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다공층;제1주입구와 상기 다공층의 일측에 위치하는 제1토출구를 갖는, 주입관;제2토출구와 상기 다공층의 타측에 위치하는 제2주입구를 갖는, 토출관; 및내부 공간이 상기 주입관의 상기 제1주입구에 연결되며 플렉서블한 작동챔버;를 구비하는, 미세 유체 펌프
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제1항에 있어서,베이스를 더 구비하고, 상기 작동챔버, 상기 다공층 및 상기 주입관은 상기 베이스 상에 위치하며, 상기 토출관은 상기 제2토출구가 상기 베이스 외측에 위치하도록 상기 베이스 상에 위치하는, 미세 유체 펌프
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제2항에 있어서,내부에 상기 작동챔버, 상기 주입관 및 상기 토출관이 형성되며, 상기 제1토출구와 상기 제2주입구와 연결되고 상기 다공층이 배치될 수 있는 개구를 가지며, 상기 베이스 상에 위치하는, 바디부를 더 구비하는, 미세 유체 펌프
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제3항에 있어서,상기 바디부는 폴리디메틸실록산(PDMS)를 포함하는, 미세 유체 펌프
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제3항에 있어서,상기 바디부의 상기 개구 내에 위치한 상기 다공층을 덮는 커버를 더 구비하는, 미세 유체 펌프
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제1항에 있어서,토출용 관통구를 갖는 베이스를 더 구비하고, 상기 작동챔버, 상기 다공층 및 상기 주입관은 상기 베이스 상에 위치하며, 상기 토출관은 상기 제2토출구가 상기 토출용 관통구 상에 위치하도록 상기 베이스 상에 위치하는, 미세 유체 펌프
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제6항에 있어서,상기 토출관 내에 위치한 토출 유동체는 상기 제2토출구와 상기 토출용 관통구를 통해 상기 베이스 외측으로 배출될 수 있는, 미세 유체 펌프
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8
제6항에 있어서,상기 토출용 관통구에 삽입된 토출용 노즐을 더 구비하고, 상기 제2토출구는 상기 토출용 노즐에 연결되어, 상기 토출관 내에 위치한 토출 유동체는 상기 제2토출구와 상기 토출용 노즐을 통해 상기 베이스 외측으로 배출될 수 있는, 미세 유체 펌프
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9
제6항에 있어서,내부에 상기 작동챔버, 상기 주입관 및 상기 토출관이 형성되며, 상기 제1토출구와 상기 제2주입구와 연결되고 상기 다공층이 배치될 수 있는 개구를 가지며, 상기 베이스 상에 위치하는, 바디부를 더 구비하는, 미세 유체 펌프
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10
제9항에 있어서,상기 바디부는 폴리디메틸실록산(PDMS)를 포함하는, 미세 유체 펌프
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제9항에 있어서,상기 바디부의 상기 개구 내에 위치한 상기 다공층을 덮는 커버를 더 구비하는, 미세 유체 펌프
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12
제1항에 있어서,상기 플렉서블한 작동챔버 하부에 위치하는 자성체를 더 구비하는, 미세 유체 펌프
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13
제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스는 폴리디메틸실록산(PDMS)을 포함하는, 미세 유체 펌프
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제2항 내지 제11항 중 어느 한 항의 미세 유체 펌프;상기 베이스 하부에 위치하는 프레임; 및상기 프레임에 연결되며, 상기 제2토출구 근방에 위치한 풋패드;를 구비하는, 로봇
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제14항에 있어서,상기 풋패드는 소수성 물질로 코팅된, 로봇
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제14항에 있어서,상기 풋패드는 원 형상의 가장자리를 갖는 부분을 포함하는, 로봇
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