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제3 고조파를 발생시키는 광 변조 소자

  • 기술번호 : KST2022015039
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광 변조 소자가 개시된다. 상기 광 변조 소자는 비선형 광학 프로세스에서 부밴드 전이와 관련된 비선형 응답을 제공하는 다중 양자 우물(multi-quantum-well(MQW)) 층과, 상기 MQW 층의 상부에 배치되고 상기 부밴드 전이에 결합되어 전자기 공진을 하는 하나 이상의 나노 안테나 어레이를 포함하고, 상기 MQW 층은 우물층과 장벽층이 교대로 반복 적층된 구조를 갖고, 상기 우물층은 적어도 3개이고, 상기 우물층은 적어도 4개 이상의 전자 부밴드를 포함하고, 상기 하나 이상의 나노 안테나 어레이의 나노 안테나는 상기 나노 안테나의 길이 방향으로 가로지르는 장축선을 기준으로 대칭이고, 동일 평면에서 상기 장축선에 직교하는 단축선을 기준으로 대칭인 기하학적 형태를 가진다.
Int. CL G02F 1/355 (2006.01.01) G02F 1/017 (2006.01.01) G02F 1/35 (2006.01.01)
CPC G02F 1/3556(2013.01) G02F 1/01716(2013.01) G02F 1/3501(2013.01) G02F 1/3507(2013.01) G02F 2202/108(2013.01) G02F 2202/30(2013.01) G02F 2203/10(2013.01)
출원번호/일자 1020180067723 (2018.06.12)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-2040878-0000 (2019.10.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20191105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.06.12)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종원 울산광역시 울주군
2 유재연 울산광역시 중구
3 박성진 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이형석 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)
2 김종선 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0577957-69
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2018.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0097189-78
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0041374-39
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0298821-28
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0643718-81
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-0643682-25
8 등록결정서
Decision to grant
2019.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0781162-45
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
비선형 광학 프로세스에서 부밴드 전이와 관련된 비선형 응답을 제공하는 다중 양자 우물(multi-quantum-well(MQW)) 층; 및상기 MQW 층의 상부에 배치되고 상기 부밴드 전이에 결합되어 전자기 공진을 하는 하나 이상의 나노 안테나 어레이;를 포함하고,상기 MQW 층은 우물층과 장벽층이 교대로 반복 적층된 구조를 갖고, 상기 우물층은 적어도 3개이고, 상기 우물층은 적어도 4개 이상의 전자 부밴드를 포함하고,상기 하나 이상의 나노 안테나 어레이의 나노 안테나는 상기 나노 안테나의 길이 방향으로 가로지르는 장축선을 기준으로 대칭이고, 동일 평면에서 상기 장축선에 직교하는 단축선을 기준으로 대칭인 기하학적 형태를 가지면서, 제1축 방향으로 연장되는 가로부; 및상기 제1축 방향과 다른 제2축 방향으로 상기 가로부와 교차하는 한 쌍의 평행한 세로부를 포함하며,상기 제1 축 방향의 길이는 입사되는 빛의 주파수에 따라 결정되고, 상기 제2 축 방향의 길이 및 상기 세로부 사이의 간격은 방출되는 빛의 주파수에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 광 변조 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 MQW 층의 하부에 배치되는 금속층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 변조 소자
3 3
제1항에 있어서,비선형 광원이 아래 식을 통해 상기 MQW 층의 제3차 비선형 전기감수율()을 상기 나노 안테나 어레이의 공진 구조에 따라 16종류의 방향성 조절이 가능한 유효 제3차 비선형 전기감수율()을 갖도록 변환되는 것을 특징으로 하는 광 변조 소자
4 4
제1항에 있어서, 상기 가로부의 제1축 방향의 길이는 상기 세로부의 제2축 방향의 길이보다 더 긴 것을 특징으로 하는 광 변조 소자
5 5
제1기판 위에 금속 또는 도핑된 반도체를 형성하고, 제2기판위에 적어도 3개의 양자 우물과 4개의 전자 부밴드를 포함하는 MQW 층과 금속 또는 도핑된 반도체를 차례로 적층하는 단계;제1기판과 제2기판을 본딩하는 단계;상기 MQW층이 형성된 제2기판을 제거하는 단계; 상기 제2기판이 제거된 MQW층 위에 금속 또는 도핑된 반도체를 형성하고, 전자기 공진을 하는 하나 이상의 나노 안테나가 포함된 안테나 어레이를 에칭 형성하는 단계를 포함하며,상기 나노 안테나는, 제1축 방향으로 연장되는 가로부; 및 상기 제1축 방향과 다른 제2축 방향으로 상기 가로부와 교차하는 한 쌍의 평행한 세로부를 포함하며,상기 제1 축 방향의 길이는 입사되는 빛의 주파수에 따라 결정되고, 상기 제2 축 방향의 길이 및 상기 세로부 사이의 간격은 방출되는 빛의 주파수에 따라 결정되는 광 변조 소자의 메타표면 제조방법
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7 7
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 울산과학기술원 개인기초연구(과기정통부)(R&D) 제2 및 제3고조파 발생을 위한 중적외선 영역 비선형 메타표면 개발