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xy평면상에 위치하고, 제1비전도성 물질로 형성된 베이스 시트와;상기 베이스 시트 상면에서 x축 방향을 따라 길게 배치되고, 제1전도성 물질로 형성된 전극 라인과;상기 베이스 시트와 상기 전극 라인의 상면을 덮도록 적층되고, 제2비전도성 물질로 형성된 중간 시트와;상기 중간 시트 상면에서 상기 전극 라인의 상측에 위치하는 일부분에 제2 전도성 물질이 도포되어 형성된 전극 스팟과;상기 중간 시트와 상기 전극 스팟의 상면을 덮도록 적층되고, 제3비전도성 물질로 형성된 탑 시트와;상기 전극 라인의 일단에 연결된 제1전극과;상기 전극 라인의 타단에 연결된 제2전극과;상기 전극 스팟에 연결된 제3전극을 포함하고,상기 제1,2,3전극 중 적어도 한 쌍의 전극 사이의 저항 변화를 측정하여, x,y,z축 방향에 대한 변위를 측정하고,상기 전극 스팟과 상기 전극 라인은 상기 z축 방향으로 일렬로 배치되고, 상기 z축 방향으로 상기 중간 시트의 두께만큼 이격되게 배치되며, 상기 중간 시트는, 상기 베이스 시트나 상기 탑 시트보다 두께가 얇게 형성되어, 상기 z축 방향으로 외력이 가해진 경우 압축 변형되어 상기 전극 라인과 상기 전극 스팟 사이의 전기적 네트워크를 변화시키고, 상기 외력이 없어지면 탄성 복원되도록 형성되며, 상기 제1,2전극 중 어느 하나와 상기 제3전극 사이의 저항 변화는, 상기 x축 방향에 대한 변형이 인가된 경우에 상기 y축 방향에 대한 변형이 인가된 경우보다 크게 측정되어, 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이의 저항변화와, 상기 제1,2전극 중 어느 하나의 전극과 상기 제3전극 사이의 저항변화를 측정하여, 상기 x축 방향 변위와 상기 y축 방향 변위를 구분하여 측정하고,상기 제1전극과 상기 제3전극 사이의 저항변화와, 상기 제2전극과 상기 제3전극 사이의 저항변화 중 적어도 하나를 측정하여 상기 z축 방향 변위를 측정하는 3축 스트레인 센서
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탄성 폴리머로 형성된 베이스 시트를 형성하는 단계와;상기 베이스 시트의 상면에 x축 방향을 따라 탄소나노튜브, 그래핀 및 탄소섬유 중 적어도 하나를 포함하는 전도성 물질을 도포하여, 상기 x축 방향을 따라 길게 배치되어 라인 형상으로 형성된 전극 라인을 형성하는 단계와;상기 베이스 시트와 상기 전극 라인의 상면에 상기 탄성 폴리머를 도포하여 중간 시트를 형성하는 단계와;상기 중간 시트의 상면에서 상기 전극 라인의 상측에 위치하도록 상기 전도성 물질을 스팟 형태로 도포하여 전극 스팟을 형성하는 단계와;상기 중간 시트와 상기 전극 스팟의 상면에 상기 탄성 폴리머를 도포하여 탑 시트를 형성하는 단계와;상기 전극 라인의 양단에 제1전극과 제2전극을 각각 연결하는 단계와;상기 전극 스팟에 제3전극을 연결하는 단계를 포함하고,상기 전극 스팟과 상기 전극 라인은 z축 방향으로 일렬로 배치되고, 상기 z축 방향으로 상기 중간 시트의 두께만큼 이격되게 배치되며, 상기 중간 시트는, 상기 베이스 시트나 상기 탑 시트보다 두께가 얇게 형성되어, 상기 z축 방향으로 외력이 가해진 경우 압축 변형되어 상기 전극 라인과 상기 전극 스팟 사이의 전기적 네트워크를 변화시키고, 상기 외력이 없어지면 탄성 복원되도록 형성하는 3축 스트레인 센서의 제조방법
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