,상기 강유전 도메인은, 상기 제2 축을 따라 3Å 이하의 폭을 갖고, 하나의 상기 강유전 도메인 및 하나의 상기 스페이서는 상기 하프늄 산화물의 유닛셀을 구성하는 것을 포함하는 것을 포함하는 유전 박막
7 7
제1 항에 따른 유전 박막;상기 제1 축을 따라 상기 유전 박막 상에 배치되는 상부 전극; 및상기 제1 축을 따라 상기 유전 박막의 하부에 배치되는 하부 전극을 포함하되,상기 유전 박막은, 각각의 상기 강유전 도메인 내의 상기 포논이 상기 제1 축을 따라 일방향 또는 상기 일방향에 반평행한 방향으로 변위를 갖는 다중 유전 박막을 포함하는 멤커패시터
8 8
외부에서 인가된 전기장으로부터 고정된 분극(polarization)을 갖는 스페이서, 및 외부에서 인가된 전기장에 의해 분극(polarization)이 제어되는 강유전 도메인이 교대로 그리고 반복적으로 제공되고,하나의 상기 스페이서 및 하나의 상기 강유전 도메인이 유닛셀을 구성하는 것을 포함하는 유전 박막
9 9
제8 항에 있어서,제1 분극 값을 갖고, 복수의 상기 유닛셀을 포함하는 제1 영역; 및제2 분극 값을 갖고, 복수의 상기 유닛셀을 포함하는 제2 영역을 포함하되,상기 제1 영역에 포함된 복수의 상기 유닛셀의 상기 스페이서가 상기 강유전 도메인보다 낮은 분극을 가져, 상기 제1 영역의 분극 값이 제1 펄스 값을 갖고,상기 제2 영역에 포함된 복수의 상기 유닛셀의 상기 스페이서가 상기 강유전 도메인보다 높은 분극을 가져, 상기 제2 영역의 분극 값이 제2 펄스 값을 갖는 것을 포함하는 유전 박막
10 10
제9 항에 있어서,상기 제1 영역의 평균 분극 값은, 상기 제1 영역에 포함된 복수의 상기 강유전 도메인의 분극 값보다 낮고,상기 제2 영역의 평균 분극 값은, 상기 제2 영역에 포함된 복수의 상기 강유전 도메인의 분극 값보다 높은 것을 포함하는 유전 박막
11 11
제9 항에 있어서,상기 제1 영역 또는 상기 제2 영역의 평균 분극 값은, 복수의 상기 강유전 도메인 각각의 분극 값의 반값(half value)인 것을 포함하는 유전 박막
12 12
제8 항에 있어서,사방정계의 유닛셀 단위로, 분극이 제어되어 다중 유전율 갖는 것을 포함하는 유전 박막
13 13
제1 전극;제2 전극; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 사이에 배치되는 제8 항에 따른 유전 박막을 포함하되,상기 유전 박막 내의 복수의 상기 강유전 도메인 및 복수의 상기 스페이서는, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에서 교대로 횡방향으로 적층(lateral stacking)되는 것을 포함하는 멤커패시터
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1 과학기술정보통신부 울산과학기술원 미래소재디스커버리지원(R＆D) 양자물질 게놈을 이용한 다중 정전용량 소재군 발굴
2 과학기술정보통신부 울산과학기술원 집단연구지원(R＆D) 응집계의 비평형 양자 동역학 연구