| 1 |
1
(a) 강자성체 타겟, 상기 강자성체 타겟의 증착 표면의 대향면 상에 순차적으로 구비된 단열성 금속 백플레이트 및 전도성 금속 백플레이트를 포함하는 스퍼터건을 준비하는 단계; 및 (b) 상기 스퍼터건에 전력을 인가하여, 상기 강자성체 타겟의 물질을 증착시키는 단계;를 포함하고, 상기 단열성 금속 백플레이트는 100 W/(m·K) 이하의 열전도율을 가지는 것을 특징으로 하는 강자성체 필름의 제조방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, (a-1) 상기 강자성체 타겟의 표면 중앙에서의 자기장 세기가 1,500 Gauss 이상 10,000 Gauss 이하가 되도록, 상기 전도성 금속 백플레이트 상에 자계 인가 수단을 구비하는 단계를 더 포함하는, 강자성체 필름의 제조방법
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 (b) 단계에서 인가되는 전력의 전력 밀도는 3 W/㎠ 이상 100 W/㎠ 이하인 것을 특징으로 하는, 강자성체 필름의 제조방법
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 강자성체 타겟은 퀴리 온도(Curie temperature)를 가지는 강자성 금속 또는 상기 강자성 금속을 포함하는 합금인 것을 특징으로 하는, 강자성체 필름의 제조방법
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서, 상기 (b) 단계는 0
|
| 7 |
7
강자성체 타겟, 상기 강자성체 타겟의 증착 표면의 대향면 상에 순차적으로 구비된 단열성 금속 백플레이트 및 전도성 금속 백플레이트를 포함하는 스퍼터건; 및 상기 스퍼터건에 전류를 인가하도록 구성된 전력 공급 장치;를 포함하고, 상기 단열성 금속 백플레이트는 100 W/(m·K) 이하의 열전도율을 가지는 것을 특징으로 하는 강자성체 필름의 제조장치
|
| 8 |
8
청구항 7에 있어서, 상기 전도성 금속 백플레이트 상에 자계 인가 수단을 더 포함하는, 강자성체 필름의 제조장치
|
