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금속 나노와이어 제조장치 및 이를 이용한 제조방법

  • 기술번호 : KST2022015163
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 금속 나노와이어 제조장치 및 이를 이용한 제조방법에 관한 것으로서, 외부에서 공급된 금속용액이 유동되는 제1 유로가 형성된 금속용액 채널부; 상기 금속용액 채널부로부터 설정 거리 이격되며, 외부에서 공급된 환원용액이 유동되는 제2 유로가 형성된 환원용액 채널부; 및 상기 금속용액 채널부와 상기 환원용액 채널부를 연통하도록 상기 금속용액 채널부와 상기 환원용액 채널부를 연결하고 있으며, 상기 금속용액 채널부를 유동하는 상기 금속용액이 분기되어 유동되고 상기 환원용액 채널부를 유동하는 상기 환원용액이 분기되어 유동되어 상기 금속용액과 상기 환원용액이 혼합되면 환원반응에 의하여 금속 나노와이어가 형성되는 금속 나노와이어 형성채널을 포함한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC H01L 21/02603(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) B82Y 40/00(2013.01)
출원번호/일자 1020170046075 (2017.04.10)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1923963-0000 (2018.11.26)
공개번호/일자 10-2018-0114401 (2018.10.18) 문서열기
공고번호/일자 (20181130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.10)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태성 대한민국 울산광역시 울주군
2 김동주 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0348197-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.06.26 수리 (Accepted) 9-1-2018-0030072-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0572768-11
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-1028512-68
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.10.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1028511-12
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0794882-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
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번호 청구항
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베이스 기판 상에 제1 유로가 형성된 금속용액 채널부와, 상기 금속용액 채널부로부터 설정 거리 이격되게 제2 유로가 형성된 환원용액 채널부 및 상기 금속용액 채널부와 상기 환원용액 채널부를 연결하는 복수의 금속 나노와이어 형성채널을 포함하는 금속 나노와이어 제조몰드가 구비되어 제작된 금속 나노와이어 제조장치를 준비하는 단계;상기 금속용액 채널부로 금속용액을 공급하는 단계;상기 환원용액 채널부로 환원용액을 공급하는 단계; 상기 금속용액은 상기 제1 유로를 따라 유동하면서 상기 금속 나노와이어 형성채널로 분기되어 상기 제2 유로를 향하는 방향으로 유동되고, 상기 환원용액은 상기 제2 유로를 따라 유동하면서 상기 금속 나노와이어 형성채널로 분기되어 상기 제1 유로를 향하는 방향으로 유동되어, 상기 금속 나노와이어 형성채널에서 상기 금속용액과 상기 환원용액이 만나면, 상기 금속용액과 상기 환원용액의 농도 차이로 인한 확산 현상에 의해 혼합되고,상기 금속 나노와이어 형성채널에서 상기 금속용액과 상기 환원용액이 혼합시 열을 가하여 환원 반응 속도를 조절하고, 환원 반응에 의하여 고체화되면서 금속 나노와이어가 형성되는 단계; 및상기 금속 나노와이어 형성채널에서 형성된 상기 금속 나노와이어를 분리하는 단계를 포함하는 금속 나노와이어 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 금속용액을 공급하는 단계에서 공급되는 상기 금속용액은 질산은 용액인 금속 나노와이어 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 금속용액 채널부는 상기 제1 유로와 연통되는 금속용액 주입공간을 포함하며,상기 금속용액을 공급하는 단계에서는 상기 금속용액 주입공간으로 상기 금속용액을 공급하는 금속 나노와이어 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 환원용액 채널부는 상기 제2 유로와 연통되는 환원용액 주입공간을 포함하며,상기 환원용액을 공급하는 단계에서는 상기 환원용액 주입공간으로 상기 환원용액을 공급하는 금속 나노와이어 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 제1 유로는 상기 제2 유로를 향하는 측면에 상기 제1 유로의 길이 방향을 따라 설정 간격 이격되는 복수 개의 채널시작 노치들이 형성되고,상기 제2 유로는 상기 제1 유로를 향하는 측면에 상기 제2 유로의 길이 방향을 따라 설정 간격 이격되는 복수 개의 채널종료 돌기들이 형성되고,상기 금속 나노와이어 형성채널은 각각의 상기 채널시작 노치와 상기 채널종료 돌기를 연통하며 연결 형성되며,상기 금속용액 채널부, 상기 환원용액 채널부 및 상기 금속 나노와이어 형성채널은 포토리소그래피(photo lithography) 공정을 통해 형성되는 금속 나노와이어 제조방법
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2 농촌진흥청 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단 차세대바이오그린21 초미세유체 플랫폼을 이용한 개량 균주 라이브러리 스크리닝 기술 개발