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제1 전이금속을 포함하는 전이금속-칼코젠 화합물을 제공하는 단계;제2 전이금속으로 구성된 전이금속 전구체를 포함하는 전이금속 전구체 용액을 형성하는 단계;상기 전이금속 전구체 용액에 상기 전이금속-칼코젠 화합물을 투입하는 단계; 및상기 전이금속 전구체로부터 상기 제2 전이금속의 이온들이 환원되고, 상기 환원된 제2 전이금속이 상기 전이금속-칼코젠 화합물에 층간 삽입되어 전이금속-칼코젠 화합물 구조체를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제1 전이금속을 포함하는 전이금속-칼코젠 화합물을 제공하는 단계는, 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상에 상기 제1 전이금속을 포함하는 전이금속층을 형성하는 단계;상기 전이금속층 상에 공융금속합금용 금속층을 형성하는 단계;상기 공융금속합금용 금속층에 칼코젠을 제공하여 칼코젠 공융금속합금을 형성하는 단계; 및상기 제1 전이금속이 상기 칼코젠 공융금속합금 내로 확산하여 상기 칼코젠 공융금속합금에 포함된 상기 칼코젠과 상기 제1 전이금속이 결합하여 전이금속-칼코젠 화합물을 형성하는 단계;를 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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제1 전이금속을 포함하는 전이금속-칼코젠 화합물을 제공하는 단계;제2 전이금속으로 구성된 전이금속 전구체를 포함하는 전이금속 전구체 용액을 형성하는 단계;상기 전이금속 전구체 용액에 상기 전이금속-칼코젠 화합물을 투입하는 단계; 및상기 전이금속 전구체로부터 상기 제2 전이금속의 이온들이 환원되고, 상기 환원된 제2 전이금속이 상기 전이금속-칼코젠 화합물에 층간 삽입되어 전이금속-칼코젠 화합물 구조체를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제1 전이금속을 포함하는 전이금속-칼코젠 화합물을 제공하는 단계는, 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상에 상기 제1 전이금속을 포함하는 전이금속층을 형성하는 단계;상기 전이금속층 상에 공융금속합금용 금속층을 형성하는 단계;설정 온도 범위 상태에서 상기 공융금속합금용 금속층에 기체 상태의 칼코젠을 제공하여 액체 방울 형태의 칼코젠 공융금속합금을 형성하는 단계; 및상기 제1 전이금속이 상기 액체 방울 형태의 칼코젠 공융금속합금 내로 확산하여 상기 액체 방울 형태의 칼코젠 공융금속합금에 포함된 상기 칼코젠과 상기 제1 전이금속이 결합하여 전이금속-칼코젠 화합물을 형성하는 단계;를 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 전이금속-칼코젠 화합물 구조체를 형성하는 단계에서, 상기 전이금속 전구체는 불균등화 환원 반응을 통해 상기 제2 전이금속의 이온들이 자발적으로 환원되는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 전이금속 전구체 용액을 형성하는 단계는, 상기 전이금속 전구체를 유기 용매에 혼합하여 수행되는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 전이금속 전구체는 테트라키스(아세토니트릴) 구리(I) 헥사플로로포스페이트 (tetrakis(acetonitrile)copper (I) hexafluorophosphate) 또는 디코발트 옥타카보닐 (dicobalt octacarbonyl)을 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 전이금속-칼코젠 화합물 구조체를 형성하는 단계는, 불활성 분위기에서 40℃ 내지 70℃ 범위의 온도에서 수행되는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 전이금속-칼코젠 화합물 구조체를 형성하는 단계를 수행한 후에, 상기 전이금속-칼코젠 화합물 구조체를 세정하는 단계를 더 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 전이금속 전구체 용액을 형성하는 단계를 수행하기 전에, 상기 전이금속 전구체 용액을 수용하는 용기를 세정하는 단계를 더 포함하고,상기 용기를 세정하는 단계는, 상기 용기를 8 vol % 내지 12 vol % 범위의 질산을 포함하는 산성 욕에 침지하여 세정하고, 상기 용기를 탈이온수에 침지하여 중성화 작업을 수행하고, 이어서 55℃ 내지 65℃ 범위의 온도에서 건조하여 수행하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 기판은 실리콘(Si), 실리콘 산화물(SiO2) 및 알루미늄 산화물(Al2O3) 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 제1 전이금속은 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 니오븀(Nb), 텔루륨(Te), 하프늄(Hf), 탄탈륨(Ta), 레늄(Re), 코발트(Co), 니켈(Ni), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 백금(Pt), 및 이들의 합금 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 공융금속합금용 금속층은 구리(Cu), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag), 및 팔라듐(Pd) 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 칼코젠은 황(S), 셀레늄(Se), 및 텔루륨(Te) 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 칼코젠 공융금속합금을 형성하는 단계 및 상기 전이금속-칼코젠 화합물을 형성하는 단계는 50℃ 내지 1200℃ 의 온도 범위에서 수행되는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 칼코젠 공융금속합금을 형성하는 단계 및 상기 전이금속-칼코젠 화합물을 형성하는 단계는 300℃ 내지 700℃ 의 온도 범위에서 수행되는, 전이금속-칼코젠 화합물 구조체의 제조 방법
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