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액체매개 패턴형성장치, 그 제조 방법, 이를 이용한 액체매개 패턴 형성 방법 및 액체매개 패턴

  • 기술번호 : KST2022015288
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 다양한 물질에 적용가능하고, 높은 생산성과 경제성을 가지는 액체매개 패턴형성장치를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 액체매개 패턴형성장치는, 유연성을 가지고, 복수의 관통구멍들을 구비하는 유연 모재; 및 상기 유연 모재로부터 돌출된 복수의 기둥부재들;을 포함한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/311 (2006.01.01) H01L 21/3213 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67075(2013.01) H01L 21/31111(2013.01) H01L 21/32134(2013.01) H01L 21/027(2013.01)
출원번호/일자 1020210000731 (2021.01.05)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0098883 (2022.07.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.01.05)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태성 울산광역시 울주군
2 배주열 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2021-0008125-03
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.09.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0125191-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2022.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0528625-53
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2022-0802489-43
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.08.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0802488-08
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번호 청구항
1 1
유연성을 가지고, 복수의 관통구멍들을 구비하는 유연 모재; 및상기 관통구멍들 사이에 배치되고, 상기 유연 모재로부터 돌출된 복수의 기둥부재들;을 포함하는, 액체매개 패턴형성장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 기둥부재들은, 인쇄 대상체에 접촉하여, 상기 유연 모재와 상기 인쇄 대상체 사이에 증발대상액체를 수용하여, 상기 증발대상액체의 증발에 의하여 액체매개 패턴이 형성되는, 액체매개 패턴형성장치
3 3
청구항 1에 있어서,상기 기둥부재들은 삼각형, 사각형, 또는 육각형의 단위 다각형을 형성하도록 배열된, 액체매개 패턴형성장치
4 4
청구항 1에 있어서,상기 관통구멍들은 삼각형, 사각형, 또는 육각형의 단위 다각형을 형성하도록 배열된, 액체매개 패턴형성장치
5 5
청구항 1에 있어서,네 개의 상기 기둥부재들이 형성하는 단위 사각형의 내부에 하나의 상기 관통구멍이 배치되는, 액체매개 패턴형성장치
6 6
청구항 1에 있어서,여섯 개의 상기 기둥부재들이 형성하는 단위 육각형의 내부에 하나의 상기 관통구멍이 배치되는, 액체매개 패턴형성장치
7 7
청구항 1에 있어서,세 개의 상기 기둥부재들이 형성하는 단위 삼각형의 내부에 하나의 상기 관통구멍이 배치되는, 액체매개 패턴형성장치
8 8
청구항 1에 있어서,세 개의 상기 기둥부재들과 상기 액체매개 패턴의 세 개의 교차점들이 서로 교번하여 배열되어 형성하는 단위 육각형의 내부에 하나의 상기 관통구멍이 배치되는, 액체매개 패턴형성장치
9 9
청구항 1에 있어서,여섯 개의 상기 기둥부재들이 형성하는 단위 삼각형의 내부에 하나의 상기 관통구멍이 배치되는, 액체매개 패턴형성장치
10 10
