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서브스트레이트에 광촉 매 박막을 코팅하기 위한 광촉매 박막을 제조하는 제조장치에 있어서,광촉매 박막의 원료를 이루면서 와이어 형태로 제작되어 연속적으로 공급되는 전구체 와이어;상기 전구체 와이어에 화염을 가하여 상변화시키고, 상기 상변화된 전구체를 기압차를 이용한 분사로 상기 서브스트레이트에 박막코팅시키는 화염합성유닛;상기 화염합성유닛의 입구측에 일체형으로 설치되며 상기 전구체 와이어와 상기 화염합성유닛을 매개하여 상기 전구체 와이어를 일직선상으로 상기 화염합성유닛을 향하여 공급시키는 전구체 공급유닛;상기 화염합성유닛 및 상기 전구체 공급유닛과 연결되어 상기 화염합성유닛과 상기 전구체 공급유닛을 설정된 위치로 변경시키는 X-Y 스테이지; 및상기 화염합성유닛, 상기 전구체 공급유닛 및 상기 X-Y 스테이지와 연결되어, 상기 화염합성유닛, 상기 전구체 공급유닛 및 상기 X-Y 스테이지의 작동을 제어하는 컨트롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 광촉매 박막을 제조하는 제조장치
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청구항 1에 있어서,상기 화염합성유닛은,내부에 상기 전구체 와이어가 관통하는 관로가 형성되고, 입구측에 상기 전구체 와이어가 주입되는 주입튜브가 설치된 관체형의 하우징;상기 하우징의 와이어 출구측에 설치되어 상기 출구측으로 배출되는 상기 전구체 와이어에 화염을 제공하는 버너; 상기 하우징의 일부분과 파이프로 연결되어 상기 버너에 화염의 생성조건을 조성하며, 기압차를 이용하여 상기 상변화된 전구체를 상기 서브스트레이트에 분사가 가능하도록 가스를 공급하는 가스공급기; 및상기 파이프의 일부분에 연결되어 상기 버너의 화염 생성 및 상기 하우징 관로의 기압 조절이 가능하도록 가스의 종류와 속도를 제어하는 질량흐름제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 광촉매 박막을 제조하는 제조장치
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청구항 1에 있어서,상기 전구체 공급유닛은,이동이 가능하도록 상기 X-Y 스테이지의 일부분에 설치되고, 상기 전구체 와이어가 사이에 개재된 상태로 서로 마주보며 각각 반대방향으로 회전하면서 상기 전구체 와이어를 상기 화염합성유닛을 향하여 일직선상으로 공급하는 한 쌍의 가이드롤러; 및상기 가이드롤러와 연결되며 상기 컨트롤러를 통해 상기 가이드롤러의 회전운동이 가능하도록 동력을 제공하는 롤러구동기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 광촉매 박막을 제조하는 제조장치
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청구항 1에 있어서,상기 제조장치는,상기 화염합성유닛의 출구측에 설치되며 상기 컨트롤러와 연결되어 상기 화염합성유닛을 통해서 제공되는 전구체로 박막코팅되는 상기 서브스트레이트가 고정되고, 상기 서브스트레이트의 온도를 설정된 온도로 조절하는 온도제어기;를 더 포함하고, 상기 온도제어기는,상기 서브스트레이트에 열을 발생시키는 히터; 및과열된 상기 서브스트레이트를 냉각시키는 쿨러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 광촉매 박막을 제조하는 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 전구체 와이어는,티타늄, 텅스텐, 철, 구리, 은, 백금 및 금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 광촉매 박막을 제조하는 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 서브스트레이트는,실리콘 웨이퍼, 금속평판, 전도성 유리인 FTO(Fluorine doped Tin Oxide), ITO(Indium Tin Oxide) 중 하나인 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 박막을 제조하는 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 컨트롤러는,상기 화염합성유닛, 상기 전구체 공급유닛 및 상기 X-Y 스테이지를 제어하고, 상변화된 전구체가 분사되는 범위보다 넓은 면적의 상기 서브스트레이트를 상기 화염합성유닛 및 상기 전구체 공급유닛이 이동시키면서 균일하게 대면적 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 박막을 제조하는 제조장치
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청구항 1 내지 7의 어느 한 항에 의한 서브스트레이트에 광촉매 박막을 코팅하기 위한 광촉매 박막을 제조하는 제조장치를 이용하여 광촉매 박막을 제조하는 제조방법에 있어서,서브스트레이트를 향하여 설정된 위치로 X-Y 스테이지의 위치를 조정하는 X-Y 스테이지 조정단계;전구체 공급유닛이 화염합성유닛으로 전구체를 지속적으로 공급하는 전구체 공급단계;상기 전구체 공급단계에서 공급된 전구체를 질량흐름제어기를 조절해가면서 버너의 화염과 가스공급기의 분사압력을 통해 상기 서브스트레이트에 박막코팅하는 박막코팅단계; 및상기 박막코팅단계에서 전구체가 박막코팅된 상기 서브스트레이트의 온도를 온도제어기를 이용하여 설정된 온도로 제어하는 온도제어단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전구체를 균일하게 공급하는 기능이 구비된 광촉매 박막을 제조하는 제조장치로 광촉매 박막을 제조하는 제조방법
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