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접을 수 있도록 복수의 슬릿형상의 절개홈들이 형성된 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 돌출 형성되는 돌출부와 상기 돌출부의 선단에 형성된 흡착판을 포함하는 미세섬모들을 포함하는 초박막 건식 접착 필름을 제조하는 방법에 있어서,웨이퍼 상에 리프트 오프 레지스트를 코팅하고 경화시켜, 제1몰드층을 형성하는 단계와;상기 제1몰드층 상에 제1포토 레지스트를 코팅하여 제2몰드층을 형성하고, 상기 제2몰드층에 상기 돌출부들을 성형하기 위해 폴리머가 채워지는 관통홀들을 식각하여 형성하는 단계와;상기 관통홀들이 형성된 상기 제2몰드층 상에 제2포토 레지스트를 코팅하여 제3몰드층을 형성하고, 상기 제3몰드층에 상기 관통홀들과 소정간격 이격된 위치에 상기 복수의 절개홈들을 성형하기 위한 리브 패턴을 남기고, 나머지 부분은 상기 폴리머가 채워지도록 폴리머 수용홈으로 식각하여 형성하는 단계와;상기 수용홈과 상기 관통홀을 통해 식각 용액을 유입하여, 상기 제1몰드층에 상기 관통홀과 연통되는 상기 흡착판의 형상을 식각하여, 상기 제1,2,3몰드층이 적층된 건식접착필름용 몰드를 제조하는 단계와;상기 건식접착필름용 몰드에 상기 폴리머를 도포하여, 상기 흡착판을 갖는 상기 미세섬모들과 상기 절개홈들이 형성된 초박막 건식 접착 필름을 성형하는 단계와;상기 건식접착필름용 몰드로부터 상기 초박막 건식 접착 필름을 분리하는 단계를 포함하고,상기 절개홈의 깊이는 상기 베이스 플레이트의 높이보다 작게 형성되고, 상기 절개홈의 폭은 상기 미세섬모들의 단면의 폭보다 작게 형성되며,상기 리브 패턴은,상기 관통홀들과 소정간격 이격된 위치에 형성되고, 상기 관통홀들의 정렬 방향 중 일 방향에 평행하게 배치된 복수의 제1리브들과;상기 제1리브들과 소정각도로 경사진 방향으로 배치된 복수의 제2리브들을 포함하고,상기 제1,2,3몰드층은 각각 스핀 코팅에 의해 형성되며,상기 제1,2,3몰드층의 두께는 상기 스핀 코팅의 분당회전수(rpm)를 통해 다르게 조절하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제1리브들 중 일부와 상기 제2리브들 중 일부는 서로 교차되게 형성되는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제2,3몰드층은 소수성의 고분자 재료로 형성되며,상기 제2몰드층의 관통홀을 통해 상기 식각 용액을 유입하기 이전에 플라즈마 처리, 오존 처리 및 화학적 처리 중 어느 하나의 방법으로 상기 제1,2,3몰드층을 표면 처리하여 친수성으로 변화시키는 단계를 더 포함하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제2,3몰드층은, 친수성의 성질을 갖는 소재로 형성된 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 건식접착필름용 몰드에 상기 폴리머를 도포하기 이전에 상기 건식접착필름용 몰드를 옥타플루오로시클로부탄(C4F8)을 플라즈마 형태로 분사하여 코팅하는 단계를 더 포함하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 건식접착필름용 몰드에 상기 폴리머를 도포시,상기 제3몰드층보다 더 높게 설정된 설정 높이까지 상기 폴리머를 도포하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 폴리머는 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane)과 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate), PEGDMA(Polyehtylene glycol dimethacrylate), PEG(Polyethylene glycol) 중 어느 하나를 사용하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법
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접을 수 있도록 복수의 슬릿형상의 절개홈들이 형성된 베이스 플레이트와;상기 베이스 플레이트 상에 돌출 형성되는 돌출부와, 상기 돌출부의 선단에 형성된 흡착판을 포함하는 미세섬모들을 포함하고,상기 절개홈들은, 상기 미세섬모들과 소정간격 이격된 위치에 형성되고, 상기 미세섬모들의 정렬 방향 중 일 방향에 평행한 방향으로 길게 형성된 복수의 제1절개홈들과, 상기 제1절개홈들의 길이 방향과 소정각도로 기울어진 방향으로 길게 형성된 복수의 제2절개홈들을 포함하고,상기 절개홈의 깊이는 상기 베이스 플레이트의 높이보다 작게 형성되고, 상기 절개홈의 폭은 상기 미세섬모들의 단면의 폭보다 작게 형성되는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름
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