곡면 기판 상에 증발대상액체를 도포하는 단계;상기 증발대상액체를 덮도록 복수의 기둥 부재와 복수의 관통구멍을 포함하는 액체매개 패턴형성장치를 배치하는 단계;상기 관통구멍들을 통하여 상기 증발대상액체가 증발하는 단계;상기 증발대상액체가 증발하면서, 상기 관통구멍들 각각의 주위를 둘러싸는 액체-공기 계면들 각각이 형성되는 단계;상기 증발대상액체가 증발하면서, 상기 관통구멍들 각각으로부터 멀어지는 방향으로 상기 액체-공기 계면들 각각이 확장하는 단계; 및상기 액체-공기 계면들이 확장하여 서로 접촉하고, 상기 기둥부재들에 의하여 고정되어, 액체매개 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는, 액체매개 패턴의 형성방법
11 11
청구항 10에 있어서,상기 액체매개 패턴을 형성하는 단계에서, 상기 액체매개 패턴에 의하여 상기 증발대상액체에 포함된 용질이 갇히게 되고, 상기 액체매개 패턴의 형상에 따라 상기 용질이 자기조립되는, 액체매개 패턴의 형성방법
12 12
청구항 10에 있어서,상기 액체매개 패턴을 형성하는 단계를 수행한 후에, 상기 액체매개 패턴을 열처리하여 그리드 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는, 액체매개 패턴의 형성방법
13 13
청구항 10에 있어서,상기 증발대상액체는 소듐 도데실 설페이트와 은 나노입자들을 포함하는 수용액으로 구성된, 액체매개 패턴의 형성방법
14 14
청구항 13에 있어서,상기 은 나노입자들은 10 nm 내지 10 μm 범위의 선폭을 가지는, 액체매개 패턴의 형성방법
15 15
청구항 제10항 내지 청구항 제14항 중의 한 항에 따른 액체매개 패턴의 형성방법에 의하여 형성된 액체매개 패턴
16 16
거울 부재; 및상기 거울 부재 상에, 청구항 제14항 내지 청구항 제18항 중의 한 항에 따른 액체매개 패턴의 형성방법에 의하여 형성되고, 금속 입자를 포함하는 그리드로 구성된 액체매개 패턴 히터;를 포함하는, 발열 거울
17 17
표면에 곡면이 형성된 모재; 및상기 모재 상에, 청구항 제14항 내지 청구항 제18항 중의 한 항에 따른 액체매개 패턴의 형성방법에 의하여 형성되고, 금속 입자를 포함하는 그리드로 구성된 액체매개 패턴으로 구성된 유연 투명전극;을 포함하는, 투명전극 곡면 장치
18 18
마스터 몰드 상에 몰드형성용 액상 물질을 투입하고, 소프트 리소그래피 방법을 이용하여 제1 몰드주형부재를 형성하는 단계;상기 제1 몰드주형부재를 희생층이 형성된 기판 상에 부착하는 단계;상기 제1 몰드주형부재를 진공처리하여, 상기 제1 몰드주형부재의 내부 공간을 제1 압력 상태로서 형성하는 단계;상기 제1 몰드주형부재의 외측에 액상물질을 접촉시키고, 상기 제1 몰드주형부재의 외측을 상기 제1 압력 상태에 비하여 높은 제2 압력 상태로 형성하여, 상기 액상물질을 상기 제1 몰드주형부재의 상기 내부 공간으로 압력차에 의하여 주입시키는 단계;상기 액상물질을 1차 경화시켜 경화체를 형성하는 단계;상기 제1 몰드주형부재를 제거하는 단계; 및상기 희생층을 제거하여 상기 기판으로부터 상기 경화체를 분리하여 액체매개 패턴형성장치를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 액체매개 패턴형성장치는, 유연성을 가지고, 복수의 관통구멍들을 구비하는 유연 모재; 및 상기 관통구멍들 사이에 배치되고, 상기 유연 모재로부터 돌출된 복수의 기둥부재들;을 포함하는, 액체매개 패턴형성장치의 제조방법
19 19
청구항 18에 있어서,상기 제1 몰드주형부재를 제거한 후에,상기 경화체를 2차 경화하여 최종 경화를 완료하는 단계;를 더 포함하는,액체매개 패턴형성장치의 제조방법
20 20
기판 상에 돌출부들과 주형구를 포함하는 제2 몰드주형부재를 부착하는 단계;상기 주형구를 통하여 상기 제2 몰드주형부재의 내부 공간에 액상물질을 주입하는 단계;상기 액상물질을 경화시켜 경화체를 형성하는 단계; 및상기 제2 몰드주형부재로부터 상기 경화체를 분리하여, 이에 따라 관통구멍들이 구비된 유연 모재와 상기 관통구멍들 사이에 배치되고, 상기 유연 모재로부터 돌출된 기둥부재들이 형성되는 단계;를 포함하는, 액체매개 패턴형성장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 울산과학기술원 개인기초연구(과기정통부)(R&D) Soft/Hard 나노풀루이딕스 플랫폼 기반의 다중물리 전달현상 제어 및 모델링
2 과학기술정보통신부 울산과학기술원 집단연구지원(R&D) 급속·정밀 냉각 기반 신경 신호전달 모델링 및 제어 기초연구실
3 과학기술정보통신부 울산과학기술원 개인기초연구(과기정통부)(R&D) 개인기초연구(과기정통부)(R&D)