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부피가 변하는 구동부;상기 구동부와 연결되며, 상기 구동부의 부피 변형을 감지하는 센서부; 상기 구동부와 상기 센서부 사이에 배치되며, 길이 방향으로 연장 형성되는 지지부;상기 지지부와 상기 센서부 사이에 배치되고, 상기 지지부의 일 면을 커버하는 코팅부;상기 코팅부와 상기 센서부를 커버하고, 상기 코팅부와 동일 물질을 포함하는, 센서 커버; 및상기 센서부와 연결되며 상기 센서부로부터 전기적 신호를 전달받는 전극부;를 포함하고,상기 구동부는 전해질 용액 내에서 전압이 가해짐에 따라 부피가 변하고,상기 센서부는 탄소-실리콘 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치
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제1항에 있어서,상기 구동부는 전기화학적으로 산화-환원 반응에 의해 부피가 변하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치
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제2항에 있어서,상기 구동부는 전도성 고분자 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치
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제1항에 있어서,상기 지지부는 열가소성 수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치
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제1항에 있어서,상기 구동부는,상기 지지부의 형상에 대응되며, 길이 방향으로 연장 형성되는 구동본체; 및상기 지지부와 상기 구동본체에 접촉 결합되는 박막부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치
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제1항에 있어서,상기 센서부는 카본 입자를 포함하고,상기 구동부의 부피 변화에 따라 상기 카본 입자가 형성하는 전기 전도 경로가 변화하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치
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제1항에 있어서,상기 전극부를 커버하는 전극커버;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치
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지지부의 일측에 구동부를 결합시키는 단계;상기 구동부가 결합되는 상기 지지부의 일측에 대향되는 타측에 센서부를 형성하는 단계; 및상기 센서부에 전극부를 연결하는 단계;를 포함하고, 상기 센서부를 형성하는 단계는, 상기 구동부가 결합되는 상기 지지부의 일 측에 대향되는 타 측에 코팅부를 형성하는 단계; 상기 코팅부 상에 패턴홈을 구비한 마스크부를 부착하는 단계; 상기 패턴홈에 카본 페이스트 및 투명 실리콘을 포함하는 센서 형성 물질을 주입하는 단계; 상기 센서 형성 물질을 열 경화하고, 상기 마스크부를 제거하는 단계; 및 상기 코팅부 및 상기 센서부를 커버하는 커버부를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 구동부는 전해질 용액 내에서 전압이 가해짐에 따라 부피가 변하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 구동부는,상기 지지부의 형상에 대응되며, 길이 방향으로 연장 형성되는 구동본체; 및상기 지지부와 상기 구동본체에 접촉 결합되는 박막부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 지지부의 일측에 구동부를 결합시키는 단계는,지지부의 일측에 박막부를 결합시키는 단계;를 포함하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 지지부의 일측에 구동부를 결합시키는 단계는,상기 박막부 상에 접착부를 결합하여 웨이퍼를 고정시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 지지부의 일측에 구동부를 결합시키는 단계는,상기 박막부에서 상기 접착부를 분리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 지지부의 일측에 구동부를 결합시키는 단계는,상기 박막부에 상기 구동본체를 결합시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 센서부 및 상기 전극부 상에 커버부를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서형 구동 장치의 제조 방법
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