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전자 소자 및 전자 소자 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022015599
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는 제1 방향으로 높이를 갖도록 형성된 게이트 전극, 상기 제1 방향과 교차하는 방향을 기준으로 상기 게이트 전극과 이격되고 상기 게이트 전극의 일면과 대향하도록 형성된 소스 전극, 상기 제1 방향과 교차하는 방향을 기준으로 상기 게이트 전극과 이격되고 상기 게이트 전극의 일면과 대향하도록 형성된 드레인 전극, 상기 게이트 전극과 중첩된 영역을 포함하고 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 전기적으로 연결되고 상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극의 적어도 일 측면과 대향하도록 형성된 측면부를 구비하도록 형성된 활성층을 포함하는 전자 소자를 개시한다.
Int. CL H01L 29/423 (2006.01.01) H01L 29/417 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 29/10 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 29/4236(2013.01) H01L 29/4175(2013.01) H01L 29/66621(2013.01) H01L 29/1037(2013.01) H01L 21/02587(2013.01)
출원번호/일자 1020200056665 (2020.05.12)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-2343347-0000 (2021.12.21)
공개번호/일자 10-2021-0138393 (2021.11.19) 문서열기
공고번호/일자 (20211224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.05.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장지원 울산광역시 울주군
2 송기성 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2020-0479389-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0047026-54
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0255362-80
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0624973-75
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2021-0624972-29
9 등록결정서
Decision to grant		 2021.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0769890-31
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번호 청구항
1 1
그루브가 형성된 기판;상기 그루브 내에 배치되고, 제1 방향으로 높이를 갖도록 형성된 게이트 전극;상기 그루브 내에 배치되고, 상기 제1 방향과 교차하는 방향을 기준으로 상기 게이트 전극과 이격되고 상기 게이트 전극의 일면과 대향하도록 형성된 소스 전극;상기 그루브 내에 배치되고, 상기 제1 방향과 교차하는 방향을 기준으로 상기 게이트 전극과 이격되고 상기 게이트 전극의 다른 일면과 대향하도록 형성된 드레인 전극;상기 게이트 전극과 중첩된 영역을 포함하고 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 전기적으로 연결되고 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극의 적어도 일 측면과 접하도록 형성되고, 상기 그루브의 벽면에 대응하여 배치되는 측면부를 구비하도록 형성된 활성층을 포함하고,상기 활성층은 2차원 물질을 함유하는, 전자 소자
2 2
제1 항에 있어서,상기 활성층은 상기 측면부와 교차하는 방향으로 형성되는 바텀부를 포함하는 전자 소자
3 3
삭제
4 4
제1 항에 있어서,상기 그루브는 복수 개로 구비된 전자 소자
5 5
삭제
6 6
게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극 및 활성층을 포함하는 전자 소자 제조 방법으로서,상부에 그루브가 형성된 기판을 준비하고,상기 게이트 전극은 상기 그루브 내에 배치되어 제1 방향으로 높이를 갖도록 형성하고,상기 소스 전극은 상기 그루브 내에 배치되어 상기 제1 방향과 교차하는 방향을 기준으로 상기 게이트 전극과 이격되고 상기 게이트 전극의 일면과 대향하도록 형성하고,상기 드레인 전극은 상기 그루브 내에 배치되어 상기 제1 방향과 교차하는 방향을 기준으로 상기 게이트 전극과 이격되고 상기 게이트 전극의 다른 일면과 대향하도록 형성하고,상기 활성층은 상기 게이트 전극과 중첩된 영역을 포함하고 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 전기적으로 연결되고 상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극의 적어도 일 측면과 접하도록 형성되고, 상기 그루브의 벽면에 대응하여 배치되는 측면부를 구비하도록 형성하는 것을 포함하고,상기 활성층을 형성하는 단계는, 상기 활성층이 2차원 물질을 함유하도록 형성되는, 전자 소자 제조 방법
7 7
제6 항에 있어서,상기 활성층을 형성하는 단계는 상기 측면부와 교차하는 방향으로 바텀부를 형성하는 단계를 더 포함하는 전자 소자 제조 방법
8 8
삭제
9 9
제6 항에 있어서,상기 그루브를 형성하는 단계는,상기 기판 상에 서로 이격되도록 복수 개의 그루브를 형성하는 단계를 포함하는 전자 소자 제조 방법
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 울산과학기술원 개인기초연구(과기정통부)(R＆D) 2차원 물질 기반의 초저전력 소자에 관한 모델링 연구