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나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물 및 나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법

기술번호 : KST2022015242
담당센터 : 부산기술혁신센터
전화번호 : 051-606-6561

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	일 실시예에 따른 나노 물질이 선택적으로 증착되어 있는 나노 구조물은, 상부 표면에 요입 형성된, 소정의 개구부를 갖는 홈을 구비하는 기판; 상기 상부 표면 상에 배치되되, 상기 홈의 개구부 중 일부를 커버하고 상기 일부를 제외한 나머지 부분은 커버하지 않는 절연층; 상기 절연층 상에 배치되는 나노 구조물; 상기 나노 구조물의 표면 중 일부 및 상기 절연층의 상면의 일부분에 증착되는 제 1 도전체; 및 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부, 상기 나노 구조물의 표면 중 일부 및 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착되는 제 2 도전체를 포함하되, 상기 기판의 홈의 개구부의 넓이는, 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부에 증착된 제 2 도전체 및 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 2 도전체의 넓이보다 넓을 수 있다.
Int. CL	G01N 27/407 (2006.01.01) G01N 27/406 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01)
CPC	G01N 27/4071(2013.01) G01N 27/4067(2013.01) G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/123(2013.01)
출원번호/일자	1020210032099 (2021.03.11)
출원인	울산과학기술원
등록번호/일자	10-2423791-0000 (2022.07.18)
공개번호/일자	10-2022-0018887 (2022.02.15) 문서열기
공고번호/일자	(20220722) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보	대한민국 \| 1020200099381 \| 2020.08.07
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2021.03.11)
심사청구항수	12

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	울산과학기술원	대한민국	울산광역시 울주군

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	신흥주		울산광역시 울주군
2	김태중		울산광역시 울주군
3	조우택		울산광역시 울주군

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	제일특허법인(유)	대한민국	서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	울산과학기술원		울산광역시 울주군

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2021.03.11	수리 (Accepted)	1-1-2021-0289141-91
2	선행기술조사의뢰 취소 Revocation of Request for Prior Art Search	2021.09.13	수리 (Accepted)	9-1-0000-0000000-00
3	[출원서 등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2021.10.07	수리 (Accepted)	1-1-2021-1149228-48
4	[우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서	2022.04.21	수리 (Accepted)	1-1-2022-0427019-67
5	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서 [Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search	2022.04.25	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	[우선심사신청]선행기술조사보고서 [Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search	2022.04.27	수리 (Accepted)	9-1-2022-0005903-81
7	등록결정서 Decision to grant	2022.07.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0490320-19

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 상부 표면에 요입 형성된, 소정의 개구부를 갖는 홈을 구비하는 기판;상기 상부 표면 상에 배치되되, 상기 홈의 개구부 중 일부를 커버하고 상기일부를 제외한 나머지 부분은 커버하지 않는 절연층;상기 절연층 상에 배치되는 나노 구조물;상기 나노 구조물의 표면 중 일부 및 상기 절연층의 상면의 일부분에 증착되는 제 1 도전체; 및상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부, 상기 나노 구조물의 표면 중 일부 및 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착되는 제 2 도전체를 포함하되,상기 기판의 홈의 개구부의 넓이는,상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부에 증착된 제 2 도전체 및 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 2 도전체의 넓이보다 넓은나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물
2	2 제 1 항에 있어서,상기 기판의 홈의 개구부의 넓이는,상기 홈의 바닥면의 넓이와 동일하거나 상기 홈의 바닥면의 넓이보다 넓은나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부 및 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착되는 제 2 도전체는, 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착되는 제 2 도전체와 서로 절연되는나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 절연층이 커버하는 상기 홈의 개구부 중 일부는,상기 홈의 개구부의 가장자리인나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 나노 구조물은,상기 절연층 상에 배치되는 기둥부; 및상기 기둥부에 의해 지지되며 상기 홈의 개구부를 가로지르도록 배치되는 나노 와이어를 포함하는나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물
6	6 제 5 항에 있어서, 상기 나노 구조물은 상기 기둥부를 2개 포함하고,상기 나노 와이어의 양단은,상기 2개의 기둥부 각각에 의해서 지지되는나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물
7	7 절연층이 형성되어 있는 기판의 상부 표면 상에, 소정의 개구부를 갖는 홈을 요입 형성하는 단계;상기 절연층 상에 나노 구조물을 형성하는 단계;상기 나노 구조물의 표면 중 일부 및 상기 절연층의 상면의 일부분에 제 1 도전체를 증착하는 단계; 및상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부, 상기 나노 구조물의 표면 중 일부 및 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 제 2 도전체를 증착하는 단계를 포함하되,상기 기판의 홈의 개구부의 넓이는,상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부에 증착된 제 2 도전체 및 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 2 도전체의 넓이보다 넓은,나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법
8	8 제 7 항에 있어서,상기 기판의 홈의 개구부의 넓이는,상기 홈의 바닥면의 넓이와 동일하거나 상기 홈의 바닥면의 넓이보다 넓은나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법
9	9 제 7 항에 있어서,상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체의 일부 및 상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착되는 제 2 도전체는, 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착되는 제 2 도전체와 서로 절연되는나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법
10	10 제 7 항에 있어서,상기 절연층이 커버하는 상기 홈의 개구부 중 일부는,상기 홈의 개구부의 가장자리인나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법
11	11 제 8 항에 있어서,상기 나노 구조물을 형성하는 단계는,상기 절연층 상에 기둥부를 형성하는 단계; 및상기 기둥부에 의해 지지되며 상기 홈의 개구부를 가로지르도록 나노 와이어를 형성하는 단계를 포함하는나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법
12	12 제 11 항에 있어서, 상기 나노 구조물을 형성하는 단계는,상기 절연층 상에 상기 기둥부를 2개 형성하고,상기 나노 와이어 양단은,상기 2개의 기둥부 각각에 의해서 지지되는나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	KR1020220018870	KR	대한민국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	과학기술정보통신부	울산과학기술원	차세대초소형IoT기술개발(R＆D)	Disposable IoT 환경 및 생체신호 나노센서 개발
2	과학기술정보통신부	울산과학기술원(교)	지역연구개발혁신지원(R＆D)	IoT 센서기반 유해물질 안전대응 플랫폼 구축
3	교육부	울산과학기술원	이공학학술연구기반구축(R＆D)	환경감시 자율무인시스템 연구센터

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-2423791-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20210311 출원 번호 : 1020210032099 공고 연월일 : 20220722 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20220701 청구범위의 항수 : 12 유별 : G01N 27/407 발명의 명칭 : 나노 물질이 선택적으로 증착된 나노 구조물 및 나노 구조물 위의 나노 물질 선택적 증착 방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 울산과학기술원 울산광역시 울주군...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	246,500 원	2022년 07월 19일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2021.03.11	수리 (Accepted)	1-1-2021-0289141-91
2	선행기술조사의뢰 취소	2021.09.13	수리 (Accepted)	9-1-0000-0000000-00
3	[출원서 등 보정]보정서	2021.10.07	수리 (Accepted)	1-1-2021-1149228-48
4	[우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서	2022.04.21	수리 (Accepted)	1-1-2022-0427019-67
5	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서	2022.04.25	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	[우선심사신청]선행기술조사보고서	2022.04.27	수리 (Accepted)	9-1-2022-0005903-81
7	등록결정서	2022.07.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0490320-19

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