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레이저 가공 장치 및 이를 이용한 태양 전지 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022015313
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 기판이 안착될 수 있고, 가장자리를 따라 하나 이상의 홀을 갖는 척부와, 상기 척부의 상부에 배치되어 상기 기판 상에 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저빔 발진부와, 상기 척부에 배치되어 상기 기판의 적어도 하나의 코너를 지지하는 코너 지지부와, 상기 척부에 연결되어 상기 하나 이상의 홀들을 통해 공기를 흡입하는 석션부를 구비하는, 레이저 가공 장치가 제공된다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/683 (2006.01.01) H01L 21/78 (2006.01.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 21/02675(2013.01) H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/78(2013.01)
출원번호/일자 1020190130180 (2019.10.18)
출원인 울산과학기술원, (주)프런티어에너지솔루션
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0143838 (2019.12.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/분할
원출원번호/일자 10-2018-0071644 (2018.06.21)
관련 출원번호 1020180071644
심사청구여부/일자 Y (2021.05.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군
2 (주)프런티어에너지솔루션 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강동우 울산광역시 남구
2 노성호 울산광역시 중구
3 김동제 경기도 성남시 분당구
4 석상일 울산광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2019.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-1067202-13
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2020.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-0182815-90
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.02.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5038967-18
4 [출원인지분변경]권리관계변경신고서
[Applicant Share Change] Report on Change of Proprietary Status		 2020.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0439671-62
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
7 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2021.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2021-0550672-79
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0589042-74
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.09.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-1108871-81
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2021-1108870-35
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2021.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0996322-99
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.02.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2022-0192578-11
13 등록결정서
Decision to grant		 2022.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0396489-21
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일면에 기판이 안착될 수 있고, 가장자리를 따라 하나 이상의 홀을 갖는 척부;상기 척부의 상부에 배치되어 상기 기판 상에 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저빔 발진부;상기 척부에 배치되어 상기 기판의 적어도 하나의 코너를 지지하는 코너 지지부; 및상기 척부에 연결되어 상기 하나 이상의 홀들을 통해 공기를 흡입하는 석션부;를 구비하는, 레이저 가공 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 척부의 일측에 연결되며, 개구를 갖는 집진부;를 더 구비하는, 레이저 가공 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 집진부는 상기 석션부에 의해 흡입된 공기를 상기 개구를 통해 배출하는, 레이저 가공 장치
4 4
가장자리를 따라 하나 이상의 홀을 갖는 척부의 상면에 기판을 안착시키는 단계; 및상기 기판 상에 레이저빔을 조사하는 단계;를 포함하고,상기 척부의 상면에 기판을 안착시키는 단계는, 상기 척부에 배치된 코너 지지부에 의해 상기 기판의 적어도 하나의 코너를 지지하는 단계; 및상기 하나 이상의 홀들을 통해 공기를 흡입하는 단계;를 포함하는, 태양 전지 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 척부의 상면에 기판을 안착시키는 단계는, 상기 척부의 상면에 상기 기판의 피가공면을 접촉시키는 단계를 포함하는, 태양 전지 제조 방법
6 6
제 4 항에 있어서,상기 척부의 일측에 연결되며 개구를 갖는 집진부를 통해 공기를 배출하는 단계를 더 포함하는, 태양 전지 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR102039037 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.