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패키지용 박막필름의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022015753
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 일측에 설정 패턴을 갖는 금속몰드를 제작하는 금속몰드 제작단계, 상기 금속 몰드의 일측에 고분자를 도포 후 경화하여, 일측에 상기 설정 패턴과 형합하는 패턴을 갖는 제1보호층을 제작하는 제1보호층 제작단계, 상기 제1보호층의 일측과 반대되는 타측을, 희생층이 형성되어 있는 베이스 기판의 상기 희생층 상에 부착 시키는 제1보호층 부착단계, 상기 제1보호층의 일측 상에 수분 차단층을 형성하는 수분 차단층 형성단계, 상기 제1보호층과 상기 베이스 기판 사이에 형성되어 있는 상기 희생층을 제거하는 희상층 제거단계를 포함하는 패키지용 박막필름의 제조방법을 제공한다. 따라서 제1보호층을 베이스 기판에 배치할 때, 희생층을 사이에 배치하여 수분 차단층이 증착된 제1보호층을 파손 없이 베이스 기판에서 분리할 수 있는 장점이 있다.
Int. CL H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 23/29 (2006.01.01) H01L 51/44 (2006.01.01) H01L 51/52 (2006.01.01)
CPC H01L 24/27(2013.01) H01L 24/83(2013.01) H01L 23/564(2013.01) H01L 23/562(2013.01) H01L 23/298(2013.01) H01L 23/31(2013.01) H01L 51/448(2013.01) H01L 51/5246(2013.01)
출원번호/일자 1020200177493 (2020.12.17)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0087111 (2022.06.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김주영 울산광역시 울주군
2 우정현 울산광역시 울주군
3 김시훈 울산광역시 울주군
4 김나향 울산광역시 울주군
5 김한글 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-1374667-55
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2022.08.08 접수중 (On receiving) 1-1-2022-0826667-25
3 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2022.08.08 접수중 (On receiving) 1-1-2022-0826682-11
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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일측에 설정 패턴을 갖는 금속몰드를 제작하는 금속몰드 제작단계;상기 금속 몰드의 일측에 고분자를 도포 후 경화하여, 일측에 상기 설정 패턴과 형합하는 패턴을 갖는 제1보호층을 제작하는 제1보호층 제작단계;상기 제1보호층의 일측과 반대되는 타측을, 희생층이 형성되어 있는 베이스 기판의 상기 희생층 상에 부착 시키는 제1보호층 부착단계;상기 제1보호층의 일측 상에 수분 차단층을 형성하는 수분 차단층 형성단계;상기 제1보호층과 상기 베이스 기판 사이에 형성되어 있는 상기 희생층을 제거하는 희상층 제거단계를 포함하는,패키지용 박막필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 수분 차단층은,실리카를 증착하여 형성되는 실리카층인,패키지용 박막필름의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 설정 패턴은,볼록형상과 오목형상이 교차하면서 연속되는 주름구조인,패키지용 박막필름의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 서울대학교 미래소재디스커버리지원(R＆D) 2축 변형률 제어된 고신뢰성 기판/봉지막 개발 및 광전소자 응용 검증
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 나노미래소재원천기술개발(R＆D) 100% 이상 늘어나는 소재고유형 스트레처블 유기태양전지 고효율 소재및 소자 최적화 기술 개발