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열압착 장치

  • 기술번호 : KST2022015737
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내부에 저장 공간이 형성되어 있고, 상기 저장 공간으로 열을 공급할 수 있는 하우징, 상기 저장 공간으로 표면 처리용 물질 및 상기 표면 처리용 물질을 이송시키는 기체를 포함하는 표면 처리용 혼합물질을 공급하는 기체 공급부 및 상기 저장 공간에서 접합하고자 하는 제1부재 및 제2부재를 밀착하여 압착하는 압착부를 포함하고, 상기 기체공급부는 상기 압착부에 배치되어 있는 상기 제1부재 및 상기 제2부재에 상기 혼합물질을 공급하여 표면 처리를 하고, 상기 압착부는 표면 처리된 상기 제1부재 및 상기 제2부재를 압착함으로써 상기 제1부재 및 상기 제2부재의 표면 처리 및 압착을 모두 수행하는 열압착 장치를 제공한다. 따라서 접합하고자 하는 부재의 표면 처리 및 열압착을 하나의 장치로 수행할 수 있는 장점이 있다.
Int. CL H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 23/36 (2006.01.01)
CPC H01L 24/741(2013.01) H01L 23/36(2013.01)
출원번호/일자 1020200162256 (2020.11.27)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0074121 (2022.06.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.11.27)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김주영 울산광역시 울주군
2 김한글 울산광역시 울주군
3 이석빈 울산광역시 울주군
4 김시훈 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2020-1282053-52
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번호 청구항
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내부에 저장 공간이 형성되어 있고, 상기 저장 공간으로 열을 공급할 수 있는 하우징;상기 저장 공간으로 표면 처리용 물질 및 상기 표면 처리용 물질을 이송시키는 기체를 포함하는 표면 처리용 혼합물질을 공급하는 기체 공급부; 및상기 저장 공간에서 접합하고자 하는 제1부재 및 제2부재를 밀착하여 압착하는 압착부를 포함하고,상기 기체공급부는 상기 압착부에 배치되어 있는 상기 제1부재 및 상기 제2부재에 상기 혼합물질을 공급하여 표면 처리를 하고, 상기 압착부는 표면 처리된 상기 제1부재 및 상기 제2부재를 압착함으로써 상기 제1부재 및 상기 제2부재의 표면 처리 및 압착을 모두 수행하는,열압착 장치
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청구항 1에 있어서,상기 압착부는,상기 하우징의 일측에서 상기 저장 공간으로 연장되어 있는 제1압착부; 및상기 하우징의 일측과 반대되는 타측에서 상기 저장 공간으로 연장되어 있는 제2압착부를 포함하는,열압착 장치
3 3
청구항 2에 있어서,상기 제1압착부는,상하 방향으로 배치되는 제1기둥; 및상기 제1기둥의 하단에 결합되어 있는 제1지그를 포함하고,상기 제2압착부는,상기 상하 방향으로 배치되는 제2기둥; 및상기 제2기둥의 상단에 결합되어 있는 제2지그를 포함하는,열압착 장치
4 4
청구항 2에 있어서,상기 하우징은,상부에 상기 제1압착부가 관통할 수 있는 상부 홀이 형성되어 있는,열압착 장치
5 5
청구항 2에 있어서,상기 하우징은,하부에 상기 제2압착부가 관통할 수 있는 하부 홀이 형성되어 있는,열압착 장치
6 6
청구항 2에 있어서,상기 제1압착부 및 상기 제2압착부는,상하 방향으로 일직선 상에 배치되는,열압착 장치
7 7
청구항 3에 있어서,상기 제1지그는,하면에 상기 제1부재와 결합하기 위한 제1지그 홈이 형성되어 있고,상기 제2지그는,상면에 상기 제2부재와 결합하기 위한 제2지그 홈이 형성되어 있는,열압착 장치
8 8
청구항 3에 있어서,상기 제1부재는 상기 제1지그의 하면에 배치되고,상기 제2부재는 상기 제2지그의 상면에 배치되는,열압착 장치
9 9
청구항 2에 있어서,상기 기체 공급부는,상기 하우징의 외부로부터 상기 하우징의 타측을 통해 상기 저장 공간으로 연장되어 있는 기체 공급관을 포함하는,열압착 장치
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청구항 9에 있어서,상기 기체 공급관에서 공급된 상기 혼합물질을 배출하기 위한 기체 배출부를 더 포함하는,열압착 장치
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청구항 10에 있어서,상기 기체 공급관은,상기 제2압착부의 일측에 이격되도록 배치되고,상기 기체 배출부는,상기 제2압착부를 중심으로 상기 기제 공급관과 대칭되도록 상기 제2압착부의 타측에 이격되도록 배치되며,상기 기체 공급관과 상기 기체 배출부는 서로 마주보도록 배치되는,열압착 장치
12 12
청구항 2에 있어서,상기 제1부재 및 상기 제2부재를 열압착 하기 위해서,상기 제1압착부는,상하 방향으로 이동가능하고,상기 제2압착부는,고정되어 있는,열압착 장치
13 13
청구항 2에 있어서,상기 제1압착부는,상기 제1기둥 상부에 설치되는 제1오링을 더 포함하고,상기 제2압착부는,상기 제2기둥 하부에 설치되는 제2오링을 더 포함하고,상기 압착부는,상부는 상기 제1오링의 하부와 결합되고, 하부는 상기 제2오링의 상부와 결합되며, 내부에 상기 제1기둥 및 상기 제2기둥이 배치될 수 있는 내부 공간이 형성되어 있는 압착부 하우징을 더 포함하는,열압착 장치
14 14
청구항 13에 있어서,상기 제1오링은,상기 제1오링의 일측에 형성되어 있는 제1오링 제1홈 및 상기 제1오링의 중심을 기준으로 상기 제1오링의 일측과 대칭되는 타측에 형성되어 있는 제1오링 제2홈을 더 포함하고,상기 압착부의 흔들림을 감소시키기 위해, 일측은 고정되어 있고, 타측은 상기 제1오링 제1홈 및 상기 제1오링 제2홈에 각각 고정되도록 결합되는 지지부를 더 포함하는,열압착 장치
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청구항 13에 있어서,상기 제1압착부는,상기 제1오링을 관통하여 상기 제1기둥의 상부와 결합되고, 상기 제1압착부를 압착하기 위하여 상부에 추를 올려 놓을 수 있는 추 받침대를 더 포함하는열압착 장치
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청구항 1에 있어서,상기 하우징은,상기 저장 공간으로 열을 방출할 수 있도록 상기 저장 공간의 내주면을 따라서 이격되어 복수 개의 발열체가 설치되어 있는,열압착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 울산과학기술원 소재부품산업미래성장동력(R&D) 구리 범프와 PI 폴리머 절연층을 250도씨 이하에서 동시에 접합하는 하이브리드 본딩 기술 개발 및 실험과 전산 해석을 이용한 신뢰성 평가기술 개발