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나노 입자가 연속적으로 합성되는 반응로, 상기 반응로로 원료 가스를 공급하기 위한 원료가스 공급부, 상기 반응로에 열을 가하기 위한 가열부, 상기 반응로의 상단에 연결되어 상기 반응로에 증착된 상기 나노 입자를 분리시키는 분리부, 상기 반응로의 하단에 연결되어 상기 나노 입자가 포집되고 상기 반응로와 분리가능하게 결합되는 수거통, 및상기 반응로와 상기 수거통 사이에 설치되어 상기 수거통 분리 시 상기 반응로를 외부와 차단시키는 게이트밸브를 포함하고, 상기 분리부는, 상기 반응로 내면에 접하여 증착된 상기 나노 입자를 긁어 상기 반응로 내부에서 분리시키는 접촉부재, 상기 반응로를 따라 상기 접촉부재를 이동시키기 위한 이동부, 및 상기 접촉부재를 상기 반응로 내주면을 따라 회전시키기 위한 회전부를 포함하는 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 수거통에 연결되어 상기 수거통 내부의 상기 원료 가스를 제거하고 진공분위기로 치환하기 위한 진공부를 더 포함하는 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 수거통에 연결되어 상기 수거통에 불활성가스를 공급하기 위한 불활성가스 공급부를 더 포함하는 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 반응로는 수직으로 배치되어, 상기 분리부에 의해 상기 반응로에서 분리된 나노 입자가 상기 수거통으로 낙하되어 모이는 구조의 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 반응로는 상기 나노 입자가 합성되어 내면에 증착되는 반응튜브, 상기 반응튜브 외측에 이격 배치되는 외관, 및 상기 외관과 상기 반응튜브 사이를 실링하는 오링을 포함하는 나노 입자 제조 장치
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제 5 항에 있어서,상기 반응튜브는 알루미나 재질로 이루어진 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 원료가스 공급부는 상기 반응로의 상부에 연결되어 상기 원료 가스를 상기 반응로 상부로 공급하여 상기 반응로 하부로 배기하는 구조의 나노 입자 제조 장치
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삭제
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 접촉부재는 브러쉬로 이루어진 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 접촉부재는 스크레이퍼로 이루어진 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 분리부는 상기 반응로 상단에 연결되며 내부에 상기 접촉부재가 대기하는 상단 하우징, 및 상기 상단 하우징의 하부에 설치되어 상기 상단하우징을 개폐하는 게이트밸브를 더 포함하는 나노 입자 제조 장치
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제 12 항에 있어서,상기 이동부는 프레임 상에 회전가능하게 설치되고 상기 반응로의 축방향에 평행하게 연장되며 표면에 나사산이 형성된 이송스크류, 상기 이송스크류에 연결되어 상기 이송스크류를 회전시키기 위한 구동모터, 상기 이송스크류에 결합되어 상기 이송스크류 회전에 따라 상기 이송스크류를 따라 이동되는 이송부재, 및 상기 이송부재에 결합되고 상기 반응로로 연장되며 선단에 상기 접촉부재가 설치되는 축부재를 포함하는 나노 입자 제조 장치
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제 13 항에 있어서,상기 분리부는 상기 접촉부재를 상기 반응로 내주면을 따라 회전시키기 위한 회전부를 더 포함하고, 상기 회전부는 상기 축부재가 상기 이송부재에 회전가능하게 설치되고, 상기 이송부재에는 상기 축부재를 회전시키기 위한 회전모터가 설치되며, 상기 회전모터에는 구동기어가 설치되고, 상기 축부재에는 상기 회전모터의 구동기어에 맞물리는 피동기어가 설치된 구조의 나노 입자 제조 장치
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제 14 항에 있어서,상기 이동부는 상기 이송부재에 설치되고 상기 축부재를 감싸며 연장되며, 상기 축부재와의 사이에 기밀을 유지하여 설치되고, 상기 축부재 이동시 상기 상단 하우징과의 기밀을 유지하는 축관을 더 포함하는 나노 입자 제조 장치
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제 15 항에 있어서,상기 이동부는 상기 프레임에 설치되어 상기 축부재에 평행하게 연장되는 적어도 하나 이상의 가이드바를 더 포함하고, 상기 이송부재는 상기 가이드바에 결합되어 상기 가이드바를 따라 안내되는 구조의 나노 입자 제조 장치
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제 13 항에 있어서,상기 접촉부재는 상기 축부재에 간격을 두고 적어도 하나 이상 설치된 구조의 나노 입자 제조 장치
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제 17 항에 있어서,상기 접촉부재는 상기 축부재의 외주면을 따라 간격을 두고 복수개가 설치된 구조의 나노 입자 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 수거통에 연결되어 상기 수거통 내부의 상기 원료 가스를 제거하고 진공분위기로 치환하기 위한 진공부를 더 포함하고,상기 진공부는 게이트밸브와 상기 수거통 사이에 연결관이 연결 설치되고, 상기 연결관에 펌프가 연결되어 상기 수거통 내부에 진공압을 형성하는 구조의 나노 입자 제조 장치
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반응로 가열 단계,상기 반응로 내에 원료 가스를 공급하여 나노 입자를 합성하고 상기 반응로 내주면에 증착시키는 단계,상기 반응로 내주면에서 상기 나노 입자를 분리시켜 상기 반응로 하단의 수거통으로 포집하는 단계,상기 반응로와 상기 수거통 사이를 차단하는 단계, 및상기 반응로에서 상기 나노 입자 합성을 계속하는 상태에서 상기 반응로로부터 상기 수거통을 분리하여 상기 나노 입자를 수거하는 단계를 포함하고, 상기 포집하는 단계는, 상기 반응로 내면에 접하여 증착된 상기 나노 입자를 접촉부재에 의하여 긁어 상기 반응로 내부에서 분리시키는 나노 입자 분리 단계, 상기 반응로를 따라 상기 접촉부재를 이동시키는 접촉부재 이동 단계, 및 상기 접촉부재를 상기 반응로 내주면을 따라 회전시키는 접촉부재 회전 단계를 포함하는 나노 입자 제조 방법
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제 20 항에 있어서,상기 반응로 내부로 상기 원료 가스 공급 시, 수직 방향으로 배치된 상기 반응로의 상부로 상기 원료 가스를 공급하여 상기 반응로 하부로 배기하는 나노 입자 제조 방법
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제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 나노 입자 포집 단계는 수직 방향으로 배치된 상기 반응로에서 분리된 상기 나노 입자를 낙하시켜 수거통으로 모으는 나노 입자 제조 방법
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제 22 항에 있어서,상기 반응로와 상기 수거통 사이 차단 후 상기 수거통 내부를 불활성분위기로 치환하는 단계를 더 포함하는 나노 입자 제조 방법
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