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상부 표면에 요입 형성된, 소정의 개구부를 갖는 홈을 구비하는 기판;상기 상부 표면 상에 배치되되, 상기 홈의 개구부 중 일부를 커버하고 상기일부를 제외한 나머지 부분은 커버하지 않는 제 1 절연층;상기 제 1 절연층 상에 배치되는 나노 구조물;상기 나노 구조물의 표면 중 일부, 상기 제 1 절연층의 상면의 일부분 및 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 제 1 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착되는 제 1 도전체;상기 제 1 도전체의 일부, 상기 제 1 도전체가 증착되어 있지 않은 상기 나노 구조물의 표면 중 일부, 상기 제 1 절연 층의 일부 및 상기 기판의 홈에 증착되는 제 2 절연층; 상기 나노 구조물상에 증착되어 있는 제 2 절연층의 표면 중 일부에 형성된 제 2 도전체;상기 나노 구조물 상면에 증착되는 제 1 도전체와 제 2 절연층의 양측 각각과 접하는 제 1 전극; 및상기 제 2 절연층의 일부와 상기 제 2 도전체의 양측 각각과 접하는 제 2 전극을 포함하되,상기 제 1 도전체는 상기 제 2 도전체와 서로 절연되는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 항에 있어서,상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체 및 상기 제 1 절연층의 상면의 일부분에 증착된 제 1 도전체는, 상기 제 1 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착된 제 1 도전체와 서로 절연되는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 절연층과 상기 제 2 절연층을 구성하는 물질은 서로 상이한공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 도전체, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은,금(Au)을 포함하는,공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 도전체는,산화아연(ZnO)을 포함하는,공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 홈의 개구부 중 상기 나머지 부분의 넓이는,상기 홈의 바닥면의 넓이보다 좁은공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 절연층이 커버하는 상기 홈의 개구부 중 일부는,상기 홈의 개구부의 가장자리인공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 나노 구조물은,상기 제 1 절연층 상에 배치되는 기둥부; 및상기 기둥부에 의해 지지되며 상기 홈의 개구부를 가로지르도록 배치되는 나노 와이어를 포함하는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 8 항에 있어서, 상기 나노 구조물은 상기 기둥부를 2개 포함하고,상기 나노 와이어의 양단은,상기 2개의 기둥부 각각에 의해서 지지되는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서
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제 1 절연층이 형성되어 있는 기판의 상부 표면 상에, 소정의 개구부를 갖는 홈을 요입 형성하는 단계;상기 제 1 절연층 상에 나노 구조물을 형성하는 단계;상기 나노 구조물의 표면 중 일부, 상기 제 1 절연층의 상면의 일부분 및 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 제 1 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 제 1 도전체를 증착하는 단계;상기 제 1 도전체의 일부, 상기 제 1 도전체가 증착되어 있지 않은 상기 나노 구조물의 표면 중 일부, 상기 제 1 절연 층의 일부 및 상기 기판의 홈에 제 2 절연층을 증착하는 단계; 상기 나노 구조물상에 증착되어 있는 제 2 절연층의 표면 중 일부에 제 2 도전체를 증착하는 단계;상기 나노 구조물 상면에 증착되는 제 1 도전체와 제 2 절연층의 양측 각각과 접하는 제 1 전극영역을 형성하는 단계; 및상기 제 2 절연층의 일부와 상기 제 2 도전체의 양측 각각과 접하는 제 2 전극영역을 형성하는 단계를 포함하되,상기 제 1 도전체는 상기 제 2 도전체와 서로 절연되는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 제 1 도전체 및 상기 제 1 절연층의 상면의 일부분에 증착된 제 1 도전체는, 상기 제 1 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착된 제 1 도전체와 서로 절연되는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제 1 절연층과 상기 제 2 절연층을 구성하는 물질을 서로 상이한공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 1 도전체, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은,금(Au)을 포함하는,공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 2 도전체는,산화아연(ZnO)을 포함하는,공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 홈의 개구부 중 상기 제 1 절연층이 커버하지 않는 부분의 넓이는,상기 홈의 바닥면의 넓이보다 좁은공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제 1 절연층이 커버하는 상기 홈의 개구부 중 일부는,상기 홈의 개구부의 가장자리인공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 나노 구조물을 형성하는 단계는,상기 제 1 절연층 상에 기둥부를 형성하는 단계; 및상기 기둥부에 의해 지지되며 상기 홈의 개구부를 가로지르도록 나노 와이어를 형성하는 단계를 포함하는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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제 17 항에 있어서, 상기 나노 구조물을 형성하는 단계는,상기 제 1 절연층 상에 상기 기둥부를 2개 형성하고,상기 나노 와이어 양단은,상기 2개의 기둥부 각각에 의해서 지지되는공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 제조 방법
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