| 1 |
1
기판;상기 기판 상에 위치하며, 양 측면들을 갖는 담장(wall) 형상의 핀(Fin) 활성층;상기 핀 활성층의 양 측면들과 상면을 덮는 절연층;상기 핀 활성층의 제1측면의 제1-1부분과, 핀 활성층의 제2측면의 상기 제1-1부분에 대응하는 제1-2부분과, 상기 제1-1부분과 상기 제1-2부분을 연결하는 상기 핀 활성층의 상면의 제1-3부분에 대응하도록, 상기 절연층 상에 위치하며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제1캐리어 제어층; 및상기 제1캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮도록 상기 절연층의 양 측면들과 상면을 덮는, 게이트전극;을 구비하는, 전자소자
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 핀 활성층의 양 측면들은, 상기 절연층의 제1측과 상기 제1측의 반대측인 제2측 각각의 외측으로 노출된, 전자소자
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 제1-1부분으로부터 이격된 상기 절연층의 제1측면의 제2-1부분과, 상기 제1-2부분으로부터 이격되며 상기 제2측면의 상기 제2-1부분에 대응하는 제2-2부분과, 상기 제1-3부분으로부터 이격되며 상기 제2-1부분과 상기 제2-2부분을 연결하는 상기 절연층의 상면의 제2-3부분 상에 위치하며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제2캐리어 제어층을 더 구비하고,상기 게이트전극은 상기 제2캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮는, 전자소자
|
| 4 |
4
기판;상기 기판 상에 위치하며, 양 측면들을 갖는 담장(wall) 형상의 핀(Fin) 활성층;상기 핀 활성층의 제1측면의 제1-1부분과, 핀 활성층의 제2측면의 상기 제1-1부분에 대응하는 제1-2부분과, 상기 제1-1부분과 상기 제1-2부분을 연결하는 상기 핀 활성층의 상면의 제1-3부분 상에 위치하며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제1캐리어 제어층;상기 핀 활성층의 양 측면들과 상면을 덮는 절연층; 및상기 제1캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮도록 상기 절연층의 양 측면들과 상면을 덮는, 게이트전극;을 구비하는, 전자소자
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 절연층은 상기 제1캐리어 제어층과 컨택하는, 전자소자
|
| 6 |
6
제4항에 있어서,상기 핀 활성층의 양 측면들은, 상기 절연층의 상기 제1캐리어 제어층 방향의 반대측의 외측과 상기 제1캐리어 제어층의 상기 절연층 방향의 반대측의 외측으로 노출된, 전자소자
|
| 7 |
7
제4항에 있어서,상기 제1-1부분으로부터 이격된 상기 제1측면의 제2-1부분과, 상기 제1-2부분으로부터 이격되며 상기 제2측면의 상기 제2-1부분에 대응하는 제2-2부분과, 상기 제1-3부분으로부터 이격되며 상기 제2-1부분과 상기 제2-2부분을 연결하는 상기 핀 활성층의 상면의 제2-3부분 상에 위치하며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제2캐리어 제어층을 더 구비하고,상기 게이트전극은 상기 제2캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮는, 전자소자
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 절연층은 상기 제1캐리어 제어층 및 상기 제2캐리어 제어층 사이에 위치하며, 상기 제1캐리어 제어층 및 상기 제2캐리어 제어층과 컨택하는, 전자소자
|
| 9 |
9
일 방향으로 연장된 로드(rod) 형상의 활성층;상기 활성층을 감싸는 절연층;상기 활성층의 제1부분에 대응하도록 상기 절연층을 감싸며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제1캐리어 제어층; 및상기 제1캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮도록 상기 절연층을 감싸는 게이트전극;을 구비하는, 전자소자
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 활성층의 제1단부와 상기 제1단부의 반대쪽의 제2단부는 상기 절연층의 제1측과 상기 제1측의 반대측인 제2측 각각의 외측으로 노출된, 전자소자
|
| 11 |
11
제9항에 있어서,상기 활성층의 제1부분으로부터 이격된 제2부분에 대응하도록 상기 절연층을 감싸며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제2캐리어 제어층을 더 구비하고,상기 게이트전극은 상기 제2캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮는, 전자소자
|
| 12 |
12
일 방향으로 연장된 로드(rod) 형상의 활성층;상기 활성층의 제1부분을 감싸며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제1캐리어 제어층;상기 활성층을 감싸는 절연층; 및상기 제1캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮도록 상기 절연층을 감싸는 게이트전극;을 구비하는, 전자소자
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 활성층은 상기 제1캐리어 제어층과 컨택하는, 전자소자
|
| 14 |
14
제12항에 있어서,상기 활성층의 양 단부들은, 상기 절연층의 상기 제1캐리어 제어층 방향의 반대측의 외측과 상기 제1캐리어 제어층의 상기 절연층 방향의 반대측의 외측으로 노출된, 전자소자
|
| 15 |
15
제12항에 있어서,상기 활성층의 제1부분으로부터 이격된 제2부분을 감싸며, 인가된 전기장에 의해 분극 방향이 변할 수 있는, 제2캐리어 제어층을 더 구비하고,상기 게이트전극은 상기 제2캐리어 제어층의 적어도 일부를 덮는, 전자소자
|
| 16 |
16
제15항에 있어서,상기 절연층은 상기 제1캐리어 제어층 및 상기 제2캐리어 제어층 사이에 위치하며, 상기 제1캐리어 제어층 및 상기 제2캐리어 제어층과 컨택하는, 전자소자
|
| 17 |
17
제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1캐리어 제어층은 자발 분극성 물질을 포함하는, 전자소자
|
| 18 |
18
제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1캐리어 제어층은 강유전체 물질을 포함하는, 전자소자
|
| 19 |
19
제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1캐리어 제어층의 일부는 상기 게이트전극 외측으로 노출된, 전자소자
|
| 20 |
20
제3항, 제7항, 제8항, 제11항, 제15항 및 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1캐리어 제어층과 상기 제2캐리어 제어층은 자발 분극성 물질을 포함하는, 전자소자
|
| 21 |
21
제3항, 제7항, 제8항, 제11항, 제15항 및 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1캐리어 제어층과 상기 제2캐리어 제어층은 강유전체 물질을 포함하는, 전자소자
|
| 22 |
22
제3항, 제7항, 제8항, 제11항, 제15항 및 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1캐리어 제어층의 일부와 상기 제2캐리어 제어층의 일부는 상기 게이트전극 외측으로 노출된, 전자소자
|
