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금속산화물 박막을 포함하는 트랜지스터 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022015199
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 트랜지스터 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 저온 용액 공정을 통해 표면 거칠기가 낮은 금속산화물 박막을 포함한 트랜지스터 제조방법이 제공된다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 29/51 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) C09D 4/00 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/517(2013.01) H01L 21/02172(2013.01) H01L 21/02205(2013.01) H01L 21/324(2013.01) C09D 4/00(2013.01)
출원번호/일자 1020170078793 (2017.06.21)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-2093415-0000 (2020.03.19)
공개번호/일자 10-2018-0138500 (2018.12.31) 문서열기
공고번호/일자 (20200423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.21)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진영 대한민국 울산광역시 울주군
2 워커 브라이트 제임스 대한민국 울산광역시 울주군
3 허정우 대한민국 울산광역시 울주군
4 박송이 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이룸리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0597405-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-1088618-59
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0037462-79
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0737185-84
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-1295410-05
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0105796-57
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0105797-03
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0451027-94
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0860543-77
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0860542-21
12 등록결정서
Decision to grant
2019.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0941774-86
13 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2020.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5007310-79
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(1) 하프늄 이소프로폭사이드 이소프로판올 착물(Hafnium isopropoxide isopropanol adduct), 지르코늄 이소프로폭사이드 이소프로판올 착물(zirconium isopropoxide isopropanol complex) 및 탄탈륨 에톡사이드(tantalum ethoxide) 중 어느 하나를 포함하는 금속전구체와 용매를 혼합하고 이외의 별도의 첨가제를 첨가하지 않고 금속전구체용액을 제조하는 단계;(2) 상기 금속전구체와 상기 용매의 리간드 교환반응을 수행하기 위하여 상기 금속전구체용액을 불활성 기체 분위기 및 70 내지 90℃의 온도에서 1차 열처리하는 단계;(3) 열처리를 수행한 금속전구체용액을 불활성 기체 분위기에서 게이트 전극상에 스핀코팅하는 단계; 및(4) 상기 게이트 전극 상에 스핀코팅한 금속전구체용액을 대기 분위기에서 2차 열처리하여 상기 (2) 단계에서 생성된 생성물을 가수분해함과 동시에 상기 금속전구체 용액 내 부산물을 제거하고, 하프늄, 지르코늄 및 탄탈륨 중 어느 하나의 산화물을 포함하고 표면 거칠기(Rq)가 0
2 2
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3 3
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4 4
제 1 항에 있어서,상기 용매는 테트라하이드로퓨란, 에탄올, 메탄올, 다이그라임(diglyme), 2-메톡시에탄올 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 트랜지스터 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 용매는 2-메톡시에탄올인 트랜지스터 제조 방법
6 6
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7 7
제 1 항에 있어서,상기 (3)단계는 회전속도 2000 내지 4000rpm으로 스핀코팅하여 수행되는 트랜지스터 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 (4)단계는 대기 분위기 및 150 내지 250 ℃의 온도에서 수행되는 트랜지스터 제조방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 (4) 단계 이후에 첨가제 또는 부산물을 제거하기 위한 별도의 열처리 공정이 더 수행되지 않는 트랜지스터 제조방법
10 10
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11 11
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 동아대학교 산학협력단 산업핵심기술개발사업 백플레인/구동소자가 필요 없는 디스플레이 구현을 위한 유/무기 하이브리드 백색광 트랜지스터 개발