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플라즈마가 생성되는 공간을 형성하는 챔버와;상기 챔버의 내부에 수평방향으로 설치되고, 상면에 분말이 올려지도록 평평한 평판 형상이고 다공성 구조를 가지도록 형성되며, 전원 인가시 플라즈마를 생성하여 상기 분말을 표면처리하여 기능화시키는 필터 전극과;상기 필터 전극의 내부 압력을 감소시켜, 상기 필터 전극의 표면에 상기 분말을 흡착시키는 흡착수단과;상기 챔버와 상기 필터 전극 중 어느 하나에 구비되고, 상기 필터 전극에 상하방향과 수평방향 중 적어도 일방향으로 진동을 가하여, 상기 필터 전극의 표면에서 상기 분말을 분산시키는 진동 발생기를 포함하고,상기 흡착수단은,상기 필터 전극의 내부 공기를 흡입하여 상기 필터 전극의 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 펌프를 포함하고,상기 진동 발생기는, 상기 필터 전극의 하부에 복수개가 서로 소정간격 이격되게 장착되어, 상기 필터 전극에 진동을 가하여 상기 필터 전극의 표면에 흡착된 분말들의 위치를 이동시키는 초음파 진동자를 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 1에 있어서,상기 필터 전극은, 복수개가 서로 이격공간을 가지도록 적층되어 배치되고,상기 이격공간마다 배치되어, 상기 필터 전극들의 상,하면에 상기 분말이 흡착되도록 상기 이격공간으로 상기 분말을 공급하여 분말 분사기를 더 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 1에 있어서,상기 필터 전극은, 복수개가 서로 이격공간을 가지도록 적층되어 배치되고,상기 이격공간을 따라 이동가능하게 구비되어, 상기 필터 전극들의 상,하면에 상기 분말이 흡착되도록 상기 이격공간마다 연속적으로 상기 분말을 공급하여 분말 분사기를 더 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 1에 있어서,상기 챔버의 내부에 구비되어 상기 복수의 필터 전극들이 끼워지도록 형성된 랙(Rack)과,상기 랙과 상기 필터 전극 사이에 구비되어, 상기 필터 전극의 진동시 충격을 흡수하는 충격흡수부재를 더 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 2에 있어서,상기 흡착수단은,상기 진공 펌프와 상기 복수의 필터 전극들의 각 하부를 연결하는 진공 유로를 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 1에 있어서,상기 필터 전극은, 상면을 형성하고 다공성 구조로 형성된 상면 필터부와, 하면을 형성하고 다공성 구조로 형성되 하면 필터부와, 상기 상면 필터부와 상기 하면 필터부 사이에 형성되어 상기 진공 펌프에 의해 진공 상태가 되는 진공부를 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 7에 있어서,상기 필터 전극은, 복수개가 서로 이격공간을 가지도록 상하방향으로 적층되어 배치되고,상기 복수의 필터 전극들 사이의 이격공간으로 상기 분말을 공급하는 분말 분사기를 더 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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플라즈마가 생성되는 공간을 형성하는 챔버와;상기 챔버의 내부에 수평방향으로 설치되고, 상면에 분말이 올려지도록 평평한 평판 형상이고 다공성 구조를 가지도록 형성되며, 전원 인가시 플라즈마를 생성하여 상기 분말을 표면처리하여 기능화시키는 필터 전극과;상기 필터 전극의 내부 압력을 감소시켜, 상기 필터 전극의 표면에 상기 분말을 흡착시키는 흡착수단과;상기 챔버와 상기 필터 전극 중 어느 하나에 구비되고, 상기 필터 전극에 상하방향과 수평방향 중 적어도 일방향으로 진동을 가하여, 상기 필터 전극의 표면에서 상기 분말을 분산시키는 진동 발생기를 포함하고,상기 흡착수단은,상기 필터 전극의 내부 공기를 흡입하여 상기 필터 전극의 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 펌프를 포함하고,상기 진동 발생기는, 상기 필터 전극의 하부에 연결부재에 의해 연결되고, 음향을 발생시키고 공명시켜 상기 필터 전극에 음향 진동을 가하여, 상기 필터 전극의 표면에 흡착된 분말들의 위치를 이동시키는 음향 진동 모듈을 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 1 또는 청구항 9에 있어서,상기 분말은, 나노 또는 마이크로 크기의 분말을 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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상면에 나노 또는 마이크로 크기의 분말이 올려지도록 평평한 평판 형상이고 다공성 구조를 가지도록 형성되며, 전원 인가시 플라즈마를 생성하여, 상기 분말을 표면처리하여 기능화시키는 필터 전극과;상기 필터 전극에 진동을 가하여, 상기 필터 전극의 표면에서 상기 분말을 진동 분산시키는 진동 발생기와;상기 진동 분산되는 상기 분말이 상기 필터 전극으로부터 외부로 이탈되는 것을 방지하게 하도록, 상기 필터 전극의 내부 압력을 감소시켜, 상기 필터 전극의 표면으로 분말을 흡착시키는 흡착수단을 포함하고,상기 흡착수단은,상기 필터 전극의 내부 공기를 흡입하여 상기 필터 전극의 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 펌프를 포함하고,상기 진동 발생기는, 상기 필터 전극의 하부에 복수개가 서로 소정간격 이격되게 장착되어, 상기 필터 전극에 진동을 가하여 상기 필터 전극의 표면에 흡착된 분말들의 위치를 이동시키는 초음파 진동자를 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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상면에 나노 또는 마이크로 크기의 분말이 올려지도록 평평한 평판 형상이고 다공성 구조를 가지도록 형성되며, 전원 인가시 플라즈마를 생성하여, 상기 분말을 표면처리하여 기능화시키는 필터 전극과;상기 필터 전극에 진동을 가하여, 상기 필터 전극의 표면에서 상기 분말을 진동 분산시키는 진동 발생기와;상기 진동 분산되는 상기 분말이 상기 필터 전극으로부터 외부로 이탈되는 것을 방지하게 하도록, 상기 필터 전극의 내부 압력을 감소시켜, 상기 필터 전극의 표면으로 분말을 흡착시키는 흡착수단을 포함하고,상기 흡착수단은,상기 필터 전극의 내부 공기를 흡입하여 상기 필터 전극의 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 펌프를 포함하고,상기 진동 발생기는, 상기 필터 전극의 하부에 연결부재에 의해 연결되고, 음향을 발생시키고 공명시켜 상기 필터 전극에 음향 진동을 가하여, 상기 필터 전극의 표면에 흡착된 분말들의 위치를 이동시키는 음향 진동 모듈을 포함하는 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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청구항 14 또는 청구항 16에 있어서,상기 필터 전극은, 복수개가 서로 이격공간을 가지도록 적층되어 배치된 평판형 필터 전극을 이용한 분말 표면처리용 플라즈마 장치
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