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상부 표면에 요입 형성된, 소정의 개구부를 갖는 홈을 구비하는 기판;상기 상부 표면 상에 배치되되, 상기 홈의 개구부 중 일부를 커버하고 상기일부를 제외한 나머지 부분은 커버하지 않는 절연층;상기 절연층 상에 배치되는 나노 구조물; 및상기 나노 구조물의 표면 중 일부, 상기 절연층의 상면의 일부분 및 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착되는 도전체를 포함하되,상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 도전체 및 상기 절연층의 상면의 일부분에 증착된 도전체는, 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착된 도전체와 서로 절연된공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터
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제 1 항에 있어서, 상기 홈의 개구부 중 상기 나머지 부분의 넓이는,상기 홈의 바닥면의 넓이보다 좁은공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터
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제 1 항에 있어서, 상기 절연층이 커버하는 상기 홈의 개구부 중 일부는,상기 홈의 개구부의 가장자리인공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터
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제 1 항에 있어서, 상기 나노 구조물은,상기 절연층 상에 배치되는 기둥부; 및상기 기둥부에 의해 지지되며 상기 홈의 개구부를 가로지르도록 배치되는 나노 와이어를 포함하는공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터
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제 4 항에 있어서, 상기 나노 구조물은 상기 기둥부를 2개 포함하고,상기 나노 와이어의 양단은,상기 2개의 기둥부 각각에 의해서 지지되는공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터
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절연층이 형성되어 있는 기판의 상부 표면 상에, 소정의 개구부를 갖는 홈을 요입 형성하되, 상기 절연층은 상기 개구부 중 일부를 커버하고, 상기 일부를 제외한 나머지 부분은 커버하지 않는 단계;상기 절연층 상에 나노 구조물을 형성하는 단계; 및상기 나노 구조물의 표면 중 일부, 상기 절연층의 상면의 일부분 및 상기 홈의 바닥면 중에서 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 도전체를 증착하는 단계를 포함하되,상기 나노 구조물의 표면 중 일부에 증착된 도전체 및 상기 절연층의 상면의 일부분에 증착된 도전체는, 상기 절연층이 커버하지 않는 개구부에 수직 대향하는 부분에 증착된 도전체와 서로 절연된공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 홈의 개구부 중 상기 나머지 부분의 넓이는,상기 홈의 바닥면의 넓이보다 좁은공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 절연층이 커버하는 상기 홈의 개구부 중 일부는,상기 홈의 개구부의 가장자리인공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 나노 구조물을 형성하는 단계는,상기 절연층 상에 기둥부를 형성하는 단계; 및상기 기둥부에 의해 지지되며 상기 홈의 개구부를 가로지르도록 나노 와이어를 형성하는 단계를 포함하는공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 나노 구조물을 형성하는 단계는,상기 절연층 상에 상기 기둥부를 2개 형성하고,상기 나노 와이어 양단은,상기 2개의 기둥부 각각에 의해서 지지되는공중 부유형 나노 구조물 기반 나노히터 제조 방법
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