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박막 형성 방법 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022015197
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 형성 방법은 제1 유기 용매를 포함하는 기반 용매를 준비하는 단계, 및 상기 기반 용매 상에 금속 산화물 박막이 형성되도록 나노 금속 산화물이 분산된 분산액을 도포하는 단계를 포함한다. 상기 분산액을 도포하는 단계에서 상기 나노 금속 산화물의 계면 자기조립(interfacial assembly)이 유도된다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 51/52 (2006.01.01) H01L 27/32 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01) C04B 35/626 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7869(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 27/3262(2013.01) H01L 51/56(2013.01) C04B 35/6264(2013.01)
출원번호/일자 1020170078159 (2017.06.20)
출원인 삼성디스플레이 주식회사, 울산과학기술원
등록번호/일자 10-2414076-0000 (2022.06.23)
공개번호/일자 10-2018-0138273 (2018.12.31) 문서열기
공고번호/일자 (20220629) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.04.07)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박원상 대한민국 경기 용인시 수지구
2 김건모 대한민국 경기 화성시
3 김민우 대한민국 경기도 화성시
4 추혜용 대한민국 경기도 화성
5 홍종호 대한민국 경기도 용인시 기흥구
6 김시훈 대한민국 울산광역시 울주군
7 김주영 대한민국 울산광역시 울주군
8 남윤석 대한민국 울산광역시 울주군
9 송명훈 대한민국 울산광역시 울주군
10 우정현 대한민국 울산광역시 울주군
11 이상윤 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 경기 용인시 기흥구
2 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0592677-42
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5016605-77
3 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-0359149-96
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0050798-43
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0227093-02
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2021-0580434-67
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0768513-76
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-1377875-05
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-1377876-40
13 등록결정서
Decision to grant
2022.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0308391-60
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 유기 용매를 포함하는 기반 용매를 준비하는 단계; 및상기 기반 용매 상에 금속 산화물 박막이 형성되도록 나노 금속 산화물이 분산된 분산액을 도포하는 단계를 포함하고,상기 분산액은 상기 나노 금속 산화물이 상기 제1 유기 용매에 비해 극성이 큰 제2 유기 용매에 분산된 것이고,상기 분산액을 도포하는 단계에서상기 제1 유기 용매와 상기 제2 유기 용매의 계면에서 상기 나노 금속 산화물의 계면 자기조립(interfacial assembly)이 유도되고,상기 계면 자기 조립은 상기 제1 유기 용매와 상기 제2 유기 용매간의 표면 에너지 차이에 의해 발생하는 마랑고니 힘에 의한 것인 박막 형성 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 분산액은상기 나노 금속 산화물이 제2 유기 용매에 분산된 것이고,상기 제1 유기 용매는 상기 제2 유기 용매에 비해 극성이 큰 박막 형성 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 제1 유기 용매는 상기 제2 유기 용매에 비해 낮은 증기압을 가지고,상기 제1 유기 용매는 상기 제2 유기 용매에 비해 높은 표면 장력을 가지는 박막 형성 방법
4 4
제2항에 있어서,상기 제2 유기 용매는에틸 아세테이트, 디에틸에테르, 디클로로메탄, 클로로포름, 프로필 아세테이트, 메틸 아세테이트, 디클로로벤젠, 및 디메틸벤젠으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 박막 형성 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 유기 용매는N-메틸-2-피롤리돈, 디메틸아세트아마이드, 디메틸포름아마이드, 에탄올, 및 메탄올로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 박막 형성 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 기반 용매는물을 더 포함하는 박막 형성 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 기반 용매는상기 기반 용매의 전체 부피를 기준으로,상기 제1 유기 용매 80% 이상; 및잔량의 물을 포함하는 박막 형성 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 나노 금속 산화물은몬모릴로나이트, 제올라이트, 티타늄디옥사이드, 및 지르코늄디옥사이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 박막 형성 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 나노 금속 산화물은표면에 무극성 탄화수소 사슬을 포함하는 박막 형성 방법
10 10
기판을 포함하는 표시 부재를 준비하는 단계; 및상기 표시 부재 상에 적어도 하나의 봉지층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 봉지층을 형성하는 단계는금속 산화물 박막을 형성하는 단계; 및상기 금속 산화물 박막을 상기 표시 부재 상에 전사시키는 단계를 포함하고,상기 금속 산화물 박막을 형성하는 단계는제1 유기 용매를 포함하는 기반 용매를 준비하는 단계; 및상기 기반 용매 상에 상기 금속 산화물 박막이 형성되도록 나노 금속 산화물이 분산된 분산액을 도포하는 단계를 포함하고,상기 분산액은 상기 나노 금속 산화물이 상기 제1 유기 용매에 비해 극성이 큰 제2 유기 용매에 분산된 것이고,상기 분산액을 도포하는 단계에서상기 제1 유기 용매와 상기 제2 유기 용매의 계면에서 상기 나노 금속 산화물의 계면 자기조립(interfacial assembly)이 유도되고,상기 계면 자기 조립은 상기 제1 유기 용매와 상기 제2 유기 용매간의 표면 에너지 차이에 의해 발생하는 마랑고니 힘에 의한 것인 표시 장치의 제조 방법
11 11
제10항에 있어서,상기 분산액은상기 나노 금속 산화물이 제2 유기 용매에 분산된 것이고,상기 제2 유기 용매는 상기 제1 유기 용매에 비해 극성이 큰 표시 장치의 제조 방법
12 12
제11항에 있어서,상기 제2 유기 용매는에틸 아세테이트, 디에틸에테르, 디클로로메탄, 클로로포름, 프로필 아세테이트, 메틸 아세테이트, 디클로로벤젠, 및 디메틸벤젠으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
13 13
제11항에 있어서,상기 제1 유기 용매는 상기 제2 유기 용매에 비해 낮은 증기압을 가지고,상기 제1 유기 용매는 상기 제2 유기 용매에 비해 높은 표면 장력을 가지는 박막 형성 방법
14 14
제10항에 있어서,상기 제1 유기 용매는N-메틸-2-피롤리돈, 디메틸아세트아마이드, 디메틸포름아마이드, 에탄올, 및 메탄올로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
15 15
제10항에 있어서,상기 기반 용매는물을 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법
16 16
제15항에 있어서,상기 기반 용매는상기 기반 용매의 전체 중량을 기준으로,상기 제1 유기 용매 80% 이상; 및잔량의 물을 포함하는 표시 장치의 제조 방법
17 17
제10항에 있어서,상기 나노 금속 산화물은몬모릴로나이트, 실리카, 제올라이트, 티타늄디옥사이드, 및 지르코늄디옥사이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
18 18
제10항에 있어서,상기 나노 금속 산화물은표면에 무극성 탄화수소 사슬을 포함하는 표시 장치의 제조 방법
19 19
제10항에 있어서,상기 기판은 실리콘, 실리콘 웨이퍼, 유리, 및 고분자 필름로 이루어진 군에 선택되는 적어도 하나를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.