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흡착판이 형성된 미세섬모들의 패턴이 음각 형성된 건식접착필름용 몰드에 제1폴리머를 도포하여 상기 미세섬모들이 돌출 형성된 건식접착필름을 제작하는 단계와;나노필러(nanopillar) 패턴이 음각 형성된 반사방지필름용 몰드에 제2폴리머를 도포하여, 상기 나노필러 패턴이 형성된 반사방지필름을 제작하는 단계와;상기 건식접착필름과 상기 반사방지필름이 경화되기 전에 상기 건식접착필름에 상기 반사방지필름을 부착하고 경화시켜 일측면에는 상기 미세섬모들이 돌출 형성되고 타측면에는 상기 나노필러 패턴이 돌출 형성된 양면 기능성 필름을 제작하는 단계와;상기 양면 기능성 필름 중에서 상기 건식접착필름의 표면을 전도성 고분자로 코팅하여 코팅층을 형성하여 투명 전극을 제작하는 단계를 포함하고,상기 건식접착필름을 제작하는 단계는,제1몰드층과 제2몰드층이 순서대로 적층된 건식접착필름용 몰드를 제조하는 과정과, 상기 건식접착필름용 몰드에 상기 제1폴리머를 도포하여, 상기 흡착판을 갖는 상기 미세섬모들과, 상기 미세섬모들 사이에 슬릿형상의 홈이 형성된 건식접착구조물을 제작하는 과정과,베이스 플레이트 위에 제3폴리머로 형성된 베이스필름을 형성하는 과정과,상기 건식접착구조물과 상기 베이스필름을 부착하고 경화시킨 후, 상기 건식접착필름용 몰드와 상기 베이스 플레이트를 제거하여, 상기 건식접착필름을 완성하는 과정을 포함하고,상기 건식접착필름용 몰드를 제조하는 과정은,웨이퍼 상에 리프트 오프 레지스트를 코팅하고 경화시켜 상기 제1몰드층을 형성하는 과정과,상기 제1몰드층 상에 제1포토 레지스트를 코팅하고 노광, 경화 및 식각을 통해 상기 미세섬모들에 대한 음각 패턴인 관통홀 어레이가 형성된 상기 제2몰드층을 형성하는 과정과,상기 제2몰드층을 형성한 후, 식각 용액을 상기 관통홀 어레이를 통해 유입시켜 상기 제1몰드층의 일부분을 녹여 상기 흡착판을 형성하기 위한 팁을 형성하는 과정을 포함하고,상기 양면 기능성 필름을 제작하는 단계에서, 상기 반사방지필름은 상기 반사방지필름용 몰드에서 분리되기 이전에 상기 건식접착필름에 부착하고, 경화시킨 후 상기 반사방지필름용 몰드를 분리하는 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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흡착판이 형성된 미세섬모들의 패턴이 음각 형성된 건식접착필름용 몰드에 제1폴리머를 도포하여 상기 미세섬모들이 돌출 형성된 건식접착필름을 제작하는 단계와;나노필러(nanopillar) 패턴이 음각 형성된 반사방지필름용 몰드에 제2폴리머를 도포하여, 상기 나노필러 패턴이 형성된 반사방지필름을 제작하는 단계와;상기 건식접착필름과 상기 반사방지필름이 경화되기 전에 상기 건식접착필름에 상기 반사방지필름을 부착하고 경화시켜 일측면에는 상기 미세섬모들이 돌출 형성되고 타측면에는 상기 나노필러 패턴이 돌출 형성된 양면 기능성 필름을 제작하는 단계와;상기 양면 기능성 필름 중에서 상기 건식접착필름의 표면을 전도성 고분자로 코팅하여 코팅층을 형성하여 투명 전극을 제작하는 단계를 포함하고,상기 건식접착필름을 제작하는 단계는,제1몰드층, 제2몰드층 및 제3몰드층이 순서대로 적층된 건식접착필름용 몰드를 제조하는 과정과, 상기 건식접착필름용 몰드에 상기 제1폴리머를 도포하여, 상기 흡착판을 갖는 상기 미세섬모들과, 상기 미세섬모들 사이에 슬릿형상의 홈이 형성된 건식접착구조물을 제작하는 과정과,베이스 플레이트 위에 제3폴리머로 형성된 베이스필름을 형성하는 과정과,상기 건식접착구조물과 상기 베이스필름을 부착하고 경화시킨 후, 상기 건식접착필름용 몰드와 상기 베이스 플레이트를 제거하여, 상기 건식접착필름을 완성하는 과정을 포함하고,상기 건식접착필름용 몰드를 제조하는 과정은,웨이퍼 상에 리프트 오프 레지스트를 코팅하고 경화시켜 상기 제1몰드층을 형성하는 과정과,상기 제1몰드층 상에 제1포토 레지스트를 코팅하고 노광, 경화 및 식각을 통해 상기 미세섬모들에 대한 음각 패턴인 관통홀 어레이가 형성된 상기 제2몰드층을 형성하는 과정과,상기 제2몰드층 상에 제2포토 레지스트를 코팅하고 노광, 경화 및 식각을 통해 상기 슬릿 형상의 홈들에 대한 음각 패턴이 형성된 상기 제3몰드층을 형성하는 과정과,상기 제3몰드층을 형성한 후, 식각 용액을 상기 관통홀 어레이를 통해 유입시켜 상기 제1몰드층의 일부분을 녹여 상기 흡착판을 형성하기 위한 팁을 형성하는 과정을 포함하고,상기 양면 기능성 필름을 제작하는 단계에서, 상기 반사방지필름은 상기 반사방지필름용 몰드에서 분리되기 이전에 상기 건식접착필름에 부착하고, 경화시킨 후 상기 반사방지필름용 몰드를 분리하는 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 건식접착구조물과 상기 베이스필름을 부착하는 과정은,상기 건식접착구조물과 상기 베이스필름에서 서로 부착되는 표면을 플라즈마 처리한 후, APTES를 도포하여 서로 결합시키는 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 베이스 플레이트는, 상기 제3폴리머를 상기 베이스 필름의 두께보다 두꺼운 두께로 코팅하여 형성된 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 투명 전극을 제작하는 단계는,상기 건식접착 필름의 표면을 PEDOT:PSS 수용액을 스핀 코팅한 후, 가열하여 제작하는 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 스핀 코팅의 분당회전수(rpm)는 500rpm 내지 3000rpm 범위로 설정되는 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 가열하는 온도는 100℃이상이고, 상기 가열하는 시간은 20분이상으로 설정되는 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 제1,2폴리머는 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane) 또는 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate), PEGDMA, PEG 중 어느 하나인 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 제3폴리머는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET, Polyethylene terephthalate)인 초박막 건식 접착 반사 방지 투명전극의 제조방법
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