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상면에 기판이 안착될 수 있는 지지부;상기 지지부의 상부에 배치되되 상기 기판에 근접하거나 멀어지도록 상하방향으로 운동할 수 있으며, 상기 기판 상에 제1 코팅물질을 도포하는 제1 코팅부; 및상기 지지부의 상부에 상기 제1 코팅부와 인접하도록 배치되며, 상기 기판 상에 제2 코팅물질을 도포하는 제2 코팅부;를 구비하고,상기 제1 코팅부는,상기 기판의 폭 방향으로 연장되고 표면이 곡면을 갖는 원통형의 바아(bar)를 포함하고, 상기 제1 코팅물질은 상기 기판 상에 직접 공급되며, 상기 바아는 상기 기판 상에 직접 공급된 상기 제1 코팅물질에 접촉한 상태에서 회전운동을 하여 상기 기판 상에 제1 층을 형성하고,상기 제2 코팅부는,상기 기판 상으로 상기 제2 코팅물질을 분사하는 노즐을 포함하고, 상기 제2 코팅물질은 상기 제1 층 상에 분사되어 제2 층을 형성하고,상기 제1 코팅물질은 페로브스카이트(perovskite) 구조를 갖는 물질이고, 상기 제2 코팅물질은 정공 전달 물질인, 박막 코팅 장치
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제 1 항에 있어서,상기 지지부에 위치하고 상기 제1 코팅부 및 제2 코팅부 중 적어도 하나의 코팅이 완료되었는지 여부를 센싱하도록 구비된 센싱부를 더 포함하는, 박막 코팅 장치
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제 1 항에 있어서,상기 지지부의 상부에 상기 제1 코팅부 및 상기 제2 코팅부와 인접하도록 배치되며, 상기 기판 상에 도포된 물질을 경화시키는, 경화부를 더 구비하는, 박막 코팅 장치
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지지부의 상면에 기판을 안착시키는 단계;제1 코팅부 및 상기 제1 코팅부와 인접하도록 배치된 제2 코팅부를 상기 기판의 상부에 배치하는 단계; 상기 기판에 근접하도록 하방으로 이송된 상기 제1 코팅부에 의해 상기 기판 상에 제1 코팅물질을 도포하는 단계; 및상기 제2 코팅부에 의해 상기 기판 상에 제2 코팅물질을 도포하는 단계;를 포함하고,상기 제1 코팅부는,상기 기판의 폭 방향으로 연장되고 표면이 곡면을 갖는 원통형의 바아(bar)를 포함하고, 상기 제1 코팅물질은 상기 기판 상에 직접 공급되며, 상기 바아는 상기 기판 상에 직접 공급된 상기 제1 코팅물질에 접촉한 상태에서 회전운동을 하여 상기 기판 상에 제1 층을 형성하고,상기 제2 코팅부는,상기 기판 상으로 상기 제2 코팅물질을 분사하는 노즐을 포함하고, 상기 제2 코팅물질은 상기 제1 층 상에 분사되어 제2 층을 형성하고,상기 제1 코팅물질은 페로브스카이트(perovskite) 구조를 갖는 물질이고, 상기 제2 코팅물질은 정공 전달 물질인, 태양 전지 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 제1 코팅물질을 도포하는 단계 이후에, 상기 제2 코팅물질을 도포하는 단계를 수행하며,상기 제1 코팅물질을 도포하는 단계와 상기 제2 코팅물질을 도포하는 단계 사이에, 상기 제1 코팅물질의 도포를 완료한 이후 상기 제1 코팅부가 원위치로 복귀하는 단계를 더 포함하는, 태양 전지 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 제1 코팅부 및 상기 제2 코팅부와 나란하도록 배치된 경화부에 의해 상기 기판 상에 자외선을 조사하여 상기 기판 상에 도포된 물질을 경화시키는 단계를 더 포함하는, 태양 전지 제조 방법
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