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대상객체의 표면의 다수의 영역들 각각에 대한 높이에 따라 이동하며 상기 대상객체의 제1 단층 이미지를 촬영하는 제1 렌즈와 상기 대상객체의 표면의 다수의 영역들 각각에 대한 제2 단층 이미지를 촬영하는 제2 렌즈를 포함하는 촬영부; 및상기 제2 단층 이미지로부터 상기 대상객체의 표면의 위치를 검출하고, 상기 대상객체의 표면의 위치에 따라, 상기 대상객체의 다수의 영역들 각각에 대하여 상기 제1 렌즈가 수직이동하는 이동 거리 정보, 상기 제2 단층 이미지로부터 미리 결정된 기준선과 상기 대상객체의 표면의 다수의 영역들 사이의 깊이 정보 및 상기 제2 단층 이미지로부터 상기 대상객체의 표면의 다수의 영역들에 대한 높이 정보를 산출하며, 상기 이동 거리 정보, 깊이 정보 및 높이 정보에 따라, 상기 대상객체의 표면의 다수의 영역들 각각에 대하여 상기 제1 렌즈가 수직이동하는 거리를 나타내는 토폴로지(topology) 정보를 생성하는 제어부;를 포함하는,광간섭 현미경 장치
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제1항에 있어서,상기 촬영부의 제1 렌즈는,상기 대상객체의 표면의 다수의 영역들 각각에 대한 높이로부터 미리 결정된 거리만큼 이격되어 수직 이동하며, 상기 대상객체의 제1 단층 이미지를 촬영하는,광간섭 현미경 장치
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제2항에 있어서,상기 미리 결정된 거리는, 상기 제1 렌즈에 대한 초점 심도(depth of focus, DOF) 이하의 초점 거리를 포함하는,광간섭 현미경 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 렌즈의 배율(magnification)은, 상기 제1 렌즈의 배율보다 작은,광간섭 현미경 장치
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제1항에 있어서,상기 토폴로지 정보는,상기 대상객체의 표면의 다수의 영역들 각각에 대하여 상기 제1 렌즈가 수직이동하는 거리에 대응하는 색상 정보를 포함하는,광간섭 현미경 장치
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제1항에 있어서,상기 촬영부의 제1 렌즈는,상기 토폴로지 정보에 기반하여, 상기 대상객체의 표면의 다수의 영역들 각각에 대한 높이에 따라 이동하며 상기 대상객체의 제1 단층 이미지를 촬영하는, 광간섭 현미경 장치
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제10항에 있어서,상기 제어부는,상기 제1 단층 이미지에 상기 토폴로지 정보를 적용하여 제3 단층 이미지를 생성하는,광간섭 현미경 장치
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